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公开(公告)号:CN105189448A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201480026291.X
申请日:2014-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C07C217/08 , C08F2/50 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/50 , C07C217/08 , C07C217/40 , G02B1/12 , G03F7/0002 , H01L21/02118 , H01L21/3081 , H01L21/311 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/0082 , H05K3/30 , H05K2203/0548
Abstract: 提供了一种化合物,其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示:其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基,RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构,N表示氮原子,RA表示烷基,和RB表示烷基或氢原子。