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公开(公告)号:CN105189448B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201480026291.X
申请日:2014-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C07C217/08 , C08F2/50 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/50 , C07C217/08 , C07C217/40 , G02B1/12 , G03F7/0002 , H01L21/02118 , H01L21/3081 , H01L21/311 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/0082 , H05K3/30 , H05K2203/0548
Abstract: 提供了一种化合物,其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示:其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基,RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构,N表示氮原子,RA表示烷基,和RB表示烷基或氢原子。
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公开(公告)号:CN105359254A
公开(公告)日:2016-02-24
申请号:CN201480036290.3
申请日:2014-06-18
Applicant: 佳能株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/002 , B29C59/005 , B29C59/022 , B29C59/026 , B29K2033/08 , B29K2105/0005
Abstract: 一种压印方法,其包括:将光固化性组合物布置在工件基板上(布置);在冷凝性气体环境中使所述光固化性组合物和模具彼此接触(接触);对准所述模具和所述工件基板(对准);用光照射所述光固化性组合物以获得光固化了的组合物(照射);以及使所述光固化了的组合物和所述模具在照射后彼此分离(脱模)。在所述对准期间所述光固化性组合物的膜厚度比脱模后的所述光固化了的组合物的膜厚度厚20%或更多。
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公开(公告)号:CN105189448A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201480026291.X
申请日:2014-05-02
Applicant: 佳能株式会社
IPC: C07C217/08 , C08F2/50 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/50 , C07C217/08 , C07C217/40 , G02B1/12 , G03F7/0002 , H01L21/02118 , H01L21/3081 , H01L21/311 , H05K3/0076 , H05K3/0079 , H05K3/0082 , H05K3/30 , H05K2203/0548
Abstract: 提供了一种化合物,其增大光固化性组合物的光固化速度并且降低固化物与模具的脱模力。一种化合物由通式(1)表示:其中Rf表示至少一部分由氟取代的烷基,RO表示氧化烯基或氧化烯基的重复结构,N表示氮原子,RA表示烷基,和RB表示烷基或氢原子。
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