薄膜磁头滑板以及用于驱动其磁头元件的静电致动器

    公开(公告)号:CN1534602A

    公开(公告)日:2004-10-06

    申请号:CN200410003953.X

    申请日:1996-03-01

    IPC分类号: G11B5/31 G11B5/596 G11B5/60

    摘要: 一种制造薄膜磁头滑板的方法,该磁头滑板具有相对于记录媒体的媒体相对表面,该方法包括:在牺牲层上、基片上成形,其方式为为了形成至少有一个轨的媒体相对表面,牺牲层具有含阶梯的表面;在牺牲层表面上设滑板材料;以及从滑板上除去牺牲层和基片。跟踪机构或装卸机构设在滑板上。用于驱动上述机构的静电致动器包括有多个相互平行齿的固定部件,在多个齿的可移动部件,该可移动部件的齿平行于固定部件的齿,还包括用于支承可移动部件的支承弹簧,可移动部件能够在齿宽度方向相对于固定部件移动。驱动力产生器移动可移动部件到一位置,在该位置处当在固定部件的齿和可移动部件的齿之间加电压时,在齿宽度方向上产生的静电吸引力与磁头悬臂的弹性力相平衡。