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公开(公告)号：CN113009181A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202011497781.1
申请日：2020-12-17
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/08
摘要： 本公开的各实施例涉及具有可变弹性常数的弹性组件的微机械设备。一种微机械设备，包括：半导体本体；第一移动结构；弹性组件，被耦合到第一移动结构和半导体本体，并且适于经历一个方向上的形变；以及至少一个抵接元件。弹性组件被配置为根据施加到弹性组件上的力使能第一移动结构的振荡。第一移动结构、抵接元件和弹性组件以如下方式相对于彼此被布置：当力小于力阈值时，弹性组件以第一弹性常数操作；并且当力大于阈值力时，第一移动结构与抵接元件接触，并且生成弹性组件的形变，该弹性组件以与第一弹性常数不同的第二弹性常数操作。
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公开(公告)号：CN111224636A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201911165075.4
申请日：2019-11-25
申请人： 意法半导体股份有限公司
摘要： 本公开涉及超低功率、实时时钟发生器和抖动补偿方法。在一个实施例中，时钟发生器具有可变模量分频器，该可变模量分频器接收高频时钟信号，并且输出分频时钟信号，该分频时钟信号具有由温度补偿电路所生成的模量控制信号控制的频率。抖动滤波器耦合到可变模量分频器的输出并且耦合到温度补偿电路，并且生成补偿时钟信号，该补偿时钟信号具有相对于分频时钟信号被延迟与量化误差信号相关的时间的切换沿。
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公开(公告)号：CN111212370A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN201911143036.4
申请日：2019-11-20
申请人： 意法半导体股份有限公司
摘要： 本公开涉及具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺。一种超声MEMS声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有彼此相对的第一表面和第二表面。第一腔在本体中延伸，并在底部界定敏感部分，该敏感部分在第一腔与本体的第一表面之间延伸。敏感部分容纳第二腔并形成膜，该膜在第二腔和本体的第一表面之间延伸。弹性支撑结构在敏感部分和本体之间延伸，并悬置在第一腔上方。
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公开(公告)号：CN106066175B
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201510860425.4
申请日：2015-11-30
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01C19/5684
摘要： 一种微机电陀螺仪包括：衬底；固定到衬底的定子感测结构；第一质量块，其被弹性地耦合到衬底并可以相对于衬底在第一方向上移动；第二质量块，其被弹性地耦合到第一质量块并且可以相对于第一质量块在第二方向上移动；以及弹性约束到第二质量块和衬底并被电容耦合到定子感测结构的第三质量块，第三质量块可以相对于衬底在第二方向上以及相对于第二质量块在第一方向上移动。
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公开(公告)号：CN105222766B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201510372392.9
申请日：2015-06-30
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01C19/5776 , B81B7/02
摘要： MEMS设备具有通过第一弹性元件弹性地承载悬挂质量块的支撑区域。调谐动态吸收器弹性耦合到悬挂质量块，并且被配置为使以动态吸收器的自然振荡频率作用于悬挂质量块上的正交力减幅。调谐动态吸收器由通过第二弹性元件耦合到悬挂质量块的阻尼质量块形成。在实施例中，悬挂质量块和阻尼质量块形成在例如半导体材料的同一结构层中，并且阻尼质量块被悬挂质量块围绕。
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公开(公告)号：CN109444466A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201810996348.9
申请日：2018-08-29
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 本申请涉及FM惯性传感器和用于操作FM惯性传感器的方法。传感器包括：第一和第二检验质量块；第一和第二电容器，被形成在第一和第二固定电极与第一检验质量块之间；第三和第四电容器，被形成在第三和第四固定电极与第二检验质量块之间；驱动组件，被配置为引起第一和第二检验质量块的反相振荡；偏置电路，被配置为偏置第一和第三电容器以在第一时间间隔中生成振荡频率的第一变化，以及偏置第二和第四电容器以在第二时间间隔中生成振荡频率的第二变化；感测组件，被配置为生成差分输出信号，该差分输出信号是在第一时间间隔期间的振荡频率的值与在第二时间间隔期间的振荡频率的值之间的差的函数。这种差分输出信号可与外部加速度的值和方向相关。
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公开(公告)号：CN108663037A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201710198481.5
申请日：2017-03-29
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/574 , G01C19/5776
摘要： 本公开涉及具有频率调节和对正交误差的静电消除的MEMS陀螺仪。具体为一种MEMS陀螺仪(60，100)，其中，悬挂质量块(111-114)相对于支撑结构(125，127)可移动。该可移动质量块受正交力矩引起的正交误差的影响；驱动结构(77)耦合至该悬挂质量块以便以驱动频率控制该可移动质量块在驱动方向上的移动。耦合至该可移动质量块的运动感测电极(130)检测该可移动质量块在感测方向上的移动，并且正交补偿电极(121-124)耦合至该可移动质量块以便生成与该正交力矩相反的补偿力矩。该陀螺仪被配置成用于使用补偿电压来对这些正交补偿电极进行偏置，从而使得该可移动质量块的谐振频率与该驱动频率之差具有预设频率失配值。
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公开(公告)号：CN106931957A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201610509398.0
申请日：2016-06-30
申请人： 意法半导体股份有限公司 , 意法半导体公司 , 意法半导体国际有限公司
IPC分类号： G01C19/5656 , G01C19/5649
摘要： 本公开涉及抑制干扰的微机电陀螺仪以及感测角速率的方法。其中，一种陀螺仪，包括：衬底(2)；第一结构(11)、第二结构(12)和第三结构(10)，弹性地耦合至衬底(2)并且可沿着第一轴(X)移动，第一和第二结构(11；12)相对于第一轴(X)布置在第三结构(10)的相对侧；驱动系统(4、16a、16b、20a、20b)，被配置为彼此同相地以及与第三结构(10)反相地沿着第一轴(X)振荡第一和第二结构(11、12)；第一、第二和第三结构(11、12、10)设置有感测电极(17a、21a)的相应集合，被配置为响应于衬底(2)关于垂直于第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转沿着垂直于第一轴(X)的第二轴(Y)偏移。
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公开(公告)号：CN211063784U
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：CN201922012732.3
申请日：2019-11-20
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： H04R19/04
摘要： 本公开涉及超声类型的MEMS声换能器和MEMS声换能器。一种超声MEMS声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有彼此相对的第一表面和第二表面。第一腔在本体中延伸，并在底部界定敏感部分，该敏感部分在第一腔与本体的第一表面之间延伸。敏感部分容纳第二腔并形成膜，该膜在第二腔和本体的第一表面之间延伸。弹性支撑结构在敏感部分和本体之间延伸，并悬置在第一腔上方。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN218956620U
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202221901673.0
申请日：2022-07-21
申请人： 意法半导体股份有限公司
IPC分类号： G01P15/14
摘要： 本公开的各实施例涉及闭环微电子机械加速度计和电子系统。闭环微电子机械加速度计包括：半导体衬底；半导体面外感测块，面外感测块具有面向支撑体的第一侧和与第一侧相对的第二侧，其中面外感测块被连接到支撑体以围绕非重心的支点轴线振荡，非重心的支点轴线平行于第一侧和第二侧并且垂直于面外感测轴线；以及反馈电极，反馈电极电容性地耦合到感测块并且被配置为将相反的静电力和围绕支点轴线的扭矩施加于感测块，其中反馈电极包括面向面外感测块的第一侧的第一组反馈电极和面向面外感测块的第二侧的第二组反馈电极。由此，提供了改进的闭环微电子机械加速度计。
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