公开(公告)号：CN102027340A

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200980117277.X

申请日：2009-05-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文 ,  笠原隆 ,  伊藤将师 ,  吉田杏奈

IPC: G01J3/18 ,  G02B7/00

CPC classification number: G01J3/02 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0256 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0286 ,  G01J3/0297 ,  G01J2003/1213 ,  G02B5/1814 ,  G02B7/025 ,  Y10T156/10

Abstract: 本发明涉及分光模块的制造方法以及分光模块。在分光模块(1)的制造方法中，由光学树脂剂(63)将通过贴合光检测元件(5)和光透过板(56)而构成的光检测单元(10)粘结于基板(2)的前表面(2a)。此时，因为光检测元件(5)的光通过孔(50)被光透过板(56)覆盖，所以能够防止光学树脂剂(63)进入到光通过孔(50)内。而且，在准备光检测单元(10)的时候，因为在贴合设置有光检测部(5a)的半导体基板(91)和光透过板(56)之后，将光通过孔(50)形成于半导体基板(91)，所以能够可靠地防止可能成为发生折射和散射等的原因的物体进入到光通过孔(50)内。

公开(公告)号：CN101788703A

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN201010113511.6

申请日：2006-06-22

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 能野隆文 ,  柴山胜己

IPC: G02B6/42

CPC classification number: G02B6/29352 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/4246

Abstract: 本发明提供一种光器件。光器件1具备：光检测元件6和光波导基板2，光波导基板2具有包括在与层厚方向交叉的方向上延伸的芯部4a～4c以及覆盖芯部4a～4c的包层部4h的光波导层4，并且在侧面2a上具有与光检测元件6光学耦合的芯部4c的端面4g。光波导基板2具有相互的主面3a及5a相向地配置的基板3及5。光波导层4设置在基板3和基板5之间。光检测元件6设置在光波导基板2的侧面2a中的设置区域2c上。设置区域2c设定为包括芯部4c的端面4g、基板3的侧面3b的一部分、以及基板5的侧面5b的一部分。由此，由光器件可以提高发光元件和光检测元件等半导体光元件与光波导管的光耦合效率。

公开(公告)号：CN1885079B

公开(公告)日：2010-05-26

申请号：CN200610093139.0

申请日：2006-06-22

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 能野隆文 ,  柴山胜己

IPC: G02B6/42 ,  G02B6/122 ,  G02B6/293

CPC classification number: G02B6/29352 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/4246

Abstract: 本发明提供一种光器件。光器件1具备：光检测元件6和光波导基板2，光波导基板2具有包括在与层厚方向交叉的方向上延伸的芯部4a～4c以及覆盖芯部4a～4c的包层部4h的光波导层4，并且在侧面2a上具有与光检测元件6光学耦合的芯部4c的端面4g。光波导基板2具有相互的主面3a及5a相向地配置的基板3及5。光波导层4设置在基板3和基板5之间。光检测元件6设置在光波导基板2的侧面2a中的设置区域2c上。设置区域2c设定为包括芯部4c的端面4g、基板3的侧面3b的一部分、以及基板5的侧面5b的一部分。由此，由光器件可以提高发光元件和光检测元件等半导体光元件与光波导管的光耦合效率。

公开(公告)号：CN101636645A

公开(公告)日：2010-01-27

申请号：CN200880000512.0

申请日：2008-06-10

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 柴山胜己 ,  能野隆文 ,  铃木智史 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/18 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0205 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0291

Abstract: 在与衍射层(8)一体地形成的周缘部(11)的平面(11a)形成有对准标记(12a、12b、12c、12d)，在将透镜部(7)安装于基板(2)时，通过相对于基板(2)对这些对准标记(12a、12b、12c、12d)进行对位，从而能够相对于光检测元件(4)的光检出部(4a)正确地对准衍射层(8)，不受例如透镜部(7)的曲率半径的误差等的影响。尤其是，通过在平面(11a)形成对准标记(12a、12b、12c、12d)，从而能够通过图像识别来正确地检测该对准标记(12a、12b、12c、12d)的位置，于是能够进行正确的对准。

公开(公告)号：CN101542252A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000510.1

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  柴山胜己 ,  能野隆文 ,  伊藤将师 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a)，以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有积存部(43)。

