公开(公告)号：CN111465821A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN201880080468.2

申请日：2018-10-10

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： D·森卡尔 ,  H·乔哈里-加勒 ,  J·塞格尔

IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C25/00

摘要： MEMS陀螺仪包括以驱动频率驱动的悬挂弹簧质块系统的检测质块。在驱动运动期间，检测质块相对于感测电极移动，使得检测质块和感测电极的重叠变化。科里奥利力导致检测质块相对于感应电极移动。感测由于科里奥利力而引起的重叠和移动，并且基于由于重叠以及科里奥利力的变化而产生的信号的幅度来确定角速度。

公开(公告)号：CN111465821B

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN201880080468.2

申请日：2018-10-10

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： D·森卡尔 ,  H·乔哈里-加勒 ,  J·塞格尔

IPC分类号： G01C19/5726 ,  G01C25/00

摘要： MEMS陀螺仪包括以驱动频率驱动的悬挂弹簧质块系统的检测质块。在驱动运动期间，检测质块相对于感测电极移动，使得检测质块和感测电极的重叠变化。科里奥利力导致检测质块相对于感应电极移动。感测由于科里奥利力而引起的重叠和移动，并且基于由于重叠以及科里奥利力的变化而产生的信号的幅度来确定角速度。

公开(公告)号：CN111344575B

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN201880073371.9

申请日：2018-10-16

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： I·古尔因 ,  J·塞格尔 ,  M·汤普森

IPC分类号： G01P21/00 ,  G01P15/13 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  B81B5/00 ,  G01C19/5719

摘要： 微机电系统(MEMS)传感器包括MEMS层，该MEMS层包括固定电极和可移动电极。响应于平面内线性加速度，可移动电极相对于固定电极移动，并且加速度基于所得的电容的变化来确定。多个辅助电极位于MEMS传感器的基板上并且在MEMS层下方，使得MEMS层和辅助负载之间的电容响应于MEMS层或其一部分的平面外移动而变化。MEMS传感器基于由辅助电极感测到的电容来补偿加速度值。

公开(公告)号：CN111344575A

公开(公告)日：2020-06-26

申请号：CN201880073371.9

申请日：2018-10-16

申请人： 应美盛股份有限公司

发明人： I·古尔因 ,  J·塞格尔 ,  M·汤普森

IPC分类号： G01P21/00 ,  G01P15/13 ,  G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  B81B5/00 ,  G01C19/5719

摘要： 微机电系统(MEMS)传感器包括MEMS层，该MEMS层包括固定电极和可移动电极。响应于平面内线性加速度，可移动电极相对于固定电极移动，并且加速度基于所得的电容的变化来确定。多个辅助电极位于MEMS传感器的基板上并且在MEMS层下方，使得MEMS层和辅助负载之间的电容响应于MEMS层或其一部分的平面外移动而变化。MEMS传感器基于由辅助电极感测到的电容来补偿加速度值。