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公开(公告)号：CN101115345A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200710072589.6
申请日：2007-07-31
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 采用blumlein线并消除故有前置脉冲的毛细管放电X光激光装置，它涉及的是毛细管放电X射线激光技术的领域。它是为解决现有Marx发生器与负载间(毛细管)之间使用Blumlein传输线时所固有的前置脉冲电压，会产生对管壁烧蚀严重的问题。它的快速高压电脉冲Marx发生器(1)的输出端通过主开关(2)、Blumlein传输线(3)连接固有脉冲隔离开关(4)输入的端，固有脉冲隔离开关(4)的输出端、隔离电感(6)的一端都连接在毛细管及X光测试总成(7)的电脉冲输入端上，隔离电感(6)的另一端连接预脉冲发生器(5)脉冲输出端。本发明阻止了Blumlein传输线的固有前置脉冲电压的通过，因而消除了它对毛细管管壁烧蚀的危害和对Z箍缩等离子体的破坏，其能高效的输出激光。
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公开(公告)号：CN114751649B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202210440082.6
申请日：2022-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
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公开(公告)号：CN116149053A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310259358.5
申请日：2023-03-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G02B27/00
摘要： 一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，它涉及光学领域，本发明要解决极紫外波段光无法同时实现单点聚焦以及波前分割的问题，本发明的方法：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：(90°‑θ1)+(θ2+θ)+(180°‑θ3)＝180°，依据上述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法。本发明的方法能够在获得一个很高反射率的同时，极大的减小光学畸变，同时除聚焦外具备波前分割功能，实现一定程度上的光场调控。
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公开(公告)号：CN114751649A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210440082.6
申请日：2022-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种利用激光制备材料表面纳米颗粒的方法，涉及材料表面颗粒制备领域，包括如下步骤：步骤1)、将基板置于真空室的移动平台上；所述基板上设有单层石墨烯；步骤2)、用一聚焦的脉宽1.6ns毛细管放电极紫外激光器对基板进行激光烧灼，激光波长为46.9nm，激光被一超环面镜掠入射反射聚焦，超环面镜没有涂层；在基板同一位置进行单发及多发激光脉冲的辐照；步骤3)、经过步骤2)处理的基板的烧蚀区域形成致密的纳米颗粒。在单层石墨烯的辅助下，纳秒极紫外激光器与玻璃衬底基板的相互作用能够诱导纳米颗粒的自形成，纳米颗粒分布在由聚焦EUV激光能量分布控制的烧蚀区域。
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公开(公告)号：CN105676214B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201610104496.6
申请日：2016-02-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种连续太赫兹目标散射测量控制系统，属于太赫兹探测技术领域。为了解决现的测量系统在测量过程中需要手动不断地调整位移台来对信号进行采集，存在浪费时间、操作失误率较高的问题。所述控制系统包括位移台控制模块、采样控制模块和数据存储模块，位移台控制模块包括手动调节子模块和自动测量子模块；手动调节子模块，用于用户通过手动调节利用位移台来控制待测物和校准物的位置；自动测量子模块，用于输入自动测量时需要位移参数和开启自动测量；采样控制模块，用于采集待测物、校准物在太赫兹频段下照射的散射回波信号，以及用于设置采集参数。实现在研究太赫兹目标散射特性时分别准确测量校准物和不同角度的待测物的散射回波信号峰峰值。
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公开(公告)号：CN105867075B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201610444231.0
申请日：2016-06-20
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
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公开(公告)号：CN105895497A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201610378862.7
申请日：2016-05-31
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN105845320A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610388809.5
申请日：2016-06-02
申请人： 哈尔滨工业大学
CPC分类号： H01F19/08 , H01F27/24 , H01F27/306
摘要： 一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器，属于极紫外光刻光源技术领域。它现有的脉冲变压器因使用材质为晶态合金的磁芯，而导致的磁感应强度增量较低、有效磁导率较低或无法用于大功率场合的问题。该脉冲变压器的磁芯为两块尺寸相同的铁基非晶磁环，所述两块铁基非晶磁环同轴重叠且相互固定；铁基非晶磁环的外径为300毫米，内径为100毫米，厚度为28毫米；初级线圈的匝数为10，次级线圈的匝数为40；初级绕线的直径为17毫米，其外表面为聚四氟乙烯套管，内部为并绕的多根漆包线；次级绕线的直径为8毫米，其外表面为聚四氟乙烯薄膜，内部为并绕的多根漆包线。本发明适用于极紫外光源用的主脉冲电源的压缩回路。
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公开(公告)号：CN105676214A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201610104496.6
申请日：2016-02-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种连续太赫兹目标散射测量控制系统，属于太赫兹探测技术领域。为了解决现的测量系统在测量过程中需要手动不断地调整位移台来对信号进行采集，存在浪费时间、操作失误率较高的问题。所述控制系统包括位移台控制模块、采样控制模块和数据存储模块，位移台控制模块包括手动调节子模块和自动测量子模块；手动调节子模块，用于用户通过手动调节利用位移台来控制待测物和校准物的位置；自动测量子模块，用于输入自动测量时需要位移参数和开启自动测量；采样控制模块，用于采集待测物、校准物在太赫兹频段下照射的散射回波信号，以及用于设置采集参数。实现在研究太赫兹目标散射特性时分别准确测量校准物和不同角度的待测物的散射回波信号峰峰值。
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公开(公告)号：CN103560393B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201310585432.9
申请日：2013-11-19
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： H01S4/00
摘要： 毛细管放电软X射线激光中应用的可移动放电电极，涉及一种可移动放电电极。本发明是为了解决现有的改变增益介质的方法中，在不同增益介质长度的条件下得到的电流波形与主脉冲电流波形不一致的问题。本发明克服了现有技术中，采用改变毛细管的长度或改变电极长度的固有思路，而是通过在电极上设置一个带有弹性的钢丝，实现了电极在毛细管中任意位置能够固定的效果，进而达到改变增益介质的目的，由于电极固定在毛细管的任意位置时，等离子体柱的总长度为毛细管长度和电极长度之差，保证等离子体柱的总长度保持不变，进而取得了在不同增益介质长度的条件下，获得与主脉冲电流波形相同的脉冲电流波形的效果。本发明适用于毛细管放电实验当中。
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