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公开(公告)号：CN116690420B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310989096.8
申请日：2023-08-08
申请人： 中北大学
摘要： 本发明涉及磨削加工技术领域，具体是一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具，其包括超声纵扭变幅杆、纵扭压力调控装置、传感器安装盘A、桥式无线压阻传感器、传感器安装盘B、四个无线温度传感器、磨削盘、四根紧固螺栓，所述纵扭压力调控装置包括传动盘A、传动盘B、可压缩弹性环，其中，超声纵扭变幅杆为空心结构，超声纵扭变幅杆的侧壁下部贯通开设有导液孔A，超声纵扭变幅杆的下端壁中央贯通开设有导液孔B，超声纵扭变幅杆的下外端面边缘开设有四个沿周向等距排列的盲螺孔，其有效解决了现有磨削加工技术加工质量较差、加工效率较低、磨削刀具使用寿命较短的问题，适用于磨削加工。
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公开(公告)号：CN116690420A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310989096.8
申请日：2023-08-08
申请人： 中北大学
摘要： 本发明涉及磨削加工技术领域，具体是一种具有工况监测功能的过盈式超声纵扭自调控磨削刀具，其包括超声纵扭变幅杆、纵扭压力调控装置、传感器安装盘A、桥式无线压阻传感器、传感器安装盘B、四个无线温度传感器、磨削盘、四根紧固螺栓，所述纵扭压力调控装置包括传动盘A、传动盘B、可压缩弹性环，其中，超声纵扭变幅杆为空心结构，超声纵扭变幅杆的侧壁下部贯通开设有导液孔A，超声纵扭变幅杆的下端壁中央贯通开设有导液孔B，超声纵扭变幅杆的下外端面边缘开设有四个沿周向等距排列的盲螺孔，其有效解决了现有磨削加工技术加工质量较差、加工效率较低、磨削刀具使用寿命较短的问题，适用于磨削加工。
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公开(公告)号：CN116690402A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310995157.1
申请日：2023-08-09
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司 , 浙江晶盛创芯半导体设备有限公司
摘要： 本申请涉及一种抛光机工艺参数调节方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：控制所述抛光机进行抛光，并获取所述抛光机内多个区域采集的温度数据和所述抛光机的工艺参数；将所述温度数据、所述工艺参数和待抛光物件的平整度参数输入至预先训练的抛光分析模型，得到目标工艺参数；将所述抛光机的工艺参数实时调整为目标工艺参数。采用本方法能够实现通过调整工艺参数对温度进行灵活控制，达到提高抛光品质的效果。
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公开(公告)号：CN116551475A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310808948.9
申请日：2023-07-04
申请人： 张家港市卓华金属科技有限公司
发明人： 钱剑
摘要： 本发明公开了一种用于五金工具的磨削加工方法及系统，涉及数据处理技术领域，该方法包括：接收磨削概念模型和表面期望粗糙度，获取五金工件第一仿真模型；将磨削概念模型和五金工件第一仿真模型进行比对，获取待磨削标识区域，对磨削机床的磨削控制参数进行优化，根据磨削控制参数寻优结果进行粗糙度评估，当表面粗糙度预测结果小于或等于表面期望粗糙度，对待磨削五金工件进行磨削加工。本发明解决了现有技术中由于五金工具磨削加工粗糙度的管控不够智能，导致加工成本高的技术问题，达到了通过智能化管控五金工具磨削加工的粗糙度，提高产品成品率、降低加工成本的技术效果。
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公开(公告)号：CN115091363B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202210747471.3
申请日：2022-06-29
申请人： 广东豪特曼机床股份有限公司
摘要： 本发明公开的一种随动磨床液体静压导轨热误差补偿方法、系统和介质，其中方法包括：通过预设的温度感应器，得到随动磨床液体静压导轨的温度值；判断随动磨床液体静压导轨的温度值是否在第一预设区间，若否，则触发警示装置，将温度值发送至预设的热误差计算模块，得到第一热误差值；根据第一误差值对随动磨床液体静压导轨运动位移进行补偿，从而减少随动磨床液体静压导轨的误差。本申请通过将随动磨床液体静压导轨进行区块划分，通过多点温度监测，保证了温度监测的准确性，从而得到准确的热误差。本申请还通过对随动磨床液体静压导轨的温度调节，从而减少热误差的产生，达到随动磨床液体静压导轨正常运行的目的。
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公开(公告)号：CN116237866A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310359809.2
申请日：2023-03-31
申请人： 江苏科技大学
IPC分类号： B24B37/005 , B24B37/015 , B24B37/34 , B24B47/12 , B24B49/14 , B24B51/00
