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公开(公告)号：CN110729159B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201910969392.5
申请日：2019-10-12
申请人： 武汉新芯集成电路制造有限公司
发明人： 周华佗
摘要： 本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种离子源的安装装置，离子源包括起弧室的一开口侧设有一阴极电极，阴极电极一端具有开口，灯丝位于开口内并与阴极电极保持一定间距，阴极电极自起弧室的开口侧向内突出，安装装置包括：阴极夹，用于固定阴极电极；两个灯丝夹，分别用于固定灯丝的两端于起弧室外，以使灯丝与阴极电极保持间距；绝缘盘，绝缘盘的正面具有一第一定位结构，阴极夹的一端固定于第一定位结构上；绝缘盘的背面具有一第二定位结构，两个灯丝夹的一端固定于第二定位结构上。有益效果：减少灯丝的安装时间，并且能够防止螺钉松动或受热变形造成的灯丝偏移；便于调节阴极电极和灯丝的位置，从而保证其间距。
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公开(公告)号：CN112086330A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202011080535.6
申请日：2020-10-10
申请人： 大连交通大学
摘要： 本发明提供一种高能量离子源。本发明涉及超高真空设备开发领域。高能量离子源主要由离子聚焦机构、离子产生与引导机构、电子发射机构、氩气进入机构和角度可调机构组成。在这个核心构造里要产生氩离子，并完成对离子的加速和聚焦。本发明的离子产生与引导机构是由引出上覆盖栅网构成，该引导孔相对于氩离子处于负电压，电压值在数百至数千伏特之间可调。离子引导孔不仅可以加速氩离子，也可以约束离子束流的指向；本发明的离子聚焦机构采用三个互相绝缘的静电透镜，通过调节中间透镜可变电阻来调节离子束，进行进一步的约束；本发明的角度可调机构采用还可保证进气管与进气孔同轴心调形成团簇原子。本发明能够很好地约束离子束流的指向。
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公开(公告)号：CN107993909B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
申请人： 日新离子机器株式会社
发明人： 井内裕
摘要： 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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公开(公告)号：CN111816532B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202010693465.5
申请日：2020-07-17
申请人： 核工业西南物理研究院
摘要： 本发明涉及热阴极弧放电离子源技术领域，具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本发明包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝；安装法兰上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管，馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境，馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管，馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子，灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本发明能够保证离子源能够快速更换灯丝，便于维护和维修。
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公开(公告)号：CN107808810B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201710805474.7
申请日：2017-09-08
申请人： 爱德华兹真空泵有限责任公司
IPC分类号： H01J3/04
摘要： 一种离子泵包括阳极、具有朝向阳极延伸的至少一个表面结构的背表面、以及定位在阳极和背表面之间并具有开口以使得至少一个表面结构与所述开口对准的阴极。
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公开(公告)号：CN108040498B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201680027886.6
申请日：2016-05-11
申请人： 瓦里安半导体设备公司
摘要： 本文提供源壳体组件、离子撷取系统及改善离子撷取系统的方法。源壳体组件可包括源壳体，所述源壳体环绕包括弧室的离子源，所述源壳体具有安装于其近端处的撷取孔板。所述源壳体组件还包括真空衬垫，所述真空衬垫安置于所述源壳体的内部内以在一组真空抽吸孔周围形成屏障。在构成后，所述源壳体组件中的除撷取孔板中的开口以外的开口被撷取孔板及真空衬垫封闭，进而确保在弧室外形成的附属弧或无关离子保持于源壳体内。只有在弧室内形成的那些离子经由撷取孔板的开口而离开源壳体。
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公开(公告)号：CN108428607A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201711494189.4
申请日：2017-12-31
申请人： 宁波大学 , 宁波华仪宁创智能科技有限公司
IPC分类号： H01J3/04
CPC分类号： H01J3/04
摘要： 本发明提供了一种具有控温功能的离子源及其工作方法，所述离子源包括高压电极；气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。本发明具有结构简单、升温快、降温快等优点。
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公开(公告)号：CN107910237A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201711106175.0
申请日：2017-11-10
申请人： 中国人民解放军陆军防化学院 , 苏州微木智能系统有限公司
IPC分类号： H01J3/04
CPC分类号： H01J3/04
摘要： 本发明提供一种大气压辉光放电离子源，包括第一螺旋电极和第二螺旋电极。所述第一螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极与所述第一螺旋电极共面且平行间隔设置。在螺旋状的放电电极之间设置细长连贯的放电沟道，减小了两放电电极之间的间隙。在不增大整体面积的情况下尽量的增大了样品电离的面积，从而使通过的样品流量增加，提高了电离效率。
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公开(公告)号：CN1956119A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200510100604.4
申请日：2005-10-24
申请人： 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC分类号： H01J3/04
CPC分类号： H01J27/04
摘要： 本发明提供一种离子枪，其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置，真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口，该阳极位于真空容器内部，该阴极装置位于电子注入孔处，所述阴极装置为场发射冷阴极装置。该离子枪具有发射电子稳定、结构简单的特点。
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