公开(公告)号：CN114270154B

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202080058875.0

申请日：2020-07-24

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： D·德考尼克 ,  V·S·库马 ,  M·J·汤普森 ,  V·齐克尔 ,  L·V·贾亚拉曼 ,  S·尼灿 ,  H·乔哈里-加勒 ,  辛宗祐 ,  金乐

IPC分类号： G01K7/22

摘要： 示例性微机电设备包括MEMS层，其部分对外力做出响应以便测量外力。基板层位于MEMS层下方，并且锚将基板层和MEMS层彼此耦合。多个温度传感器位于基板层内以识别MEMS设备所经历的温度梯度。基于温度梯度执行补偿或修改MEMS设备的操作。

公开(公告)号：CN110366685B

公开(公告)日：2022-05-17

申请号：CN201880013532.5

申请日：2018-02-23

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： A·卡斯特罗 ,  M·汤普森 ,  L·巴尔达萨雷 ,  S·尼灿 ,  H·乔哈里-加勒

IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P15/08

摘要： MEMS传感器包括悬挂在衬底上方的检验质块。感测电极平行于检验质块位于衬底的顶表面上，并且与检验质块形成电容器。感测电极具有为MEMS传感器提供改善的性能的多个槽。通过MEMS传感器感测的测量值基于检验质块相对于开槽感测电极的移动来确定。

公开(公告)号：CN110637208B

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN201880012425.0

申请日：2018-02-20

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： J·鲁欧西欧 ,  L·科罗纳托 ,  G·加弗埃力

IPC分类号： G01C19/574

摘要： MEMS传感器包括基板和MEMS层。MEMS层内的多个锚定点悬挂着悬挂的弹簧‑质块系统，该弹簧‑质块系统包括响应于诸如线性加速度、角速度、压力或磁场之类的感兴趣的力的活动微机械部件。弹簧和刚性质块将活动部件耦合到锚定点，使得锚定点的位移基本上不会导致MEMS层内的活动部件移出平面外。

公开(公告)号：CN114270154A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080058875.0

申请日：2020-07-24

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： D·德考尼克 ,  V·S·库马 ,  M·J·汤普森 ,  V·齐克尔 ,  L·V·贾亚拉曼 ,  S·尼灿 ,  H·乔哈里-加勒 ,  辛宗祐 ,  金乐

IPC分类号： G01K7/22

摘要： 示例性微机电设备包括MEMS层，其部分对外力做出响应以便测量外力。基板层位于MEMS层下方，并且锚将基板层和MEMS层彼此耦合。多个温度传感器位于基板层内以识别MEMS设备所经历的温度梯度。基于温度梯度执行补偿或修改MEMS设备的操作。

公开(公告)号：CN114269681A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080058858.7

申请日：2020-07-24

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： I·古尔因 ,  M·J·汤普森 ,  V·齐克尔

IPC分类号： B81B7/00

摘要： 微机电(MEMS)设备可以在MEMS设备的上平面表面或下平面表面处耦合到介电材料。一个或多个温度传感器可以附接到介电材料层。来自所述一个或多个温度传感器的信号可以被用于确定沿着垂直于上平面表面和下平面表面的轴的热梯度。热梯度可以被用于补偿由MEMS设备测得的值。

公开(公告)号：CN108027793B

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN201680054711.4

申请日：2016-07-27

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： A·米洛塔 ,  M(K-L)·李 ,  W·K·基尔 ,  J·B·林

IPC分类号： G06F13/38

摘要： 公开了用于通过将数据宿处理器通信从硬件无关格式转换为硬件相关格式并通过将数据源部分通信从硬件相关格式转换为硬件无关格式来使传感器数据源抽象化的系统和方法。

公开(公告)号：CN111417594B

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN201880077298.2

申请日：2018-08-27

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： M·汤普森 ,  H·乔哈里-加勒 ,  L·巴尔达萨雷 ,  S·尼灿 ,  K·威廉姆斯

IPC分类号： B81B5/00 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08

摘要： 一种微机电(MEMS)加速度计，其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。对称轴线垂直于旋转轴线。检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分，所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。

公开(公告)号：CN108369245B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201680071899.3

申请日：2016-12-09

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： G·加弗埃力 ,  L·科罗纳托 ,  A·吉埃巴斯蒂阿尼

IPC分类号： G01P15/125 ,  G01P21/00 ,  G01P15/08

摘要： 诸如加速度计之类的微机电传感器具有响应于传感器的移动的一个或多个检测质量块，该移动基于一个或多个检测质量块与一个或多个感测电极之间的距离被测量。加速度计具有多个辅助电极和被配置为将具有第一谐波频率的辅助信号应用到多个辅助电极的信号发生器。电路接收来自多个感测电极的感测信号并识别感测信号的具有第一谐波频率的一部分。基于感测信号中的该识别的部分，电路确定残余电压是否存在于一个或多个检测质量块上或一个或多个感测电极上，并且当确定残余电压存在时电路修改加速计的操作以补偿残余电压。

公开(公告)号：CN111512118A

公开(公告)日：2020-08-07

申请号：CN201880084368.7

申请日：2018-10-24

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： M·汤普森

IPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/574 ,  G01P15/125

摘要： 一种微机电(MEMS)传感器包括位于MEMS层内并且相对于一个或多个电极定位的MEMS部件。多个检测质块位于MEMS层内并且在MEMS层内不彼此电耦合。第一检测质块和第二检测质块均相对于所述一个或多个电极中的至少一个公共电极而移动，使得可以感测每个检测质块相对于电极的相对位置。可以基于感测到的相对位置来确定感测到的参数。

公开(公告)号：CN111465821A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN201880080468.2

申请日：2018-10-10

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： D·森卡尔 ,  H·乔哈里-加勒 ,  J·塞格尔

IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C25/00

摘要： MEMS陀螺仪包括以驱动频率驱动的悬挂弹簧质块系统的检测质块。在驱动运动期间，检测质块相对于感测电极移动，使得检测质块和感测电极的重叠变化。科里奥利力导致检测质块相对于感应电极移动。感测由于科里奥利力而引起的重叠和移动，并且基于由于重叠以及科里奥利力的变化而产生的信号的幅度来确定角速度。