环境友好半导体材料Mg2Si薄膜的磁控溅射制备工艺

    公开(公告)号:CN101798680B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201010147304.2

    申请日:2010-04-15

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本发明公开了一种环境友好半导体材料Mg2Si薄膜的磁控溅射制备工艺,它包括:首先清洗Si基片;其次采用高真空磁控溅射系统在Si单晶上沉积200-500nm纯金属Mg膜,形成Si/Mg薄膜结构;最后放置于真空退火炉内。对真空退火炉抽真空,退火炉背底真空小于等于10-3Pa,往高真空的退火炉内通入氩气,然后封闭退火炉进行退火处理。整个退火过程中,保持退火炉腔体内氩气气压为10-104Pa的氩气氛围、350-550℃退火3-8小时,直接形成环境友好半导体Mg2Si薄膜。本发明的磁控溅射法制备工艺,具有镀膜层与基片的结合力强、镀膜层致密、均匀等优点,适用于工业化的大规模批量生产。

    制备Mn掺杂β-FeSi2薄膜的工艺方法

    公开(公告)号:CN101820005A

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN201010148152.8

    申请日:2010-04-16

    Applicant: 贵州大学

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开了一种磁控溅射方法制备Mn掺杂β-FeSi2薄膜的工艺方法,其特征在于:它包括以下过程:第一,清洗Si片;第二,采用磁控溅射方法,在Si片衬底上沉积Mn/Fe或Fe/Mn双层膜,或Fe/Mn/Fe多层膜,通过控制各层溅射速率和膜层厚度来控制Mn的含量,使Mn取代Fe含量在1%-5%之间;第三,将磁控溅射沉积的Mn/Fe或Fe/Mn双层膜或Fe/Mn/Fe多层膜在真空退火炉中退火,获得Mn掺杂的β-FeSi2薄膜。通过XRD测量表明,该掺杂不改变β-FeSi2的晶体结构。

    一种红外探测器
    34.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204332971U

    公开(公告)日:2015-05-13

    申请号:CN201520014583.3

    申请日:2015-01-09

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开一种红外探测器,包括衬底,在衬底上表面设置Mg2Si薄膜,Mg2Si薄膜上表面连接上电极,在衬底下表面设置下电极,本实用新型所用的材料用资源丰富、毒性小、对生态的适应性高的元素,即对环境友好的半导体材料;能回收、再生利用、能源消耗少、对环境负荷小的半导体工艺;有助于能源和环境可持续发展的太阳能电池、热电变换元素等。

    一种基于Mg2Si半导体材料的存储器

    公开(公告)号:CN209471964U

    公开(公告)日:2019-10-08

    申请号:CN201920376582.1

    申请日:2019-03-22

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于Mg2Si半导体材料的存储器,它包括:Mg2Si衬底,Mg2Si衬底上设置有设置有第一存储单元,所述第一存储单元包括分区沟槽,分区沟槽边缘处设置有Mg2Si固定薄片,Mg2Si固定薄片顶端设置有绝缘晶片;分区沟槽两侧分别设置有源区和漏区,分区沟槽上设置有第一绝缘镀膜,第一绝缘镀膜上设置有栅极区,分区沟槽内设置有通电二极管,栅极区上设置Mg2Si隔离层(8),Mg2Si隔离层上设置有第二绝缘镀膜;第二绝缘镀膜上设置有第二存储单元;解决了现有的导电栓塞很容易发生偏移,从而使得所述导电栓塞与所述半导体衬底中的有源区的有效接触面积变小,使得所述导电栓塞与所述有源区的接触电阻及所述导电栓塞自身的电阻较大的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种从研磨铁料中深度提取碳化硅微粉的装置

