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公开(公告)号:CN1782690A
公开(公告)日:2006-06-07
申请号:CN200510109823.9
申请日:2005-07-14
申请人: 应用材料以色列公司
IPC分类号: G01N1/28 , G01N13/10 , G01N23/225 , H01J37/26
CPC分类号: G01N1/32 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/20278 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要: 公开了用于形成物体的样品、从物体提取样品以及在真空腔室中对所述样品进行包括表面分析和电子透明度分析的微观分析的方法和装置。在一些实施例中,提供一种成像提取样品的物体横截表面的方法。可选择地,在真空腔室中重复地变薄和成像样品。在一些实施例中,样品位于具有可选择缝隙的样品支持上。可选择地,样品位于样品支持的表面之上,以使物体横截表面基本上平行于样品支持的表面。一旦装配于样品支持之上,在真空腔室中对样品进行微观分析或装载于装载位置。在一些实施例中,利用基本上垂直地入射至物体横截表面的电子束成像样品。
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公开(公告)号:CN1726630A
公开(公告)日:2006-01-25
申请号:CN200380106349.3
申请日:2003-12-15
申请人: 皇家飞利浦电子股份有限公司
发明人: J·范埃克 , A·F·巴克 , D·E·博斯 , J·C·科普特 , A·C·P·德科勒克 , F·M·罗斯 , H·G·J·J·A·韦鲁门 , T·P·H·瓦梅达姆
IPC分类号: H02K41/03 , H01J37/317 , H01J37/20 , H01L21/68 , G03F7/20 , G03F9/00 , H02K11/00 , F16C39/06
CPC分类号: F16C32/0472 , F16C32/0444 , G05B2219/41327 , G05B2219/42092 , G05B2219/49276 , H01J37/20 , H01J2237/20278 , H01J2237/3175 , H02K11/22 , H02K41/031
摘要: 一种装置加工在精确控制的位置上的一个物体(19),例如一个半导体晶片。该物体(19)由一个沿着一条路径可移动的工作台(12)支撑。一个悬挂执行机构部分(14)连接到工作台(12),悬挂执行机构部分(14)包括一个软磁芯(24)和一个线圈(20),软磁芯(24)具有沿着该路径在支撑结构上的多个朝向软磁元件(34)的表面的磁极,线圈(20)用于应用一个电流产生一个磁场,该磁场通过多个磁极穿过芯24,并且通过软磁元件(34)返回。一个传感器(17)检测悬挂执行机构部分(14)相对于定位参考元件(16)的一个测量位置。一个控制电路包括一个外部控制电路(40)和一个内部控制电路(42)。外部控制电路(40)接收一个检测结果,并且确定力设定值信息以将执行机构部分(14)的测量位置调整到一个要求的值。内部控制电路(42)接收力设定值信息,并且根据力设定值信息来控制电流,以在执行机构部分(14)与支撑结构(10)之间实现一个力。
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