新型压电陶瓷式继电器

    公开(公告)号:CN100449669C

    公开(公告)日:2009-01-07

    申请号:CN200610050553.3

    申请日:2006-04-28

    IPC分类号: H01H57/00

    摘要: 一种新型压电陶瓷式继电器,涉及继电器领域,包括壳体、安装在壳体内相互配合的内触点、外触点,所述的内、外触点之间设有复位机构,所述的内触点与压电陶瓷控制机构连接,所述的压电陶瓷控制机构包括压电陶瓷、固定座,固定座与壳体固定连接,压电陶瓷的中部安装在固定座上,压电陶瓷的支点端与壳体固定连接,压电陶瓷的活动端设有绝缘连接头,所述绝缘连接头上安装内触点,所述的外触点安装在壳体上。本发明提供一种功耗低、不会造成干扰的新型压电陶瓷式继电器。

    压电射频微机电系统装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN1975956A

    公开(公告)日:2007-06-06

    申请号:CN200610136623.7

    申请日:2006-10-31

    摘要: 本发明涉及一种压电射频(RF)微机电系统(MEMS)装置及其制造方法,其中RF MEMS装置基于压电效应以低压向上驱动。所述压电RF MEMS装置包括:提供有RF输出信号线的上基板;设置于RF输出信号线下的压电致动器;和提供有空腔的下基板,从而压电致动器的一端固定到下基板且其另一端可移动且与上和下基板分开,其中压电致动器提供有在其上的RF输入信号线,且接触焊盘被提供以当压电致动器被向上驱动时将RF输出信号线与RF输入信号线连接。制造压电RF MEMS装置的方法包括:提供包括RF输出信号线的上基板;提供包括压电致动器的下基板,压电致动器具有对应于RF输出信号线的RF输入信号线;且组装上基板和下基板。

    具有可变形弹性体导电元件的微机电开关

    公开(公告)号:CN1316531C

    公开(公告)日:2007-05-16

    申请号:CN02829426.2

    申请日:2002-06-14

    IPC分类号: H01H57/00 H01L21/00

    CPC分类号: H01H59/0009

    摘要: 一种具有可变形弹性体元件(1)的微机电开关(MEMS),该微机电开关以少量的移位表现出导电性方面的大的变化。可变形弹性体元件(1)被通过横向施加的静电力移动,从而产生了小的横向位移。所述横向位移又将金属触点(7)推向两个导电通路(5,6),从而允许电信号通过。在两个相对侧给弹性体(1)提供了嵌入的金属元件(9,10),诸如注入的金属棒、金属薄片、金属微粒或者导电膏。驱动电极(18,8)与弹性体的导电侧并行放置。在弹性体的导电侧和相应的驱动电极(18,8)之间施加的电压产生静电吸引力,所述静电吸引力压缩弹性体(1),从而产生闭合MEMS的横向位移。基于弹性体的MEMS通过延长可变形开关元件的疲劳寿命而延长了开关的寿命。

    柔性静电激励器
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1961244A

    公开(公告)日:2007-05-09

    申请号:CN200580017738.8

    申请日:2005-04-25

    摘要: 一种静电激励器,其具有包括第一电极(20)的基部(10),并且具有柔性膜(50),该柔性膜包括至少两个彼此相接触的不同材料的材料层。至少一个材料层包括与第一电极电隔离的第二电极(40)。该柔性膜包括:固定端部,柔性膜在固定端部处连接到基部;和与固定端部相反的自由端部。在柔性膜中,第二电极至少具有由第三部分分隔开的第一和第二部分,并且第一和第二部分一起限定出设在固定端部附近的台阶。第一台阶最靠近固定端部,并且与第二部分相比以更短的距离与第一电极分隔开。增强件(310)可以布置在柔性膜上,朝向柔性膜的自由端部。静电激励器可以包括延伸贯穿基部并且沿着远离固定端部的方向延伸的细长孔(420,320)。基部的第一电极可以在被限定为朝着固定端部的方向上延伸过柔性膜的第二电极的一端。柔性膜可以包括构造为与柔性膜内部相通的周边或侧面切口。