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公开(公告)号：CN114799294A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210303365.6
申请日：2022-03-24
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23C3/02 , B23Q15/013 , B23Q15/12 , B23Q17/24
摘要： 一种复杂面形球体多工序加工用装置及其重复定位方法，涉及一种复杂面形球体加工装置及检测方法。采用自带编程并具备刀尖跟随功能的五轴联动机床，采用C‑Y‑Z‑X‑B布局，包括X轴模组、Y轴模组和Z轴模组三个直线轴以及B轴模组和C轴模组两个回转轴，三个直线轴能够在三维坐标系内调节铣刀与工件之间的相对位置，B轴模组边缘安装铣刀和光学检测装置，C轴模组安装专用夹具对所述工件进行装夹固定，两个回转轴能够调节铣刀与工件之间的相对角度。可以实现复杂面形球体多工序加工中的高精度重复定位，从而有效解决重复定位精度难以保证的问题。
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公开(公告)号：CN113681327A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202111082000.7
申请日：2021-09-15
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种可用于超精密主轴的磁力吸盘，属于超精密加工领域。该磁力吸盘，其操作简单，方便快捷，是解决特种材料超精密切削过程中装夹的有效手段。该磁力吸盘，包括壳体组件、传动组件、永磁铁、两个永磁铁安装轴；所述两个永磁铁安装轴并排转动安装在壳体组件内，每个永磁铁安装轴上均套装有永磁铁，所述传动组件带动两个永磁铁安装轴和永磁铁转动实现磁极变换，所述壳体组件安装在超精密机床上。本磁力吸盘能够实现磁极变换，从而实现在切削过程中保持必要的磁力，而完成切削后又可以降低磁力，使用方便，使用效果好。
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公开(公告)号：CN111604720A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010496101.8
申请日：2020-06-03
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B24B1/00 , B24B3/02 , B24B41/02 , B24B49/12 , B24B49/10 , B24B41/04 , B24B41/06 , B24B47/22 , B24B47/12 , B24B47/20 , G06F30/17
摘要： 本发明公开了一种金刚石不平衡量修正方法，所述方法考虑到微铣刀动平衡转速、动平衡精度以及微铣刀制备过程中可能造成的不平衡质量，确定去除质量精度为1mg。基于钨钢材料的刀柄具有较高硬度和耐磨性等特点，对微磨削过程中主轴转速、微铣刀伸长量、对刀阈值、磨削深度、磨削长度等参数进行分析，建立参数优选后的微磨削质量去除工艺，以此获得主轴转速在10000～15000rpm工况条件下动平衡精度达到ISO 1940标准要求的G0.3精度的金刚石微铣刀。本发明以微磨削技术为基础，为解决微铣刀动平衡精度问题，改善微铣削加工质量迈出了探究性的一步。
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公开(公告)号：CN111546134A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010302054.9
申请日：2020-04-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23Q17/24
摘要： 一种基于超精密铣削工艺的光栅尺误差补偿方法，属于光栅尺测量技术领域。建立铣削平面误差条纹模型，加工多个不同角度的平面，并进行表面形貌检测，将检测结果与模型对比，判断正弦性，确定机床光栅尺误差的同步位置，确定补偿相位值，确定补偿量；确定补偿计算式，建立误差补偿表，进行变换补偿。本发明可以有效地识别因光栅尺误差而产生的表面条纹，识别光栅尺误差，大幅度提高了切削表面质量，有效地降低了工件表面粗糙度；补偿后机床加工零件的表面粗糙度值是未补偿表面的50％～60％，表面质量提高1～2倍。
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公开(公告)号：CN109048390A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201810911364.3
申请日：2018-08-10
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于超声椭圆振动切削技术的钛合金超精密加工方法，所述方法步骤如下：一、调节和控制超精密加工实验室的温度、湿度和空气洁净度；二、机床试运行；三、超声椭圆振动切削系统调试；四、超声椭圆振动切削装置的安装；五、钛合金材料安装；六、粗切；七、半精切；八、精切；九、超声椭圆振动辅助切削；十、关停超精密机床和超声椭圆振动切削系统，取下钛合金工件并用无水乙醇清洗，干燥后进行保存，得到超声椭圆振动切削技术加工的超精密钛合金表面。本发明采用超声椭圆振动切削技术来实现钛合金的超精密加工，具有能够有效抑制刀具磨损、抑制加工表面的凹坑和微裂纹、提高工件表面完整性以及有效降低工件亚表层损伤深度等优点。
