公开(公告)号：CN105957827A

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201610282679.7

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  滨田智秀 ,  白数广 ,  户口学

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/683 ,  B65G49/06 ,  G03F7/20

Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。

公开(公告)号：CN103119706B

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201180016854.3

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: H01L21/677 ,  G03F7/20 ,  B65G49/06

CPC classification number: G03F7/7075 ,  B65G49/064 ,  G03F7/70791 ,  H01L21/67748

Abstract: 第1搬送单元(50a)，是藉由使从下方支承基板(Pa)的基板匣(90a)滑动于与基板表面平行的一轴方向(Y轴方向)而从基板保持具(22)上搬出。另一方面，第2搬送单元(50b)是与基板(Pa)的搬出动作并行地(在支承基板(Pa)的基板匣(90a)的一部分位于基板保持具(22)上的状态下)，藉由使从下方支承基板(Pb)的基板匣(90b)滑动于Y轴方向而搬入基板保持具(22)上。因此，能迅速地进行基板保持具上的基板的更换。

公开(公告)号：CN102483578B

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201080036901.6

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  滨田智秀 ,  白数广 ,  户口学

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70716 ,  B65G49/065 ,  B65G2249/04 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70816 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838 ,  Y10T29/49998

Abstract: 于基板(P)下方配置有对基板(P)下面喷出空气的多个空气悬浮单元(50)，并且基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。进一步地，基板(P)被定点载台(40)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光，且能使基板载台装置(PST)的构成简单化。

公开(公告)号：CN103119518B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201180042791.9

申请日：2011-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  F16C29/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: G03F7/709 ,  F16C29/008 ,  F16C29/025 ,  G03F7/70716

Abstract: 于基板载台装置(PST)中，搭载于Y步进定盘(50)上的基板支承构件(60)保持基板(P)。基板支承构件(60)于Y步进定盘(50)上以长行程移动于扫描方向。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位被定点载台(80)从下方以非接触方式吸附保持，其他部位被配置于Y步进定盘(50)上的多台空气悬浮装置(70)悬浮支承。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位，通过定点载台(80)被控制成基板(P)的面位置位于投影光学系统的焦深内。

公开(公告)号：CN102483579B

公开(公告)日：2015-10-14

申请号：CN201080036924.7

申请日：2010-08-17

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫 ,  滨田智秀 ,  白数广 ,  户口学

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/707 ,  B65G49/065 ,  G03F1/82 ,  G03F7/70791 ,  G03F7/70816 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/68 ,  H01L21/6838

Abstract: 基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。

公开(公告)号：CN102483580B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201080036925.1

申请日：2010-08-19

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70716 ,  B65G49/065 ,  G03F7/70791 ,  H01L21/67784 ,  H01L21/6838

Abstract: 于基板(P)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气的复数个空气悬浮单元(50)，基板(P)被以非接触方式支承成大致水平。又，基板(P)被定点载台(40)所具有的夹具本体(81)从下方以非接触方式保持被曝光部位，该被曝光部位的面位置被精确调整。是以，能以高精度对基板(P)进行曝光。由于夹具本体(81)根据基板的位置移动于扫描方向，因此即使在基板进入曝光区域(IA)时亦能确实地保持基板。

公开(公告)号：CN104204955A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380018931.8

申请日：2013-04-03

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G02F1/1333

Abstract: 本发明的基板载台装置(PST)，于重量抵消装置(50)所具有的臂部(54)前端固定有与X梁(25)所具有的X固定子(82)对向、对重量抵消装置(50)产生磁吸力的X可动子(56)。重量抵消装置(50)，通过该磁吸力将本身重量及重量抵消装置(50)所支承的微动载台(30)等重量的一部分通过基架(14)传至地面(11)上。从而减轻加于防振装置(34)的偏载重。

公开(公告)号：CN103782239A

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN201280042608.X

申请日：2012-08-30

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F7/70758 ,  G03F7/70716

Abstract: 本发明的对基板(P)进行曝光处理的曝光装置，具备：具有将基板(P)的一部分在确保平坦度的状态下保持的基板保持具(PH)、相对曝光位置(曝光区域(IA))于X轴方向移动的微动载台与将基板(P)驱动于XY平面内的Y轴方向的基板Y步进运送装置(88)。此场合，以基板保持具(PH)在确保平坦度的状态下保持基板(P)的一部分的微动载台相对曝光区域(IA)的X轴方向移动，在使用基板Y步进运送装置(88)的基板(P)于Y轴方向移动的前后进行，据以进行对基板(P)上的多个区域的曝光处理。

公开(公告)号：CN103119518A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201180042791.9

申请日：2011-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  F16C29/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

CPC classification number: G03F7/709 ,  F16C29/008 ,  F16C29/025 ,  G03F7/70716

Abstract: 于基板载台装置(PST)中，搭载于Y步进定盘(50)上的基板支承构件(60)保持基板(P)。基板支承构件(60)于Y步进定盘(50)上以长行程移动于扫描方向。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位被定点载台(80)从下方以非接触方式吸附保持，其他部位被配置于Y步进定盘(50)上的多台空气悬浮装置(70)悬浮支承。基板(P)与曝光区域(IA)对应的部位，通过定点载台(80)被控制成基板(P)的面位置位于投影光学系统的焦深内。

公开(公告)号：CN103097959A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201180044021.8

申请日：2011-09-12

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 青木保夫

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/677

CPC classification number: G03F7/7075 ,  G03F7/70791

Abstract: 于支承搬出对象的基板(Pa)的第1空气悬浮单元(69)的+X侧配置支承搬入对象的基板(Pb)的第2空气悬浮单元(70)，于第2空气悬浮单元(70)下方将第3空气悬浮单元(75)于θy方向倾斜配置。第1空气悬浮单元(69)配合第3空气悬浮单元(75)而于θy方向倾斜，在基板(Pa)从第1空气悬浮单元(69)上搬送至第3空气悬浮单元(75)上后，第1空气悬浮单元(69)成为水平，基板(Pb)从第2空气悬浮单元(70)上搬送至第1空气悬浮单元(69)上。亦即，对第1空气悬浮单元(69)的基板搬入路径与搬出路径相异。