SiC单晶的制造方法
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105821479A

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201610039181.8

    申请日:2016-01-21

    IPC分类号: C30B29/36 C30B9/04

    CPC分类号: C30B9/06 C30B29/36 C30B9/04

    摘要: 本发明涉及SiC单晶的制造方法。提供一种能够使石墨坩埚内的Si-C溶液充分地对流而不使单晶制造装置大型化的SiC单晶的制造方法。SiC单晶的制造方法,其包括:使第一频率的高频电流流经配置于石墨坩埚周围的感应加热线圈,将原料Si加热至规定温度,使上述原料Si熔化,同时使C从上述石墨坩埚溶解从而形成Si-C溶液,在加热至上述规定温度之后,使频率从第一频率降至第二频率,对上述Si-C溶液进行保温保持。

    Ⅲ族氮化物单晶体和含该Ⅲ族氮化物单晶体的半导体器件

    公开(公告)号:CN101503825A

    公开(公告)日:2009-08-12

    申请号:CN200910007530.8

    申请日:2005-07-13

    发明人: 中畑成二

    IPC分类号: C30B29/38 C30B19/02 C30B19/04

    摘要: 提供一种制造III族氮化物单晶体的方法,由此提高源材料产量和增加晶体生长速率。一种III族氮化物单晶体制造方法,其中在衬底(1)和III族氮化物源材料衬底(2)之间形成200μm以下厚度的液体层(3),以及在衬底(1)的液体层侧面上的表面(1s)上生长III族氮化物单晶体(4)。在此,液体层侧面上的至少表面层(1a)中的衬底(1)可以由III族氮化物单晶体形成,而III族氮化物源材料衬底(2)可以由III族氮化物多晶体形成。而且,液体层侧面上的至少表面层(1a)中的衬底(1)和III族氮化物源材料衬底(2)可以由III族氮化物单晶体形成,而衬底(1)的液体层侧面上的表面(1s)可以被制成III族原子表面,以及III族氮化物源材料衬底(2)的液体层侧面上的表面(2s)可以被制成氮原子表面。

    SiC单晶的制造方法
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106029959B

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201580008068.7

    申请日:2015-02-12

    IPC分类号: C30B29/36 C30B19/04

    摘要: 本发明提供在籽晶与Si‑C溶液之间气泡难以进入的SiC单晶的制造方法。SiC单晶的制造方法为:利用将籽晶(10)的主表面(10a)朝向下方并使其与Si‑C溶液(11)接触而在主表面(10a)上使SiC单晶生长的溶液生长法得到SiC单晶的制造方法。主表面(10a)平坦。该制造方法包括:接触工序A、接触工序B和生长工序。接触工序A中,使主表面(10a)的一部分区域与贮存的Si‑C溶液(11)接触。接触工序B中,以在接触工序A中接触的一部分区域即初始接触区域作为起始点,通过润湿现象来扩大主表面(10a)与贮存的Si‑C溶液(11)的接触区域。生长工序中,使SiC单晶在与贮存的Si‑C溶液(11)接触的主表面(10a)上生长。