公开(公告)号：CN101542249A

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200880000507.X

申请日：2008-06-05

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木智史 ,  柴山胜己 ,  饭田孝 ,  能野隆文 ,  伊藤将师 ,  H·泰希曼 ,  D·希勒 ,  U·施塔克

IPC: G01J3/02

CPC classification number: G01J3/04 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/0259 ,  G01J3/0262 ,  G01J3/0291 ,  G01J3/18 ,  G01J3/2803

Abstract: 分光模块(1)具有：本体部(2)，使光(L1、L2)透过；分光部(3)，对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光，并向前面(2a)侧反射；光检测元件(4)，具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41)，通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9)；以及底填充材料(12)，填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧，并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42)，光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。

公开(公告)号：CN1885079A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200610093139.0

申请日：2006-06-22

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 能野隆文 ,  柴山胜己

IPC: G02B6/42 ,  G02B6/122 ,  G02B6/293

CPC classification number: G02B6/29352 ,  G02B6/12007 ,  G02B6/4246

Abstract: 本发明提供一种光器件。光器件1具备：光检测元件6和光波导基板2，光波导基板2具有包括在与层厚方向交叉的方向上延伸的芯部4a～4c以及覆盖芯部4a～4c的包层部4h的光波导层4，并且在侧面2a上具有与光检测元件6光学耦合的芯部4c的端面4g。光波导基板2具有相互的主面3a及5a相向地配置的基板3及5。光波导层4设置在基板3和基板5之间。光检测元件6设置在光波导基板2的侧面2a中的设置区域2c上。设置区域2c设定为包括芯部4c的端面4g、基板3的侧面3b的一部分、以及基板5的侧面5b的一部分。由此，由光器件可以提高发光元件和光检测元件等半导体光元件与光波导管的光耦合效率。

公开(公告)号：CN114930223A

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202080093051.7

申请日：2020-10-01

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 铃木大几 ,  柴山胜己 ,  能野隆文 ,  森永勇树 ,  大崎拓真 ,  樱井直人

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: 本发明提供光学单元，其包括：基体，其由金属构成，具有主面和所述主面的相反侧的背面；光学面，其设置于所述主面；和振动元件，其设置于所述主面或所述背面，所述基体包括：支承部；从所述支承部延伸的第一延伸部和第二延伸部；配置在所述第一延伸部与所述第二延伸部之间的可动部；和将所述第一延伸部与所述可动部连结的第一连结部以及将所述第二延伸部与所述可动部连结的第二连结部，所述振动元件设置于所述支承部，通过使所述支承部振动而在所述第一连结部和所述第二连结部引发扭转振动来使所述可动部摆动，所述光学面在所述可动部中设置于所述主面。

公开(公告)号：CN108106727B

公开(公告)日：2021-08-17

申请号：CN201810044170.8

申请日：2015-02-03

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 能野隆文 ,  柴山胜己

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/04

Abstract: 分光器(1A)具备：光检测元件(20)，其设置有光通过部(21)及光检测部(22)；支撑体(30)，其以在与光通过部(21)及光检测部(22)之间形成空间(S)的方式固定于光检测元件(20)；第1反射部(11)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将通过光通过部(21)的光(L1)反射；第2反射部(12)，其设置于光检测元件(20)，且在空间(S)中，将由第1反射部(11)反射的光(L1)反射；以及分光部(40)，其设置于支撑体(30)，且在空间(S)中，将由第2反射部(12)反射的光(L1)相对于光检测部(22)进行分光并反射。

公开(公告)号：CN109342395B

公开(公告)日：2021-07-20

申请号：CN201811398924.6

申请日：2013-08-09

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 伊藤将师 ,  柴山胜己 ,  川合敏光 ,  大藤和人 ,  大山泰生 ,  丸山芳弘 ,  能野隆文 ,  广瀬真树 ,  吉田杏奈

IPC: G01N21/65

Abstract: SERS单元(1A)包括：一体地形成的处理基板(2)；及SERS元件(3)，其被固定于以在处理基板(2)的厚度方向上的一侧开口的方式设置于处理基板(2)的收纳空间(S)内。SERS元件(3)具有：基板(5)，其配置于收纳空间(S)的内面(S1)上；及光学功能部(10)，其形成于基板(5)上，且产生表面增强拉曼散射。