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公开(公告)号：CN105264110B
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201480031318.4
申请日：2014-05-08
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332 , H01L21/67132
摘要： 提供一种能够不将成膜单元及其上游侧和下游侧单元上下重叠而确保作业空间的成膜装置。成膜装置包括成膜单元（16）、和配置在其左右的上游侧及下游侧单元（14、18）。成膜单元（16）具有：成膜辊（70）；多个引导辊（72）；主腔室（64），具有成膜辊收纳部（74）及其上侧的引导辊收纳部（76）；第1加工腔室和第2加工腔室（66、68），在成膜辊收纳部（74）的左右收纳多个成膜加工用设备（84、86）；和加工腔室支承部（104），将加工腔室（66、68）支承为，该加工腔室（66、68）能够在成膜用的通常位置与向左右退避的退避位置之间移动，并且能够在该退避位置与在前后方向上离开的露出位置之间移动。
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公开(公告)号：CN102934196B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180027607.3
申请日：2011-06-02
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/02
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/166 , H01J2237/2001 , H01J2237/2005 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701
摘要： 本发明公开了一种用于使离子注入环境中的旋转连接体升温的方法，该方法提供构造成绕着第一轴线旋转的扫描臂以及经由电动机连接到扫描臂以选择性地固定工件的末端执行器。末端执行器被构造成绕着第二轴线旋转，并具有与第二轴线和电动机相关联的轴承和密封件。电动机被启动，并且电动机的旋转由于末端执行器绕着第二轴线的旋转在预定时间之后或当电动机出现故障时反转。确定末端执行器绕着第二轴线的旋转是否可接受，并且当末端执行器的旋转是不可接受的时，扫描臂绕着第一轴线往复运动，其中末端执行器的惯性造成末端执行器绕着第二轴线旋转。
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公开(公告)号：CN101436506A
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200810169778.X
申请日：2008-10-16
申请人： 加州大学评议会
IPC分类号： H01J37/20
CPC分类号： H02N2/0095 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/20207 , H01J2237/20214 , H01J2237/20221 , H01J2237/20264 , H01J2237/20278 , H01J2237/28 , Y10T74/20348
摘要： 本发明涉及一种用于定位透射电子显微镜试样的电动操纵器，其用于使TEM试样固定器以亚微米分辨率而平行于y－z平面进行定位，并在该y－z平面中旋转该试样固定器，所述操纵器包括基座(2)和用于将试样固定器连接到操纵器上的附连装置(30)，其特征在于，该操纵器还包括安装在基座上的至少三个纳米促动器(3a，3b，3c)，各纳米促动器呈现有顶端(4a，4b，4c)，该至少三个顶端限定该y－z平面，各顶端能在该y－z平面中相对于基座移动；与纳米促动器的顶端相接触的平台(5)；以及用于将平台压在纳米促动器顶端上的夹紧装置(6)；结果，纳米促动器可在y－z平面中相对于基座旋转该平台，并且平行于该y－z平面而平移该平台。
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公开(公告)号：CN1595599A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410009225.X
申请日：2004-06-18
申请人： 清华大学
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/265
CPC分类号： H01L21/68764 , H01J2237/20207 , H01J2237/20228 , H01J2237/20278 , H01J2237/31701 , H01L21/67213 , H01L21/68
摘要： 一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，属于半导体设备技术领域。本发明提供了一种离子注入机中靶盘角度控制与扫描运动机构，其特征在于：所述角度控制与扫描运动机构为PR－PRR型双支链2自由度平面并联机构，包括靶盘、第一支链和第二支链。本发明解决了现有串联型靶盘角度控制与扫描机构的刚度低、与腔室连接的底层构件负荷过大等问题，同时，有利于将靶盘扫描运动机构的驱动电动机布置于注入腔室的外部，克服了驱动电动机布置于腔室内部而带来的对注入腔室环境的不利影响。
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公开(公告)号：CN102067270B
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN200980123733.1
申请日：2009-06-23
申请人： 艾克塞利斯科技公司
IPC分类号： H01J37/20 , H01J37/317 , F16M11/18
CPC分类号： H01J37/3171 , F16M11/123 , F16M11/18 , H01J37/20 , H01J2237/20 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/20278
摘要： 本发明提供了一种被配置用于制造离子束(210)的离子注入系统(100)，其中，末端站(216)具有机器人构造(250)，所述机器人构造(250)具有至少四个自由度。被可操作地连接至机器人构造的末端执行器(229)选择性地抓紧工件(228)以及使工件(228)平移通过离子束。机器人构造具有可操作地连接至末端站的多个电机(254)，每个电机具有旋转轴(256)。每个旋转轴的至少一部分通常位于末端站内，多个电机中的每个电机具有分别与之相关联的连杆组件(252)，其中每个连杆组件分别具有曲轴臂(258)和支柱(260)。每个连杆组件的曲轴臂被固定地连接至各自的旋转轴，以及每个连杆组件的支柱在第一接头(262)处被枢转地连接至各自的曲轴臂，并且在第二接头(264)处被枢转地连接至末端执行器。
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公开(公告)号：CN1766592B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200510113299.2