    公开(公告)号:CN209291977U

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201822200180.4

    申请日:2018-12-26

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种从研磨铁料中深度提取碳化硅微粉的装置,它包括传送带机构和位于传送带机构上侧的下料斗,所述传送带机构和下料斗均通过支架支撑在地面上,所述下料斗的侧壁上螺接有滚筒架,所述滚筒架的底端通过支撑轴安装有细分离电磁铁吸附辊,所述下料斗的另一侧壁上螺接有安装支架,所述安装支架的顶端通过销轴连接有粗分离电磁铁吸附板,所述粗分离电磁铁吸附板的上表面上均匀设置有分散凸块,所述安装支架的侧壁上焊接有支柱,所述支柱与粗分离电磁铁吸附板之间支撑有缓冲弹簧,所述粗分离电磁铁吸附板下表面远离销轴的一端设置有振动机构;解决了对于碳化硅的提取不够彻底,影响铁粉成品的质量的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种便携式便后清洗器
    37.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205458350U

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201521119601.0

    申请日:2015-12-30

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种便携式便后清洗器,包括储水箱以及盖箱,在盖箱的一侧设置有进水口,在盖箱内设置有蓄电池,所述的蓄电池通过导线分别与盖箱上的加热开关以及出水开关连接,加热开关通过导线与设置在盖箱内的逆变器连接,逆变器通过导线与储水箱内的加热电阻丝连接,出水开关通过导线与设置在盖箱内的抽水泵连接,抽水泵通过出水管道与储水箱的内腔连通。本实用新型不仅体积小、重量轻,便于携带,而且能随时满足人们出差旅行的卫生需求,特别对于那些已经在家养成便后清洗习惯的人们,这种便携式清洗器更是他们出差旅行的必备装备。同时,本实用新型还具有结构简单、设计人性化、操作方便的优点,并且价格低廉,便于推广普及。

    一种新型热蒸发镀膜器
    38.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205170964U

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201520991442.7

    申请日:2015-12-04

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种新型热蒸发镀膜器,其特征在于:圆台式垂直筒(304)下端连接支架(309),放置于镀膜器底盘上,圆台式垂直筒(304)下口直径大于挡板(305)直径及钨舟(307)的长度。通过对现有的热蒸发镀膜器进行改进,增加圆台式垂直筒,一是可以增大蒸发源的利用率和沉积速度;二是减少仓体污染,减轻实验人员清仓时工作量,为使用热蒸发进行研究性实验的学者提供便利;三是该垂直筒结构简单,使用方便,不用对现有仪器做任何修改即可达到目的。

    一种基于硅化镁薄膜的传感器

    公开(公告)号:CN208953078U

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201822036046.5

    申请日:2018-12-05

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于硅化镁薄膜的传感器,它包括:连接套(1)和紧固套(9),紧固套(9)固定连接套(1)底端,紧固套(9)底部开有检测孔(8),其特征在于:连接套(1)内设置有上压环(4)和下压环(7),上压环(4)与下压环(7)之间固定有硅化镁薄膜(11),上压环(4)的中心位置设置有上电极片(12);下压环(7)中心位置设置有下电极片(10);解决了现有技术存在传感器装置结构复杂,其结构设置不能够伸入高温液位面以下进行高温液位的检测等技术问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种智能车位锁
    40.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205259678U

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201521119854.8

    申请日:2015-12-30

    Applicant: 贵州大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种智能车位锁,包括埋入地面的固定套筒以及设置在固定套筒内的升降筒,所述的升降筒与设置在固定套筒内的电机主轴连接,在固定套筒的底部还设置有控制箱,在控制箱内设置有与电机连接的电源以及单片机,所述的单片机分别与控制箱内的信号接收器以及红外接收器连接,信号接收器与外部的信号发射器通过无信通讯连接,红外接收器通过信号线与控制箱内的红外测距仪连接。本实用新型不仅可以实现主开车回来时不用下车就可以通过手中的信号发射器控制车位锁的开启,顺利驶入泊车位,而且车主将车开出后,通过红外测距仪感知车辆驶出距离便可将停车位自动锁上,无需担心忘记锁车位,有效防止车位被他人占用。

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