摘要： 本发明涉及研磨抛光机设备技术领域，具体涉及一种可实时温控的研磨抛光机及其控温方法，包括箱体，其内部架设有第一电动机，所述第一电动机的输出轴固定连接设有轴杆，所述轴杆远离所述第一电动机的一端设有抛光盘，所述抛光盘的底部设有加热盘，所述箱体的一侧设有雾化降温组件，所述箱体的顶部设有控温组件，通过第一电动机带动轴杆旋转，通过轴杆带动抛光盘旋转，从而使工件进行研磨工作，通过控温组件监测抛光盘表面的温度，并根据温度控制加热盘和雾化降温组件工作，从而使工件的加工温度可根据需求进行调整管控，进一步保证了工件的加工质量，解决了现有的调温抛光装置，只能进行简单的加热，无法根据工件实施工况的温度进行调节的问题。
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公开(公告)号：CN111048433B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN201910974467.9
申请日：2019-10-14
发明人： 安钟八
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/67 , B24B37/005 , B24B49/14 , G01J5/00 , G01J5/02 , G01J5/03 , G01J5/04 , G01J5/48
摘要： 本发明的对晶片表面温度进行实时测量并监控的方法，对研磨垫的表面温度进行实时测量并实时监控，因此可以在清洗工艺中借助于化学反应和摩擦能动地应对晶片表面的不规则的温度变化。本发明的晶片表面温度测量传感器也可以在有从清洗液中产生的烟尘的环境下使用，按照红外线摄像机的各个点分别负责温度，从而能够按照区间校正温度。
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公开(公告)号：CN107127646B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN201710425347.4
申请日：2017-06-07
申请人： 自贡金工超硬工具有限公司
IPC分类号： B24B3/60 , B24B55/02 , B24B55/00 , B24B49/00 , B24B49/14 , B24B41/06 , B24B41/02 , B24B27/00 , B24B47/08 , B24B47/04
摘要： 本发明公开了一种旋转锉加工用五轴联动数控磨床，包括磨床底座、护罩、XY向滑动平台、A轴装置、摆臂装置、油冷装置和灭火安防装置；所述护罩设于所述磨床底座的顶部，所述XY向滑动平台设于护罩内，且XY向滑动平台固定于所述磨床底座的顶部，所述A轴装置设于C轴装置上，C轴装置设于XY向滑动平台上，所述摆臂装置设于磨床底座上，且摆臂装置与A轴装置相对应，所述油冷装置的出油口设于摆臂装置上，所述灭火安防装置设于所述护罩上；所述护罩包括下护罩和上护罩，所述下护罩可拆卸地设于磨床底座的顶部，所述上护罩可拆卸地设于下护罩的顶部。其结构稳定，运行平稳，加工精度更高且能保证生产效率更高，同时生产更安全。
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公开(公告)号：CN111048439B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN201910929424.9
申请日：2019-09-27
发明人： 安钟八
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66 , G01J5/02 , B24B37/005 , B24B49/14
摘要： 本发明涉及一种用于测量半导体晶片温度的传感器位置调整装置及其方法，其中，装置包括：支架；第一固定部件，其插入至形成于支架的第一结合孔；第二固定部件，其插入至形成于支架的第二结合孔，对温度传感器进行固定；位置调整部件，其设置于第二固定部件下面，对温度传感器进行固定支撑；温度传感器；夹具，用于对温度传感器的感知位置进行调整；控制器，其设置有晶片表面监控系统，晶片表面监控系统将温度传感器拍摄的表面温度分为多个频道并通过显示器显示。本发明的优点在于，在从半导体晶片表面去除金属污染物质和有机污染物质的过程中，实时识别到晶片表面由于化学反应和摩擦达到一定温度以上，从而使得晶片不良率减少，进而提高收率。
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公开(公告)号：CN115958472A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202310094334.9
申请日：2023-02-10
申请人： 杭州电子科技大学 , 浙江广力工程机械有限公司
IPC分类号： B24B1/00 , B24B49/14 , B24B49/00 , G06F30/17 , G06F30/27 , G06N3/126 , G06F111/04 , G06F111/06 , G06F111/08 , G06F119/14
摘要： 本发明涉及一种基于改进遗传算法的密封环磨削工艺参数优化方案。首先，本发明选取磨削速度、工件进给速度、磨削深度为优化参数，以磨削比能、磨削温度、以及表面粗糙度为优化目标，建立优化参数与优化目标的函数模型。其次，根据优化目标与优化参数的函数模型以及优化目标与优化参数的约束条件即优化目标函数模型及约束条件建立密封环磨削工艺参数的优化数学模型。最后，采用基于改进遗传算法的多目标优化，先使用遗传算法和线性加权法将多目标、多变量和多约束问题简化为单目标优化问题，并对此优化模型进行求解，在求出范围解后，将范围解运用局部搜索算法求出其精确最优解。因此，本发明对密封环的磨削工艺优化有重要意义。
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