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公开(公告)号:CN107078026A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201580059699.1
申请日:2015-09-30
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: H01L21/027 , C08F299/00 , C08F297/00 , C08F212/14 , C08F212/08 , C08F216/12
摘要: 本申请提供了制造图案化基底的方法。该方法可以应用于制造装置如电子器件或集成电路的过程,或者应用于其他用途例如制造集成光学系统、磁畴存储器的引导和检测图案、平板显示器、LCD、薄膜磁头或有机发光二极管;并且该方法可用于在用来制造离散磁道介质如集成电路、位元图案化介质和/或磁存储装置如硬盘驱动器的表面上构造图案。
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公开(公告)号:CN107075051A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201580059573.4
申请日:2015-09-30
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F293/00 , C08F299/00 , C08F297/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , G03F7/00 , C08J5/18 , C08L53/00
摘要: 本申请提供了嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物表现出优异的自组装特性或相分离特性,可以没有限制地提供多种所需功能,并且特别是可以确保蚀刻选择性,使得所述嵌段共聚物可有效地用于诸如图案形成的用途。
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公开(公告)号:CN105934455A
公开(公告)日:2016-09-07
申请号:CN201480074045.1
申请日:2014-12-08
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F216/12 , C08L55/00 , C08J5/00 , C08J7/04
CPC分类号: C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1804 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162
摘要: 本发明可提供嵌段共聚物及其用途。本发明的嵌段共聚物具有优异的自组装特性和相分离特性,并且可具有必要时向其提供的多种所需功能。
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公开(公告)号:CN105899556A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201480072759.9
申请日:2014-12-08
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/14 , C08F212/12 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F216/12 , C08L55/00 , C08J5/00 , C08J7/04
CPC分类号: C08F293/005 , B81C1/00428 , B81C1/00531 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C07C35/48 , C07C43/215 , C07C43/225 , C07C217/84 , C07C2601/16 , C07D209/48 , C07F7/1804 , C08F12/20 , C08F12/22 , C08F12/26 , C08F12/32 , C08F212/14 , C08F220/10 , C08F220/30 , C08F2438/03 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J7/14 , C08J2353/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/162
摘要: 本发明涉及单体、用于制备嵌段共聚物的方法、嵌段共聚物及其用途。本发明的单体可形成嵌段共聚物,所述嵌段共聚物具有优异的自组装特性并且必要时任选地向其提供多种所需的功能。
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公开(公告)号:CN109996840B
公开(公告)日:2022-03-29
申请号:CN201780071946.9
申请日:2017-11-29
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C09D153/00 , C08F293/00 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
摘要: 本申请涉及聚合物组合物及其用途。本申请可以提供具有优异的自组装特性并且即使在未进行中性处理的表面上也能够形成垂直取向结构的聚合物组合物及其用途,其中垂直取向的自组装结构可以在短时间内有效地形成。
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公开(公告)号:CN111094370A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201880059350.1
申请日:2018-09-17
申请人: 株式会社LG化学
IPC分类号: C08F220/30 , C08F212/14 , B32B27/28 , B32B27/08 , B29C71/02
摘要: 本申请涉及用于制备图案化基底的方法。所述方法可以应用于制造诸如电子装置和集成电路的装置的过程,或者其他应用,例如集成光学系统、磁畴存储器的引导和检测图案、平板显示器、液晶显示器(LCD)、薄膜磁头或有机发光二极管等的制造,并且还可以用于诸如集成电路、比特图案化介质和/或磁存储装置如硬盘驱动器的离散轨道介质的制造用于在表面上构建图案。
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