涂敷法制备质谱场电离用发射丝

    公开(公告)号:CN1010530B

    公开(公告)日:1990-11-21

    申请号:CN87106761

    申请日:1987-10-09

    摘要: 本发明属有机质谱场电离用发射丝。是采用直接涂敷的方法来制备质谱场电离(FI)场解吸(FD)用的发射丝的方法。利用质谱计本身进行活化处理,制作过程简单、快速,且发射丝的使用寿命长,每根可用10~30次,使用过的发射丝,再经涂敷活化后,仍可继续使用。本发明制备的发射丝为不规则凹陷结构,与使用较广的针须发射丝相比具有强度大,表面积大,无断须问题等优点,凡是晶须状发射丝能分析的场解吸样品,本发明制作的发射丝同样适用。

    一种多电极真空弧离子源
    23.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111863566A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010530708.3

    申请日:2020-06-11

    IPC分类号: H01J3/04

    摘要: 本发明实施例提供了一种多电极真空弧离子源,包括多个相同的单电极;单电极包括:阴极、绝缘套筒、阳极和阳极绝缘层;阴极为一端具有凸起结构的圆柱,其中,具有凸起结构的一端为放电端,另一端为平面端;阴极表面包裹有绝缘套筒,且绝缘套筒内壁与阴极表面紧密接触;阳极固定于绝缘套筒上,且阳极内表面与绝缘套筒外表面相接触,阳极的外表面由阳极绝缘层包裹;多个阴极的非放电端均连接同一个放电电源的负高压端子,多个阳极均接地。本发明基于绝缘阳极结构实现了在一个电源下多个电极同时放电,增大了阴极电流幅值,提高了等离子体的生成量,丰富了金属离子的种类。

    离子源
    24.
    发明公开
    离子源 审中-实审

    公开(公告)号:CN111161987A

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201911382854.X

    申请日:2019-12-27

    申请人: 季华实验室

    IPC分类号: H01J3/04

    摘要: 本发明提供一种离子源,包括:一阴极壳体,其包括底壁、顶壁以及连接底壁和顶壁的侧壁,所述底壁、顶壁以及侧壁围成一容纳空间,所述顶壁上开设有呈迂回曲折延伸的开口,壳体上设置有电极以及一通气孔;一阴极板条,其与所述开口的形状适配,阴极板条设置于所述开口处并沿着所述开口迂回曲折延伸,阴极板条的外侧缘与所述开口的内侧缘间隔预设距离以形成迂回曲折延伸的狭缝;一阳极,其设置于所述壳体内并位于狭缝正对,所述阳极沿着所述狭缝的延伸方向迂回曲折延伸;一永磁体,其设置于所述容纳空间内并位于所述阴极板条相对,所述永磁体沿着所述阴极板条的延伸方向迂回曲折延伸。本发明实施例提供的离子源可以提高离子源的效率,节省空间。

    一种离子源的安装装置
    25.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110729159A

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201910969392.5

    申请日:2019-10-12

    发明人: 周华佗

    IPC分类号: H01J9/18 H01J3/04 H01J27/08

    摘要: 本发明涉及半导体加工设备技术领域,尤其涉及一种离子源的安装装置,离子源包括起弧室的一开口侧设有一阴极电极,阴极电极一端具有开口,灯丝位于开口内并与阴极电极保持一定间距,阴极电极自起弧室的开口侧向内突出,安装装置包括:阴极夹,用于固定阴极电极;两个灯丝夹,分别用于固定灯丝的两端于起弧室外,以使灯丝与阴极电极保持间距;绝缘盘,绝缘盘的正面具有一第一定位结构,阴极夹的一端固定于第一定位结构上;绝缘盘的背面具有一第二定位结构,两个灯丝夹的一端固定于第二定位结构上。有益效果:减少灯丝的安装时间,并且能够防止螺钉松动或受热变形造成的灯丝偏移;便于调节阴极电极和灯丝的位置,从而保证其间距。

    一种方形离子源
    30.
    实用新型

    公开(公告)号:CN213781983U

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202023252502.3

    申请日:2020-12-29

    IPC分类号: H01J3/04 H01J3/14 H05K7/20

    摘要: 本实用新型公开了一种方形离子源,包括方形外壳,方形外壳的上部固定有前面板,前面板上设置有灯罩,方形外壳的下部固定有底板,底板的表面设置有调节杆,调节杆包括穿过底板并与其固定连接的固定壳、设置在固定壳内部并与其滑动设置的推动杆,方形外壳的内部中部设置有外壳固定环,外壳固定环与前面板通过支撑杆固定连接,外壳固定环与前面板之间设置有聚焦器固定环,且聚焦器固定环相对于支撑杆滑动设置,聚焦器固定环的内壁固定连接有聚焦器,推动杆与聚焦器固定连接。本实用新型前端增加固定板,紫外灯嵌入安装,安装更为牢固、聚焦器可前后调节、散热效果更好。