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公开(公告)号：CN218666407U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202223224608.1
申请日：2022-12-02
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种用于同一气源供应多个反应室的进气系统，包括反应气源、隔离气源、掺杂气源和反应室，各个气源的主路上设置控制整体开关的气源总阀，各个气源的支路上分别设置关断阀和质量流量计，通过关断阀调节相应支路的开闭，质量流量计调节各支路的流量，进而实现调节不同气源支路的开闭并设定流量使气体按一定比例混合，满足多种不同工艺需求下晶片的生长。此外，各气源的支路末端采用独立连接反应室或者混合后连接反应室的形式，可以适用于进气方式分别为反应气源单独控制通入进气室和反应气源于管路内预先混和再进入进气室的两种反应室。
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公开(公告)号：CN218666403U
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202223233515.5
申请日：2022-12-05
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型提供一种适用于立式成膜设备的发热装置，涉及半导体晶片制备技术领域，包括发热体、石墨电极和电连接件，发热体设置于反应室内的分隔套筒外侧的环形发热室内，在分隔套筒内形成气体流道，环形发热室与分隔套筒同轴嵌套设置，石墨电极的一端和发热体连接，另一端可拆卸设置于电极座上，电连接件的一端通向电源，另一端可拆卸设置于电极座上，电连接件包括多段子电连接件，各子电连接件均呈直杆或直棒形，各子电连接件均由金属材料制成，多段子电连接件依次可拆卸连接。本实用新型提供的方案采用多段式结构，清理反应室内部时仅需拆装前段部分电极，从而避免拆卸后段电极与外部电缆，提高成膜设备整体的稳定性。
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公开(公告)号：CN218646062U
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202222842015.5
申请日：2022-10-27
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： F27D9/00
摘要： 本实用新型公开一种快速冷却烧结炉，涉及烧结炉技术领域，包括炉体和冷却系统；炉体包括筒体、隔热筒和密封箱，隔热筒设置于筒体内，密封箱设置于隔热筒内；冷却系统包括热交换器，热交换器的进气口和出气口分别通过管路与密封箱内部连通。本实用新型中的快速冷却烧结炉，包括两路冷却系统，一路为炉体内部的冷却系统，另一路为外置冷却系统，使密封箱内独立产生较强的气体对流，经热交换器冷却后的气流通过连接管进入密封箱内，冷气流分层到每层料板上，与料板与产品表面接触，使料板与产品温度下降，再流入出气连接口，进入热交换器中进行热交换，使热气流冷却后再进入密封箱内，往复循环，使密封箱内的温度快速冷却下来。
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公开(公告)号：CN218059294U
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202220998199.1
申请日：2022-04-24
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种立式晶体生长炉下炉盖锁紧机构，涉及锁紧机构技术领域，包括设置于框架上的锁紧组件和驱动系统，所述锁紧组件包括联动块、安装座、连杆座和驱动结构；所述安装座用于与所述框架或炉体相连接，所述驱动结构设置于所述安装座一端，所述连杆座设置于所述安装座另一端，所述联动块与所述连杆座活动连接，所述驱动结构与所述联动块传动连接，所述驱动系统与所述驱动结构动力连接。1.通过简单的机构实现了下炉盖的自动锁紧，避免了人工操作的繁琐费时及可能造成的风险。2.通过在驱动系统中设计增加冗余保护系统，实现了在驱动力缺失、断电、管路破损、驱动换向阀损坏的情况下对炉盖的自锁功能。
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公开(公告)号：CN217423982U
公开(公告)日：2022-09-13
申请号：CN202221061838.8
申请日：2022-05-06
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种集成测温视窗及红外测温支架的炉盖，涉及碳化硅晶体生长炉炉盖技术领域，包括：炉盖主体，炉盖主体上设有炉盖水道和回水口，回水口与炉盖水道相连通；测温视窗，测温视窗包括视窗内管、视窗外管、石英玻璃片和视窗锁紧法兰，视窗内管和视窗外管均固定于炉盖主体上，测温外管侧壁上设有进水口，视窗内管与视窗外管之间形成视窗水道，视窗内管的侧壁上设有进气口，石英玻璃片下端设置于视窗内管上端，视窗锁紧法兰固定于石英玻璃片上端；红外测温仪，红外测温仪位于测温视窗上方，红外测温支架，红外测温仪固定于红外测温支架上，红外测温支架可用来调节红外测温点。本实用新型能有效提高红外测温仪测温的准确性和稳定性。
