粘合带
    31.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103965797A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201410042416.X

    申请日:2014-01-28

    Abstract: 本发明提供一种粘合带,其为可用作切割带的粘合带,该粘合带的厚度不均匀的标准偏差σ小,对抗扩展、销顶起的应力在该带面内是均匀的。本发明的粘合带在基材的至少一个面上具备粘合剂层,该粘合带的厚度不均匀的标准偏差σ为2.0μm以下。

    保护带粘贴方法和保护带粘贴装置

    公开(公告)号:CN101911280B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200980101473.8

    申请日:2009-10-09

    CPC classification number: H01L21/67132

    Abstract: 本发明提供一种保护带粘贴方法和保护带粘贴装置。该保护带粘贴装置的设置状态为,在用于从背面吸附保持半导体晶圆的吸盘台上,从背面侧层叠上内置有蜿蜒状冷却管的冷却板。通过使制冷剂在该冷却管中循环来冷却吸盘台。在将该吸盘台冷却了的状态下吸附保持半导体晶圆。并且,在将吸盘台冷却了的状态下,在半导体晶圆上粘贴保护带。即,在该保护带粘贴过程中,一边借助与吸盘台直接接触而被冷却的半导体晶圆间接地冷却保护带,一边将保护带粘贴在半导体晶圆的表面上。

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