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公开(公告)号：CN118039472A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202211358217.0
申请日：2022-11-01
申请人： 北京智慧能源研究院 , 国家电网有限公司 , 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院
IPC分类号： H01L21/308 , H01L29/06
摘要： 一种制备小角度SiC平缓台面的刻蚀方法及终端结构，包括：在SiC衬底表面依次沉积第一SiO2薄膜和第二SiO2薄膜；对所述第一SiO2薄膜和第二SiO2薄膜进行湿法侧向腐蚀，得到具有预设角度台面的第一SiO2薄膜和第二SiO2薄膜；基于所述第一SiO2薄膜和第二SiO2薄膜，对所述SiC衬底进行干法刻蚀，得到具有目标角度台面的SiC衬底；其中，所述第一SiO2薄膜的致密度大于所述第二SiO2薄膜的致密度；本发明通过将湿法腐蚀和干法刻蚀相结合能够有效实现二氧化硅台阶形貌转移，最终得到小角度、底部平缓、侧壁光滑的SiC台面，进而提高刻蚀小角度SiC平缓台面的制备效率。
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公开(公告)号：CN115763236A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211350789.4
申请日：2022-10-31
申请人： 北京智慧能源研究院 , 国家电网有限公司 , 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306 , H01L21/04 , H01L21/28 , H01L29/45 , H01L29/06 , B24B7/22 , B24B27/00
摘要： 本发明提供一种衬底减薄碳化硅芯片制备方法及碳化硅背面结构，包括：基于两种规格的磨轮对碳化硅晶圆背面进行打磨减薄处理后得到碳化硅减薄损伤层；对碳化硅减薄损伤层进行抛光处理；在抛光处理后的碳化硅晶圆背面采用激光退火制备欧姆接触层，并在所述欧姆接触层上沉积金属加厚层；对碳化硅晶圆正面进行机械划片，将所述碳化硅晶圆裂片分离成单个小芯片。本发明先通过两种规格的磨轮对碳化硅晶圆背面进行减薄处理，再对减薄得到的碳化硅减薄损伤层进行抛光处理，可有效降低晶圆翘曲释放应力，从而降低碎片率，为后续采用机械划片提供了可能，避免了使用激光划片存在工艺不稳定和芯片良率低的问题，进一步的提高了整个工艺的稳定性和芯片良率。
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公开(公告)号：CN113281683A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110511015.4
申请日：2021-05-11
申请人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 安徽省国盛量子科技有限公司 , 国家电网有限公司
摘要： 一种用于金刚石薄膜磁成像装置的微波天线及制作方法。本发明金刚石薄膜设置有一对正负电极；金刚石薄膜的背面固定设置有微波天线，微波天线为材质是铜或银的丝线，丝线的两端分别与正负电极连接；正负电极分别设置在金刚石薄膜的两端；2条以上的丝线平行设置，相邻2条丝线之间的距离相等；制作方法的步骤是，A、清洗金刚石薄膜表面，B、在金刚石薄膜的背面制备掩膜，C、在金刚石薄膜的正面镀增透膜。其有益效果是，结构设计合理，在金刚石薄膜背面制作平行排布的微波天线，高效利用磁成像装置的微波信号，均匀地调控NV色心的自旋态，实现磁场的精确测量，能够解决特殊环境下的磁场测量问题。
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公开(公告)号：CN113219387A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110591911.6
申请日：2021-05-28
申请人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 安徽省国盛量子科技有限公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号： G01R33/12
摘要： 一种固态量子自旋荧光成像系统。本发明的激光器发射激光经过一对共轭凸透镜形成平行的激光，通过声光调制器控制系统的激光，将产生的一级衍射光斑经光纤耦合器耦合进光纤中，再经过双色片作用于金刚石NV色心探头上；金刚石NV色心探头激发后产生的荧光经过双色片、滤波片之后被光电探测器收集；光电探测器输出信号作为锁相放大器的参考信号；计算机调控微波器产生微波并依次经过微波开关、微波放大器、微波环形器之后作用于金刚石NV色心探头；微波开关发出的信号作为锁相放大器的参考信号，锁相放大器的输出信号被计算机的数据采集卡收集。其有益效果是，实现光路系统的高灵敏度、高成像速度、高空间分辨率。
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公开(公告)号：CN113174582A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110437149.6
申请日：2021-04-22
申请人： 安徽新力电业科技咨询有限责任公司 , 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 安徽省国盛量子科技有限公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号： C23C16/27 , C23C16/511 , C23C16/02
摘要： 一种微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜方法。其步骤是：步骤A、研磨，使用金相砂纸研磨单硅基片表面并产生划痕；步骤B、清洗，将单硅基片置入丙酮溶液的烧杯中超声波清洗；步骤C、形核，将单硅基片置于微波等离子体化学气相沉积设备腔体中；步骤D、刻蚀，氢等离子体对晶核作刻蚀净化处理；步骤E、生长，通入CH₄气体使金刚石膜正常生长；步骤F、沉积，当步骤E金刚石膜生长50～70分钟时，用纯H等离子体作5～10分钟的沉积；循环步骤D、步骤E8次；步骤G、后处理，进行原位氧等离子后处理，获得金刚石膜。其有益效果是，最终沉积的金刚石膜的纯度以及取向度高，电阻率高的特点，可以达到光学应用的要求。