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公开(公告)号：CN105347298B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201510877418.5
申请日：2014-08-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种采用AFM探针纳米刻划加工复杂三维微纳米结构的方法，属于微纳米结构加工领域。为了解决复杂三维微纳米结构加工问题，所述装置包括AFM、X方向精密工作台、Y方向精密工作台，X方向精密工作台底座固连在Y方向精密工作台的滑块上，X方向定位工作台的滑块进行X方向运动，Y方向精密工作台底座固连在AFM样品台上，Y方向定位工作台的滑块进行Y方向运动。本发明提出的三种方法分别通过对同一套商用AFM以及高精度定位平台系统的不用控制和参数设置，实现采用AFM探针纳米刻划技术加工复杂三维微纳米结构的加工。本发明能够在较低成本下解决复杂三维微纳米结构的加工问题，且方法简单，装置及加工实现成本相对较低。
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公开(公告)号：CN105698679A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610145388.3
申请日：2016-03-15
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 适用于超精密机床加工零件的非接触在位检测装置及方法。机床上有与主轴连接的X轴导轨和与Y轴升降台连接的Z轴导轨，主轴有安有3R快换夹具的支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R快换夹具和标准球二连接；测量传感器固定件设在Y轴升降台前且有测量传感器。主轴上固定有工件，将在位检测机构安在Z轴导轨上，将3R快速夹具固定于主轴上；驱动主轴及Y轴升降台，对标准球二执行球冠顶点扫描操作，找到标准球二的位置P2(x,y)；驱动主轴和Y轴升降台，找出ΔP进行二维截面或三维模式检测，系统处理后得到测量结果。本发明可实现位移传感器在高度方向上的精密调节，具备实现多种球面典型的特征结构的三维表面重构的能力。
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公开(公告)号：CN104140077A
公开(公告)日：2014-11-12
申请号：CN201410385541.0
申请日：2014-08-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种基于原子力显微镜在薄壁微小球面加工微纳米结构的五轴加工装置及方法。所述装置包括AFM、二维微调心机构、精密气浮轴系、二维高精度定位平台和带动AFM进行转动的电动旋转台，二维微调心机构与精密气浮轴系的上端连接，精密气浮轴系的下端与二维高精度定位平台连接，二维高精度定位平台底座固连在AFM的样品台上，电动旋转台与AFM相连接。本发明利用原子力显微镜AFM的加工的优势，并且改善了在薄壁微球表面加工范围受限的问题，实现了基于AFM在薄壁微小球面加工微纳米结构。本发明加工方法简单，无需复杂的加工系统，操作简单，并且可以在薄壁微球表面上得到精度达到纳米量级的微纳米结构。
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公开(公告)号：CN104098066A
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201410346603.7
申请日：2014-07-21
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 电化学微纳加工设备，它属于一种纳米加工装置。为解决现有的电化学微纳加工设备成本过高、电化学加工技术应用不完善的问题。隔振基座包括台面、支架横梁以及基座，台面固定安装在基座上端面，台面上可拆卸安装有支架横梁，X向直线导轨固定平放于台面上，支架横梁垂直于X向直线导轨设置，水平旋转组件固定在X向直线导轨上，水平调整部件固定在水平旋转组件上，Y向直线导轨固定在支架横梁的前侧面上，Z向直线导轨固定在Y向直线导轨上，电极逼近部件固定在Z向直线导轨上。本发明具有精度高、加工效果好等优点，用于工件的电化学微纳加工。
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公开(公告)号：CN103759941A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410042639.6
申请日：2014-01-29
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M13/02
摘要： 一种精密主轴回转精度检测装置及方法，属于精密主轴回转误差测量技术领域。本发明所述的装置包括原子力显微镜AFM、平面样品、手动二维调整台、二维电动位移台和精密主轴控制器，其中，AFM与平面样品配合使用获得刻划形貌图，平面样品固定在手动二维调整台的上部，手动二维调整台的底部与被测精密主轴的上端连接，被测精密主轴的下端与二维电动位移台连接。本发明实施例将通过原子力显微镜的纳米刻划加工和检测一体化的优势，在检测过程中无需采用基准零件，操作简单，并且可以使测量精度达到纳米量级，同时可检测精密主轴的径向和轴向回转误差，提高了精密主轴回转误差的精度。
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