传导性结构及其制造方法
    32.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107407993B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201680018258.1

    申请日:2016-03-25

    Abstract: 本发明涉及一种传导性结构及其一种制造方法,该传导性结构包括:基板;和形成布置在基板上的屏幕部分、布线部分和垫部分的导线,其中导线包括金属层、布置在金属层上的第一防反射层和布置在第一防反射层上的第二防反射层,并且第一防反射层和第二防反射层包含氮氧化铝。另外,第二防反射层的氮原子的元素含量的特征在于该元素含量小于第一防反射层的氮原子的元素含量。

    使用法拉第笼的等离子体刻蚀方法

    公开(公告)号:CN111052319A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201880054020.3

    申请日:2018-10-19

    Abstract: 本说明书提供了使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法。所述等离子体蚀刻方法包括:将在其上表面上具有网部分的法拉第笼设置在等离子体蚀刻装置中的步骤;将石英基板设置在法拉第笼内部的步骤,所述石英基板在其一个表面上具有金属掩模,所述金属掩模中具有开口;以及其中使用等离子体蚀刻对石英基板进行蚀刻的图案化步骤。其中,法拉第笼的底表面包含具有比金属掩模更低的电离倾向的金属。

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