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公开(公告)号：CN113514785A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110434978.9
申请日：2021-04-22
申请人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 安徽省国盛量子科技有限公司 , 国家电网有限公司
IPC分类号： G01R33/02
摘要： 一种基于固态量子自旋的电磁场测量三维成像装置。本发明在三维成像装置的支撑机构的外侧设置有检测机构，被检测产品放置在支撑机构上端的支撑板上；检测机构包括安装有探测头的绝缘杆；三维成像装置还包括驱动检测机构水平移动的水平移动机构，驱动检测机构上下移动的垂直移动机构，驱动检测机构围绕支撑机构做360°移动的旋转移动机构，以及与检测机构连接的机架。其有益效果是，结构设计合理，采用NV色心量子传感器探测头，通过操控水平移动机构、垂直移动机构、旋转移动机构实现探测头对被检测设备进行360°的高精度扫描，实现无接触完成被检测产品的电场、磁场检测。
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公开(公告)号：CN113237859A
公开(公告)日：2021-08-10
申请号：CN202110511026.2
申请日：2021-05-11
申请人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 安徽省国盛量子科技有限公司 , 国家电网有限公司
发明人： 赵龙 , 赵博文 , 王鑫 , 仇茹嘉 , 杨海涛 , 谢佳 , 柯艳国 , 李伟 , 范明豪 , 高博 , 郑国强 , 汪玉 , 孙建 , 王丽君 , 陈凡 , 李圆智 , 陈嘉 , 罗大程
IPC分类号： G01N21/64
摘要： 一种金刚石薄膜荧光高效收集装置。本发明包括激光器、计算机，所述激光器发射绿色激光，绿色激光通过光纤耦合器耦合进光纤中，再经过双色片传输到光纤探头末端；光纤探头末端的底部固定设置有金刚石薄膜；微波天线均匀缠绕在光纤探头末端，微波器的微波信号通过微波天线作用于金刚石薄膜的NV色心上；金刚石薄膜的下方设置有磁铁，磁铁施加磁场于金刚石薄膜的NV色心。其有益效果是，金刚石作为主要的传感部件粘贴在光纤末端，利用电磁波在光纤中的全反射将激光限制在光纤中，从而将光纤传输衰减降低，以高效收集金刚石薄膜NV色心激发的红色荧光。
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公开(公告)号：CN112036481A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010892808.0
申请日：2020-08-31
申请人： 国家电网有限公司 , 国网安徽省电力有限公司 , 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院
发明人： 张淑娟 , 王鑫 , 汪玉 , 赵龙 , 胡世骏 , 郑高峰 , 秦丹丹 , 刘丽 , 李龙跃 , 高博 , 郑国强 , 李金中 , 王潇 , 孙伟 , 李博 , 卞真旭 , 金雨楠 , 钱光超 , 仇茹嘉 , 史伟豪
摘要： 本发明提供了一种提升融合效果的反向验证方法，涉及电网融合的技术领域，以解决实体融合的质量不高的问题。该方法包括对配网网架拓扑关系的构建，将多个系统实体的数据进行融合；对融合的结果进行基于层次化推理的反向验证；得到验证结果。本发明提供的提升融合效果的反向验证，使得在电网中实体的融合可以更加准确，反馈融合的效果，在工作人员进行实体融合是参照反馈的结果，调整融合方法，使得融合的结果更加准确。
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公开(公告)号：CN112036178A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010864615.4
申请日：2020-08-25
申请人： 国家电网有限公司 , 国网安徽省电力有限公司 , 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院
发明人： 王鑫 , 张淑娟 , 汪玉 , 赵龙 , 胡世骏 , 秦丹丹 , 郑高峰 , 刘丽 , 李龙跃 , 高博 , 徐斌 , 袁方 , 李金中 , 王潇 , 孙伟 , 李博 , 卞真旭 , 金雨楠 , 钱光超 , 仇茹嘉
IPC分类号： G06F40/289 , G06F40/30 , G06F16/33
摘要： 本发明为一种配网实体相关的语义搜索方法，其特征在于包括：对配网实体中的文本进行基于词频统计的分词方法进行分词，得到词库；对配网实体中的文本进行模型分词，得到词库；合并基于词频的词库和基于模型的词库；对词库中分词错误的专有名词进行标注；用标注的词语对配网实体中的文本进行大量的训练，得到词库；合并上述的三个词库，是基于Jieba分词包；所述Jieba分词包可以添加自己标注的专业词语；对词库进行大量的训练之前先将换行符、句号、逗号等分隔符将全文分成短句；基于词频统计分词是统计任意两个字同时出现的频率。
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公开(公告)号：CN111915451A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010776139.0
申请日：2020-08-05
申请人： 国网安徽省电力有限公司电力科学研究院 , 合肥工业大学 , 国网安徽省电力有限公司 , 国家电网有限公司
摘要： 本发明提供一种台区日功率曲线计算方法，该台区日功率曲线计算方法包括：获取台区所有用户的用电参数，生成用电参数矩阵；对所述用电参数矩阵进行分类处理，获得预设分类数目的用户群；求解出每类用户群的日负荷标准曲线；利用用户的日电量和所述用户相应的日负荷标准曲线，获得所述用户的日功率曲线。本发明的台区日功率曲线计算方法，通过计算出台区中各用户的日功率曲线，以便用于观察分析用户用电是否存在异常，并且还可以用来高精度还原该台区中各时刻点潮流分布以及潮流变化，便于对台区中设备的检修。
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