氮化镓单晶生长方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108796611A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810733580.3

    申请日:2018-07-06

    申请人: 孟静

    发明人: 孟静

    IPC分类号: C30B29/40 C30B9/06

    CPC分类号: C30B29/406 C30B9/06

    摘要: 本发明公开了一种氮化镓单晶生长方法,涉及半导体材料的制备方法技术领域。所述方法主要利用氮等离子挥发回流方法在晶体生长界面形成过饱和熔体的方法来制备氮化镓晶体的方法及装置。利用氮等离子体挥发助熔镓‑钠‑氮熔体,镓和钠元素在高温下挥发并在冷凝器上冷却为镓‑钠熔体,镓‑钠熔体回流至回流系统中,在回流系统中不断放入氮化钠,氮化钠受热分解使得熔体处于氮饱和状态,饱和熔体回流至高温固液界面处形成过饱和熔体进行晶体生长。

    SiC单晶的制造方法
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105705685A

    公开(公告)日:2016-06-22

    申请号:CN201480061507.6

    申请日:2014-11-12

    IPC分类号: C30B29/36 C30B19/04

    摘要: 提供一种制造方法,其为利用溶液生长法的SiC单晶的制造方法,其即使使用石墨坩埚、也可以使掺杂有Al的SiC单晶生长。本实施方式的制造方法包括下述工序:在石墨坩埚内生成Si-C溶液的工序;和使Si-C溶液与SiC晶种接触,使SiC单晶在SiC晶种上生长的工序,Si-C溶液以满足式(1)的范围含有Si、Al和Cu,Si-C溶液的余量由C和杂质组成。式(1)中,[Si]、[Al]和[Cu]分别表示Si、Al和Cu的摩尔%含量。0.03