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公开(公告)号：CN217153145U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202220719000.7
申请日：2022-03-30
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种进出气装置，涉及烧结炉相关领域，包括设置于烧结炉上的出气装置和进气装置；出气装置包括与烧结炉的腔内连通的出气通道，出气通道远离烧结炉的一端设置有第一限位装置，第一限位装置与出气通道之间设置有与出气通道密封接触连接的第一封堵装置；在烧结炉腔内的气压下，第一封堵装置与出气通道之间形成供气体流通的开口；进气装置包括与密封箱内部连通的进气通道，进气通道一端固定设置有第二限位装置，第二限位装置与进气通道之间设置有与进气通道密封接触连接的第二封堵装置；在烧结炉腔内的密封箱的内外压差下，第二封堵装置与进气通道之间能够形成供气体流通的开口。本实用新型能够在工艺处理过程中使进出气压力控制恒定。
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公开(公告)号：CN217149399U
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202220701779.X
申请日：2022-03-29
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种半导体设备密封锁紧机构，涉及半导体设备技术领域；包括炉膛、炉盖、驱动机构和锁紧机构，所述炉膛内设有反应腔室，所述炉膛内的反应腔室内用于放置半导体原料，所述锁紧机构设置于所述炉膛底部，所述驱动机构能够控制所述锁紧机构将所述炉盖与所述炉膛密封连接。本实用新型提供的半导体设备密封锁紧机构，使炉盖和炉膛安装及拆卸操作简单，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN217081403U
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202220905671.2
申请日：2022-04-19
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种感应加热炉的可调密封压缩量结构，包括石英管、金属炉膛、密封组件和调节螺栓，石英管的两端分别套设于一金属炉膛内，密封组件设置于石英管和金属炉膛之间，使石英管和金属炉膛之间密封，调节螺栓贯穿金属炉膛的端面与密封组件相抵触，密封组件在石英管的轴线方向上能够发生形变。本实用新型能通过调节螺栓对密封组件施加压力，改变其变形量，进而提升其对石英管腔体的密封性能；可在极限真空度不佳的情况下，通过增加调节螺栓对密封组件的压力，实现极限真空度的提高，通过调节螺栓减少密封组件对石英管的压力，使得石英管更容易装入金属炉膛。
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公开(公告)号：CN217077865U
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202220859316.6
申请日：2022-04-14
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
摘要： 本实用新型公开一种高频双线圈感应加热的碳化硅单晶生长装置，涉及碳化硅单晶的制备及晶体生长技术领域。本实用新型提供的碳化硅单晶生长装置，采用上下两组感应线圈分别对坩埚下部(原料处)和上部(籽晶处)进行感应加热，并且两组感应线圈可分别上下移动，本生长装置还采用籽晶轴旋转升降机构，可以在单晶生长过程中旋转籽晶或者改变籽晶的位置，可抵消利用改变感应线圈上下位置的方法来改变轴向温度梯度时引起的径向温度梯度耦合的影响，以此获得可控的轴向温度梯度和径向温度梯度，解决了传统线圈感应加热无法同时独立控制坩埚下部(原料处)和上部(籽晶处)的温度以及无法独立控制轴向温度梯度和径向温度梯度的问题。
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公开(公告)号：CN216923211U
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202220458262.2
申请日：2022-03-04
申请人： 宁波恒普真空科技股份有限公司
IPC分类号： F16K1/00 , F16K1/32 , F16K31/122
摘要： 本实用新型公开一种加压挡板阀，包括阀体、挡板和气缸，挡板设置在阀体的一侧或者阀体内部，当挡板设置在阀体一侧时，挡板位于压力容器的出风口处，气缸设置在阀体的一端，与气缸的伸缩端相连的连接轴的另一端贯穿阀体后与挡板相连；阀体的顶部或底部开设卸压口；当挡板设置在阀体内部时，阀体的一侧位于压力容器的出风口处，气缸设置在阀体的顶端，与气缸的伸缩端相连的连接轴的另一端与挡板相连，阀体的底部与挡板对应的位置开设卸压口；连接轴与阀体之间设置有密封组件，密封组件用于保证阀体腔室的密封。该加压挡板阀，阀门可以在压力容器上使用；进气端压力上升，阀门依然可以正常关闭；减少了阀门的动作压差与气缸尺寸的限制。
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