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公开(公告)号：CN211005614U
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201920996501.8
申请日：2019-06-28
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/511 , C23C16/27 , H01P1/16 , H01Q1/22
摘要： 本实用新型涉及一种天线位置可调的波导模式转换器及MPCVD装置。MPCVD装置包括设置在输送波导管路与谐振腔之间的波导模式转换器，波导模式转换器包括转换波导管段、天线、支撑滑台及升降驱动装置，转换波导管段用于转接布置在MPCVD装置的输送波导管路与谐振腔之间，天线沿上下方向导向可升降的装配在所述转换波导管段中，天线穿出所述转换波导管段并与所述支撑滑台固定装配，升降驱动装置与支撑滑台滑动连接，以驱使所述支撑滑台带动天线升降调整至设定目标位置。天线固定装配在支撑滑台上，通过升降驱动装置可驱动支撑滑台带动天线升降调整，以实现天线高度位置的调节，使波导模式转换器较容易满足最佳结构，从而提高MPCVD装置中微波的转换效率。
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公开(公告)号：CN209652424U
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201920360861.9
申请日：2019-03-21
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/511 , C23C16/513 , C23C16/517
摘要： 本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体公开了一种对真空环境有效密封的MPCVD装置，包括上盖板、底板及由两者围成的反应腔，在底板与上盖板的连接处通过O型密封圈组进行密封，在底板上与环形泄气通道相对应的圆周上设有第一通气孔，所述第一通气孔的上端与环形泄气通道连接，第一通气孔的下端通过第一出气管与抽真空装置连接。本实用新型能有效隔离外界空气，维持了反应腔内真空工作环境，有效降低了本类型MPCVD设备的真空漏率，最终实现反应腔与外部空气有效隔离，为制备高品质产品提供了有利保障，提高了微波等离子体化学气相沉积产品质量，满足科研和工业化生产需求。
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公开(公告)号：CN209636319U
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201920302296.0
申请日：2019-03-11
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/513
摘要： 一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括机架和升降放取机构，升降放取机构包括支撑座及置于支撑座上的支撑底板，且支撑底板与支撑座沿水平方向滑动配合；支撑底板上方还设有用于放置沉积物的石英钟罩，实现石英钟罩伴随支撑底板在竖直方向上的升降。该微波等离子体化学气相沉积装置，通过升降放取机构、支撑座以及与支撑座水平滑动配合的支撑底板的结构布设，使放样、取样过程中操作空间不再受限制，放样、取样过程简单无妨碍，可有效的避免由于操作空间有限而导致损坏石英钟罩情况的发生。
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公开(公告)号：CN205967419U
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201620791207.X
申请日：2016-07-26
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： B22F3/14
摘要： 本实用新型公开了一种径向施压烧结成型模具，包括模具主体，模具主体上设有贯穿上下端面的两斜槽，两斜槽相互交叉，交叉处设有通孔，模具主体两端分别设有垂直于通孔的槽，槽内设有挡板，斜槽内设有压头，压头下端面为与通孔相配合的弧形面，模具主体上下端面设施力压板，压板压脚与压头表面接触。本实用新型公开的径向施压烧结成型模具可以在单向压制或双向压制压机上对细长圆柱形磨料层实施径向压制烧结成型，与传统的轴向压制相比，粉料生坯的压制厚度大大降低，使得细长圆柱形磨料层烧结成型后不会出现轴向烧结压制产生的密度阶梯性差异，其整体烧结坯密度分布均匀，从而大大提升成品磨具整体的质量可靠性和应用范围。
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公开(公告)号：CN210529058U
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201920997386.6
申请日：2019-06-28
申请人： 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC分类号： C23C16/511 , C23C16/27 , H01P3/12 , H01P1/30
摘要： 本实用新型涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种波导组件及微波等离子体化学气相沉积装置，波导组件包括波导本体，波导本体用于布置在调配器和模式转换器之间以传导微波；波导本体的外侧壁上开设有冷却液槽，冷却液槽上密封安装有槽盖板以形成冷却液腔，波导组件还包括与冷却液腔连通的冷却液进口和冷却液出口，通过在冷却液腔内注入冷却液以对波导本体进行冷却。温度较低的波导本体可以通过热传递的方式对调配器进行降温，确保调配器保持较高的工作性能，同时也就使得使用该波导组件的微波等离子体化学气相沉积装置保持较高的工作性能。
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