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公开(公告)号：CN116313950A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310286485.4
申请日：2023-03-22
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673 , C23C16/458
摘要： 本申请涉及一种石英舟成型方法及使用该方法制得的石英舟，属于半导体设备制备的技术领域，石英舟成型方法包括加工槽棒并确定槽棒尺寸：确定顶板、底板尺寸并对顶板和底板进行铣面处理；安装槽棒、底板和顶板，包括安装设备，所述安装设备包括支撑板，所述支撑板上设有定位槽棒的定位组件，所述支撑板上一端设有安装顶板的安装组件，另一端设有安装底板的运输组件，所述安装组件和所述运输组件之间设有驱动两者同时移动的驱动组件；将顶板、槽棒和底板相互固定，形成石英舟。本申请具有快速定位并安装槽棒，提高工作效率的效果。
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公开(公告)号：CN112608014B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN202110071890.5
申请日：2021-01-20
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C03B23/207 , C03B20/00
摘要： 本申请涉及石英管的技术领域，特别涉及一种多通道石英方管及其生产设备和生产工艺，该多通道石英方管由一方管半成品加热焊接而成，方管半成品包括进口段石英管、出口段石英管和至少一个气道隔板，进口段石英管的两宽侧壁上均贯穿开设有第一插槽，第一插槽贯穿进口段石英管的焊接端；出口段石英管的两宽侧壁上均贯穿开设有第二插槽，第二插槽贯穿出口段石英管的焊接端，气道隔板的两侧均设置有可插入第一插槽的第一焊接条、以及可插入第二插槽第二焊接条，第一焊接条和第一插槽的横截面以及长度均相同，第二焊接条和第二插槽的横截面以及长度均相同，第一焊接条和第二焊接条连接设置。本申请具有提高成品率的优点。
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公开(公告)号：CN112687514A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202110272939.3
申请日：2021-03-13
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本申请涉及一种钟罩及应用其的等离子去胶机，其涉及一种去胶机，其包括供硅片放入的石英罩，所述石英罩上设有供氧气输入的进气管，所述进气管的端壁上且位于石英罩外连通设有输气管，所述石英罩内设有出气管，所述出气管与输气管之间设有至少一个分支气管，所述出气管的侧壁上设有若干个出气孔，若干个所述出气管沿出气管的轴向均布。本申请具有的效果在于可以对硅片均匀去胶，提高去胶的效果。
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公开(公告)号：CN112391610B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202110078256.4
申请日：2021-01-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： C23C16/44 , C03B23/13 , C03B23/207 , C03B25/00
摘要： 本申请涉及石英管的技术领域，特别涉及一种石英冷却管及其生产设备，该石英冷却管包括石英管和焊接在石英管外壁上的冷却套，在冷却套上设置有进水口和出水口，石英管包括供冷却套套设的连接段、以及位于连接段两端的扩口段，连接段和扩口段间呈台阶设置，且连接段和扩口段间的台阶处与冷却套焊接连接。本申请具有有效提高石英管与冷却套之间的连接强度的优点。
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公开(公告)号：CN112635370A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202110258411.0
申请日：2021-03-10
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本申请涉及半导体载具的技术领域，涉及一种点接触石英舟，包括下端板，所述下端板上设有放置件，所述放置件包括设置在下端板上的载料棒、若干个沿载料棒长度方向间隔设置的载料板，所述载料板之间用于放置硅片，所述载料板远离载料棒的一端朝远离所述下端板一侧倾斜设置，从而和硅片形成点接触，所述载料棒沿周向设置有不少于三个。本申请具有以下效果：通过多个载料棒设置，可通过至少三个支撑点，对硅片进行支撑，此时载料板对硅片遮挡减小，减小载具和硅片的接触面积，提高了热处理效果。
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公开(公告)号：CN112283481A
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN202011147394.5
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F16L41/03 , F16L49/00 , F16L49/04 , C03C23/00 , C03B25/00 , C03B29/00 , C03B33/085 , C03B23/213
摘要： 本申请涉及一种石英管结构及其加工方法,包括石英管、顶片、乳白法兰、主法兰、第一尾气管、第二尾气管、进气管、石英环、顶片和吊环，石英管首端连接同轴顶片，顶片通过车床火加工形成向外凸起的弧状，石英管尾端向外依次连接同轴乳白法兰和主法兰，石英管内壁石英管的轴线对称分布有两组插接部,每组插接部包括沿石英管长度方向间隔设置两个吊环,两个吊环的中心线重合且与石英管的轴线平行；顶片中央设有向外延伸的进气管，进气管下方以石英管的轴线依次对称设置一对第一尾气管，一对第二尾气管；顶片外侧中部连接向外延伸的石英环。本申请与连接件的密封性好，石英管与乳白法兰及主法兰焊接同轴度好，质量稳定，有效避免炸裂现象。
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公开(公告)号：CN112234006A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202011149492.2
申请日：2020-10-23
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本申请公开了一种方形石英舟及其加工工艺，涉及石英舟加工的技术领域，其包括两个间隔设置的端板，两个端板之间固设有上架体和下架体，上架体和下架体上下间隔设置，上架体包括三个间隔设置的长条型棒材，下架体包括四个间隔设置的开槽棒，上架体和下架体共同围成两个用于放置硅片的区域。本申请具有增加了硅片的放置区域，进而增加硅片的放置量的效果。
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公开(公告)号：CN104623967B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201510063466.0
申请日：2015-02-06
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本发明提出了一种提纯后纯度高、不会在制造的过程中产生二次污染、且制造完成后密封性高的一级过滤装置、制造方法及石英玻璃提纯装置。一级过滤机构包括第一过滤体，与所述储料机构连通；若干筛板，设置在所述第一过滤体内。石英玻璃提纯装置包括储料机构；一级过滤机构，与所述储料机构连通；二级过滤机构，与所述一级过滤机构连通；冷凝机构，与所述二级过滤机构连通。本发明提出的一级过滤装置、制造方法及石英玻璃提纯装置提纯纯度高、产量高、污染小且密封性好。
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公开(公告)号：CN213053559U
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201922315384.7
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种化学气象沉积CVD外管，包括石英板、对接外管、顶盖、配重沿、内口、石英片、外对接口，所述石英板与对接外管焊接为一体结构，所述对接外管前端固定有顶盖，所述石英板为环形，且位于石英板外固定设有配重沿，所述石英板上开有内口，位于所述石英板内紧邻所述内口处固定有石英片，所述石英片搭接在石英板内倾斜面上，所述石英片与石英板焊接固定。
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公开(公告)号：CN211902963U
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN201922315391.7
申请日：2019-12-21
申请人： 北京凯德石英股份有限公司
IPC分类号： F23Q2/16
摘要： 本实用新型公开了一种自测温螺旋式点火腔室，包括本体、第一连接管、螺旋管、匀流板、第二连接管、定位管、第三连接管、第一球碗管、第四连接管、第五连接管、第六连接管、第二球碗管，所述本体与第一连接管固定连接，所述第一连接管与第五连接管固定连接，所述本体左端端头位置焊接有匀流板，所述匀流板一端通过焊接方式连接着第一连接管，另一端固定连接着第二连接管，所述第二连接管与螺旋管的一端固定焊接，所述螺旋管的另一端通过焊接方式连接着第三连接管，所述螺旋管中心位置设有定位管，所述定位管靠近第二连接管一端为密封头，所述密封头为弧形头结构，所述定位管另一端延伸至所述本体内壁与第一球碗管固定焊接，且相通。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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