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    包括被引导质量系统的微机械陀螺仪
    1.
    发明授权
    包括被引导质量系统的微机械陀螺仪 有权

    公开(公告)号：CN104515517B

    公开(公告)日：2018-07-20

    申请号：CN201410505767.X

    申请日：2014-09-28

    申请人： 应美盛公司

    发明人： 奥赞·阿纳奇 ,  约瑟夫·西格

    IPC分类号： G01C19/5712

    CPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5733 ,  G01C19/574

    摘要： 一种陀螺仪包括一个基底和一个被引导质量系统。该被引导质量系统包括被布置在平行于该基底的一个平面内的多个检测质量和多个引导臂。这些检测质量由多个弹簧联接到该引导臂。该引导臂由多个弹簧联接到该基底。这些检测质量中的至少一者由至少一个锚固件经由一个弹簧系统被直接联接到该基底。该陀螺仪还包括用于使这些检测质量之一在第一方向上振动的一个致动器，这致使另一个检测质量在该平面内旋转。最后，该陀螺仪还包括用于感测该被引导质量系统响应于围绕单条轴线或多条输入轴线的角速度而进行的运动的多个传感器。

    用于微机电系统(MEMS)装置的弯曲联接器
    2.
    发明公开
    用于微机电系统(MEMS)装置的弯曲联接器 有权

    公开(公告)号：CN108204807A

    公开(公告)日：2018-06-26

    申请号：CN201711370871.2

    申请日：2017-12-19

    申请人： 美国亚德诺半导体公司

    发明人： I·P·普里霍德科 ,  J·A·格雷戈里

    IPC分类号： G01C19/34

    CPC分类号： G01C19/567 ,  G01C19/5712

    摘要： 本公开涉及用于微机电系统(MEMS)装置的弯曲联接器。微机械惯性装置呈现为具有通过联接器耦合在一起的多个线性移动质量块，当耦合的质量块呈现线性反相运动时，联接器以线性方式移动。一些所述的联接器是弯曲的，并提供了耦合的质量块的两个运动自由度。一些这样的联接器位于耦合的质量块之间。在耦合的质量块的线性反相运动期间，使用布置成在线性相反方向上移动的多个联接器提供动量平衡操作。

    对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器
    4.
    发明授权
    对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器 有权

    公开(公告)号：CN104880181B

    公开(公告)日：2017-08-25

    申请号：CN201510271924.X

    申请日：2010-07-27

    申请人： 美国亚德诺半导体公司

    发明人： 邝锦波 ,  约翰·A·吉恩

    IPC分类号： G01C19/5712

    CPC分类号： G01C19/5712

    摘要： 本发明涉及对于正交误差和微机械加工不准确性具有降低的敏感性的惯性传感器。对于正交误差和微机械加工不准确性的敏感性降低的惯性传感器包括结合用于感测围绕器件平面中的两条正交轴线，即敏感性轴线的旋转的、两个被专门地配置的单一轴线陀螺仪的陀螺仪，其中每一个单一轴线陀螺仪均包括具有被叉子相互连接的两个被以旋转方式颤动的梭子的共振器并且每一个梭子均被配置为沿着垂直于敏感性轴线的倾斜轴线向面外倾斜，并且包括沿着垂直于倾斜轴线，即平行于敏感性轴线的轴线定位的相应的科里奥利感测电极。该两个单一轴线陀螺仪可以被例如将叉子和/或梭子相互连接的一个或者多个同相或者反相耦合件相互连接。

