RC-IGBT器件的背面加工方法
    32.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107799416A

    公开(公告)日:2018-03-13

    申请号:CN201711012160.8

    申请日:2017-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种RC-IGBT器件的背面加工方法,其包括如下步骤:步骤1、提供制备有正面元胞结构的RC-IGBT晶圆,并将RC-IGBT晶圆的背面减薄至所需的厚度;步骤2、对RC-IGBT晶圆背面进行P型杂质离子注入;步骤3、将注入基片键合在上述RC-IGBT晶圆的背面;步骤4、将N型杂质离子注入到RC-IGBT晶圆的背面;步骤5、将注入基片与RC-IGBT晶圆的背面分离,并激活RC-IGBT晶圆背面的P型杂质离子与N型杂质离子;步骤6、对上述RC-IGBT晶圆的背面金属化。本发明工艺步骤简单,能够省去RC-IGBT晶圆背面N型杂质图形化注入所需的光刻工序,有效缩短RC-IGBT晶圆的加工周期,降低加工成本,与现有工艺兼容,安全可靠。

    具有软关断特性的FS型IGBT器件

    公开(公告)号:CN107403834A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201710827889.4

    申请日:2017-09-14

    CPC classification number: H01L29/7395 H01L29/1095

    Abstract: 本发明涉及一种具有软关断特性的FS型IGBT器件,属于IGBT器件的技术领域。按照本发明提供的技术方案,所述具有软关断特性的FS型IGBT器件,包括第一导电类型衬底以及位于第一导电类型衬底背面的第一导电类型场截止层,在第一导电类型衬底的正面设置IGBT正面元胞;在第一导电类型场截止层上设置第二导电类型集电区;在第一导电类型衬底内设置用于在关断时能增加载流子数量的高电离率区域,高电离率区域的导电类型呈第一导电类型,所述高电离率区域位于第一导电类型衬底内的下部且高电离率区域靠近第二导电类型集电区。本发明结构紧凑,使得FS型IGBT器件具有软关断特性,在高压大功率工作时可有效降低EMI震荡,提高使用的稳定性以及可靠性。

    自提升式大吨位六分裂导线提线器

    公开(公告)号:CN103928862A

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201410083421.5

    申请日:2014-03-10

    Abstract: 本发明公开了一种自提升式大吨位六分裂导线提线器,它含有提线器本体,所述提线器本体上端间隔设置两个卡线槽,所述提线器本体的下端间隔设置两个短吊钩和两个长吊钩,所述提线器本体与下液压丝杠固定连接,所述下液压丝杠通过绝缘绳或绝缘棒与上液压丝杠连接。所述两个卡线槽、两个短吊钩和两个长吊钩沿所述提线器本体的中垂线均分对称设置,它们的卡线点在同一个圆周上。本发明独创的六分裂提线钩与大吨位液压紧线器一体化设计,缩短了带电作业过程中金属工器具短接空气间隙的距离,保证了带电作业安全距离。另外,等电位作业操作简单,节省时间,减少劳动强度,保证了人员和设备的安全。

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