申请日：2005-07-14
申请人： 应用材料以色列公司
CPC分类号： G01N1/32 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/20278 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 公开了在真空室中形成目标物样品、从该目标物提取样品和对该样品进行微量分析的方法和设备，该微量分析包括表面分析和电子透明度分析。在一些实施例中，提供了一种用于对提取的样品的目标横截面成像的方法。可选择地，在该真空室内反复薄化和成像该样品。在一些实施例中，该样品位于包括可选择的孔的样品支撑件上。可选择地，该样品位于该样品支撑件的表面上以使得该目标横截面基本上平行于样品支撑件表面。一旦安装在样品支撑件上，就或在该真空室中对该样品进行微量分析，或将其装载到装载站上。在一些实施例中，通过基本上垂直地入射到目标横截面的电子束来对该样品成像。
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公开(公告)号：CN101131910A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200710110708.2
申请日：2003-03-21
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01J37/317 , H01L21/00 , H01L21/67
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/18 , H01J37/3171 , H01J2237/20 , H01J2237/2006 , H01J2237/2007 , H01J2237/20221 , H01J2237/20228 , H01J2237/20278 , H01L21/682 , H01L21/6835
摘要： 本发明公开一种半导体处理装置，该装置提供衬底或晶片夹持器(180)的扫描臂(60)在至少两个通常正交方向(所谓X－Y扫描)上运动。在第一方向上的扫描是纵向贯穿在真空室壁上孔(55)。臂(60)通过一个或多个直线式电动机(90A、90B)往复运动。臂(60)使用万向空气轴承相对于导引板(100)支撑，以便于为臂相对于导引板(100)提供悬臂支撑。为臂(60)进入真空室的适应性穿通装置(130)然后担当真空密封和引导件，但其自身不要提供轴承支撑。法拉第(450)被连接到邻近衬底夹持器(180)的臂(60)，以允许在注入之前和过程中实现束分布的确定。法拉第(450)可以替代地或另外地被安装邻近所述衬底夹持器的后部或与其成90°，并且所述衬底支撑被颠倒或水平并脱离束线，以允许在注入之前实现束分布的确定。
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公开(公告)号：CN1766592A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510113299.2
申请日：2005-07-14
申请人： 应用材料以色列公司
CPC分类号： G01N1/32 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J37/3056 , H01J2237/20278 , H01J2237/20292 , H01J2237/204 , H01J2237/208 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749
摘要： 公开了在真空室中形成目标物样品、从该目标物提取样品和对该样品进行微量分析的方法和设备，该微量分析包括表面分析和电子透明度分析。在一些实施例中，提供了一种用于对提取的样品的目标横截面成像的方法。可选择地，在该真空室内反复薄化和成像该样品。在一些实施例中，该样品位于包括可选择的孔的样品支撑件上。可选择地，该样品位于该样品支撑件的表面上以使得该目标横截面基本上平行于样品支撑件表面。一旦安装在样品支撑件上，就或在该真空室中对该样品进行微量分析，或将其装载到装载站上。在一些实施例中，通过基本上垂直地入射到目标横截面的电子束来对该样品成像。
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公开(公告)号：CN105094147B
公开(公告)日：2017-12-19
申请号：CN201410165949.7
申请日：2014-04-23
申请人： 中国科学院物理研究所
IPC分类号： G05D3/12
CPC分类号： H02N2/0095 , H01J2237/20221 , H01J2237/20278 , H02N2/025 , H02N2/028
摘要： 本发明提供一种精密致动装置，用于在至少两个方向上实现精密致动，包括：第一移动部件，具有在其内部形成的安装空间；第一移动部件具有上表面和内侧面，安装空间从上表面向第一移动部件的内部凹入并朝向上表面敞开，并且安装空间的周边由内侧面限定；第一精密驱动机构，与第一移动部件传动连接，第一精密驱动机构用于驱动第一移动部件沿第一方向运动；第二移动部件和第二精密驱动机构，布置且保持在安装空间内，以便能够随第一移动部件一起沿第一方向运动；第二精密驱动机构与第二移动部件传动连接，用于驱动第二移动部件在安装空间内沿不同于第一方向的第二方向运动。本发明的精密致动装置结构设计紧凑、精密致动装置占用体积小、移动范围大。
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公开(公告)号：CN105264110A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031318.4
申请日：2014-05-08
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： H01J37/3277 , C23C14/562 , H01J37/32513 , H01J37/32733 , H01J37/32807 , H01J37/3288 , H01J37/32899 , H01J37/3417 , H01J37/3447 , H01J2237/162 , H01J2237/20278 , H01J2237/332 , H01L21/67132
摘要： 提供一种能够不将成膜单元及其上游侧和下游侧单元上下重叠而确保作业空间的成膜装置。成膜装置包括成膜单元（16）、和配置在其左右的上游侧及下游侧单元（14、18）。成膜单元（16）具有：成膜辊（70）；多个引导辊（72）；主腔室（64），具有成膜辊收纳部（74）及其上侧的引导辊收纳部（76）；第1加工腔室和第2加工腔室（66、68），在成膜辊收纳部（74）的左右收纳多个成膜加工用设备（84、86）；和加工腔室支承部（104），将加工腔室（66、68）支承为，该加工腔室（66、68）能够在成膜用的通常位置与向左右退避的退避位置之间移动，并且能够在该退避位置与在前后方向上离开的露出位置之间移动。
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