    一种探头、示波器、运动识别系统及方法
    5.
    发明公开
    一种探头、示波器、运动识别系统及方法 有权

    公开(公告)号：CN106908642A

    公开(公告)日：2017-06-30

    申请号：CN201510976565.8

    申请日：2015-12-23

    申请人： 苏州普源精电科技有限公司

    发明人： 史慧 ,  王悦 ,  王铁军 ,  李维森

    IPC分类号： G01R13/02 ,  G01C19/5712

    CPC分类号： G01R13/0209 ,  G01C19/5712

    摘要： 本发明提供了一种探头、示波器、运动识别系统及方法，所述探头包括：探头尖、信号处理单元、同轴信号线及BNC接头，所述探头尖采集的被测信号通过所述信号处理单元缓冲处理后，经由所述同轴信号线及BNC接头后传输给示波器；其特征在于，所述探头还包括：一陀螺仪传感器，用于感应所述探头的运动，并基于所述探头的运动产生所述探头的运动数据；一接口板，连接所述陀螺仪传感器；一有源探头接口，连接所述接口板，用于将所述运动数据发送给所述示波器的传感器接口。本发明可以使用用户在测试距离示波器较远的被测信号时，可以轻松的控制示波器，使信号完整显示，而不需要回到示波器处进行操作。

    冲击稳健的集成多轴线MEMS陀螺仪
    7.
    发明公开
    冲击稳健的集成多轴线MEMS陀螺仪 有权 转让

    公开(公告)号：CN105387853A

    公开(公告)日：2016-03-09

    申请号：CN201510250016.2

    申请日：2015-05-15

    申请人： 马克西姆综合产品公司

    发明人： L·贝尔蒂尼 ,  A·罗基

    IPC分类号： G01C19/5783

    CPC分类号： G01C19/574 ,  G01C19/5712 ,  G01C19/5783

    摘要： 本发明的不同实施例将多个冲击稳健的单轴线MEMS陀螺仪集成到单个硅基板内，同时避免了典型地与设计防冲击陀螺仪的多驱动控制系统相关联的复杂性。在本发明的一些实施例中，防冲击三轴陀螺仪基于这样的驱动方案，该驱动方案使用旋转接合部将由两组驱动质量产生的驱动力分配至单独的传感器，由此简化了陀螺仪的控制。

    转速传感器
    8.
    发明公开
    转速传感器 有权

    公开(公告)号：CN105122002A

    公开(公告)日：2015-12-02

    申请号：CN201480020356.X

    申请日：2014-04-07

    申请人： 罗伯特·博世有限公司

    发明人： J·赖因穆特

    IPC分类号： G01C19/5712

    CPC分类号： G01C19/5712 ,  G01C19/5719 ,  G01C19/574

    摘要： 一种微机械结构、尤其转速传感器，其具有衬底，所述衬底具有主延伸面，具有第一克里奥利元件、第二克里奥利元件、至少一个用于使所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件从静止位置偏转的驱动装置和至少一个探测装置，其特征在于，所述第一克里奥利元件相对于平行于所述主延伸面延伸的第一轴线相对于所述第二克里奥利元件质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件具有一个共同的主延伸面，其中，所述共同的主延伸面在静止位置中与所述衬底的主延伸面平行地延伸，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件相对于垂直于所述第一轴线延伸的第二轴线分别质量对称地构造，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件能够通过所述驱动装置驱动成围绕所述第一轴线的旋转振动，其中，所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件在平行于所述第二轴线在所述主延伸面上的投影作用的转速的情形中为了克里奥利力的力作用能够在围绕垂直于所述主延伸面延伸的并且经过所述第一轴线和所述第二轴线的交点延伸的第三轴线的旋转振动的意义上偏转，其中，所述微机械结构具有至少一个第一偏转元件和至少一个第二偏转元件，其中，所述第一偏转元件和所述第二偏转元件相对于所述第一轴线并且相对于所述第二轴线质量对称地构造，其中，所述第一偏转元件至少与所述第一克里奥利元件而所述第二偏转元件至少与所述第二克里奥利元件如此耦合，使得所述克里奥利力在所述第一克里奥利元件和所述第二克里奥利元件上的力作用能够在所述第一偏转元件和所述第二偏转元件围绕所述第三轴线的旋转振动的意义上通过所述探测装置探测。