公开(公告)号：CN109374157A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811074265.0

申请日：2018-09-14

申请人： 北京遥测技术研究所 ,  航天长征火箭技术有限公司

发明人： 郝文昌 ,  骆伟 ,  焦海龙 ,  尹玉刚 ,  金小锋

IPC分类号： G01L1/16

摘要： 一种基于损耗检测的声表面波压力传感器，包括基片、叉指换能器、第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵；基片上中心位置处设置有叉指换能器，叉指换能器的一侧设置有第一金属反射栅阵，另一侧设置有第二金属反射栅阵，叉指换能器和第一金属反射栅阵之间形成间隔，叉指换能器和第二金属反射栅阵形成间隔；叉指换能器两端汇流条处均连接输出引线。本发明压力传感器压力检测方法基于器件的损耗变化，传感器实现过程中无需制备压力参考腔，极大地降低了工艺难度，良品率高，适用于半导体加工的大批量生产。

公开(公告)号：CN106568548A

公开(公告)日：2017-04-19

申请号：CN201610964608.5

申请日：2016-10-27

申请人： 北京遥测技术研究所 ,  航天长征火箭技术有限公司

发明人： 焦海龙 ,  杨挺 ,  陈艳 ,  孟丽娜 ,  王建 ,  尹玉刚 ,  金小锋 ,  张世名 ,  邹江波

IPC分类号： G01L9/12

CPC分类号： G01L9/12

摘要： 基于SOI‑MEMS技术的电容式绝压微压气压传感器，涉及一种电容式绝压微压气压传感器敏感芯片领域；包括SOI晶圆器件层、二氧化硅层、SOI晶圆衬底层和键合封装盖板玻璃；其中，SOI晶圆器件层为方形结构，且水平位于底部；二氧化硅层固定安装在SOI晶圆器件层的上表面；SOI晶圆衬底层固定安装在二氧化硅层的上表面；键合封装盖板玻璃固定安装在SOI晶圆衬底层的上表面；避免了电极引线贯穿真空腔封装键合界面，增加微压传感器的真空封装性能和可靠性，传感器的性能指标、一致性、成品率可以得到很好保证；所需微纳工艺简单、实现成本较低。

公开(公告)号：CN104316039B

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201410539015.5

申请日：2014-10-13

申请人： 北京遥测技术研究所 ,  航天长征火箭技术有限公司

发明人： 孙延东 ,  郭亚北 ,  孟丽娜 ,  邹江波 ,  金小锋 ,  路文一 ,  于慧 ,  杨丹 ,  王健 ,  陈倩

IPC分类号： G01C19/5607

摘要： 本发明公开了一种内置集成电荷放大器的石英音叉陀螺，包括石英音叉敏感元件、陶瓷混合集成电路和封装管壳，石英音叉敏感元件包括驱动叉臂、拾取叉臂、扭转框、锚点；管壳包括底座、上盖板和多个管脚；陶瓷混合集成电路包括精密运算放大器、反馈电阻、反馈电容和陶瓷基板；陶瓷混合集成电路将石英音叉陀螺拾取叉臂的感应电荷提取放大为电压信号后，输出到所述管壳的管脚上，避免了微弱电荷信号的直接输出，能有效地解决焊接过程中残余的助焊剂、引线分布电容、灰尘、绝缘清漆、水汽等污染物以及外部电路噪声对电荷提取放大的影响，提高了检出石英音叉陀螺微弱电荷信号的稳定性和信噪比，提升了石英音叉陀螺的环境适应性能和检测精度。

公开(公告)号：CN103668054B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201310611998.4

申请日：2013-11-26

申请人： 北京遥测技术研究所 ,  航天长征火箭技术有限公司

发明人： 陈艳 ,  孟丽娜 ,  金小锋 ,  邹江波 ,  闫海 ,  郭亚北 ,  于慧 ,  路文一

IPC分类号： C23C14/04

摘要： 本发明公开了一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二薄板（8）通过激光焊接方式固定在第二框架（5）的上表面；在第二框架（5）横向上形成吸气孔（4）；在第二框架（5）上靠近所述第二薄板（8）的外边缘的圆周方向上形成吸气槽（7），且吸气槽（7）与吸气孔（4）相通；通过所述固定夹具（40）依次将上掩膜板（10）、待加工基片（20）和下掩膜板（30）固定。本发明的掩膜工装结构简单、便于机加制作，同时能够很好地实现对电极的双面掩膜蒸镀。

公开(公告)号：CN103684262A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310714319.6

申请日：2013-12-20

申请人： 北京遥测技术研究所 ,  航天长征火箭技术有限公司

发明人： 王健 ,  金小锋 ,  杨丹 ,  邹江波 ,  孙延东 ,  陈倩 ,  陶晋 ,  路文一

IPC分类号： H03B5/38 ,  H03L5/00

摘要： 本发明涉及一种基于模拟电路的正弦波石英晶体振荡器。该振荡器由一个频率环路和一个幅值环路构成。频率环路包括石英晶体、电流放大器和可调电压放大器，满足环路相位为2nπ（n为整数）的起振条件，以实现对振荡器频率的控制。幅值环路包括幅值检波器、积分器和受控电流源，幅值环路一方面使频率环路在起振阶段的环路增益远大于1从而缩短起振时间，另一方面在起振后使频率环路的环路增益等于1并且工作在正弦波状态。本发明的石英晶体振荡器的驱动信号为正弦波，避免了方波高次谐波对石英晶体和相邻振荡电路的影响；具有结构简单、功耗低、易于实现的优点，并且可以避免数字电路中时钟信号的干扰。

公开(公告)号：CN103668054A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310611998.4

申请日：2013-11-26

申请人： 北京遥测技术研究所 ,  航天长征火箭技术有限公司

发明人： 陈艳 ,  孟丽娜 ,  金小锋 ,  邹江波 ,  闫海 ,  郭亚北 ,  于慧 ,  路文一

IPC分类号： C23C14/04

摘要： 本发明公开了一种石英微机械传感器电极蒸镀用的掩膜工装，包括上掩膜板（10）、下掩膜板（30）和固定夹具（40）；上掩膜板（10）包括第一框架（1）和第一薄板（3）；下掩膜板（30）包括第二框架（5）和第二薄板（8）；第二薄板（8）通过激光焊接方式固定在第二框架（5）的上表面；在第二框架（5）横向上形成吸气孔（4）；在第二框架（5）上靠近所述第二薄板（8）的外边缘的圆周方向上形成吸气槽（7），且吸气槽（7）与吸气孔（4）相通；通过所述固定夹具（40）依次将上掩膜板（10）、待加工基片（20）和下掩膜板（30）固定。本发明的掩膜工装结构简单、便于机加制作，同时能够很好地实现对电极的双面掩膜蒸镀。