使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法

    公开(公告)号:CN111868892B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN201980019945.9

    申请日:2019-06-18

    Abstract: 本申请涉及使用法拉第笼的等离子体蚀刻方法,其包括以下步骤:在具有设置在其上表面的网部的法拉第笼中设置用于蚀刻的基板材料;用遮板遮挡网部的至少一部分,然后对用于蚀刻的基板材料进行等离子体蚀刻;以及通过在使遮板沿着从法拉第箱的外部部分到其中心部分的方向移动的同时进行等离子体蚀刻来在用于蚀刻的基板材料上形成图案部分,其中图案部分的深度沿着从用于蚀刻的基板材料的一侧到其另一侧的方向逐渐变化。

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