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公开(公告)号:CN103748499A
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN201280040685.1
申请日:2012-07-30
申请人: 佳能株式会社
CPC分类号: G02B27/14 , G02B21/04 , G02B26/0833 , H04N5/2254 , H04N7/18
摘要: 显微镜包括物镜光学系统,所述物镜光学系统包括被配置用于形成物体的图像的成像光学系统,被配置用于再形成通过所述成像光学系统形成的物体图像的图像的再成像光学系统,以及被布置在所述成像光学系统和所述再成像光学系统之间的光路上的反射单元,所述反射单元被配置为所述反射单元在光轴方向上的位置和所述反射单元的相对于光轴的倾角中的至少一个能够局部改变;以及图像传感器,被配置用于捕获通过所述物镜光学系统再形成的图像。
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公开(公告)号:CN102119352B
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN200980131210.1
申请日:2009-06-10
申请人: 汉密尔顿-索恩公司
发明人: T·G·肯尼 , D·H·杜格拉斯-哈米尔顿
IPC分类号: G02B21/00
CPC分类号: G02B21/04 , G02B21/0012
摘要: 提供一种与显微镜一起使用的物镜组件。物镜具有使得图像束经由物镜朝着显微镜的目镜发射的光学轴线。反射镜相对于物镜的光学轴线以一角度定位。激光组件定位在反射镜的第一侧上,以便将激光束朝着所述反射镜引导,使得激光能量被反射镜反射,并在大致与光学轴线对准的方向上经过物镜。包括光源的指示器组件定位成光线在反射镜的另一侧入射,以便在与激光束的方向相反的方向上反射光束,从而提供通过物镜发射的激光束的位置的光学表现。
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公开(公告)号:CN103076723A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201310014400.3
申请日:2006-09-12
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号: G03F7/70233 , G02B13/0065 , G02B13/16 , G02B17/0621 , G02B17/0663 , G02B17/08 , G02B17/0804 , G02B21/04 , G03F7/70308
摘要: 总体上,本发明的一方面包括一种微光刻投影光学系统(101),其包括:多个元件(310-360),其被设置为将来自物平面(103)的光成像到像平面(102),至少一个所述元件是反射元件,其具有位于光路上的旋转非对称表面。所述旋转非对称表面从旋转对称表面偏离约10nm以上,并且所述光学系统是微光刻投影光学系统。
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公开(公告)号:CN101349804B
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN200810133692.1
申请日:2008-07-18
申请人: ASML控股股份有限公司
发明人: Y·K·什马利威 , 斯坦尼斯拉·Y·斯摩诺伍 , 伊瑞娜·I·波兹恩斯卡亚
CPC分类号: G01N21/47 , G01N2021/4714 , G02B17/0808 , G02B17/0856 , G02B21/04 , G02B27/0025 , G03F7/70625 , G03F7/70633
摘要: 本发明公开了一种具有高数值孔径的用于散射仪的反射折射式光学系统,所述光学系统在宽的光谱范围内工作。所述光学系统包括修正板、第一反射表面和第二反射表面。所述修正板调节电磁辐射以修正至少一种像差。所述第一反射表面被定位用于反射由所述修正板所调节的电磁辐射。所述第二反射表面被定位用于将由第一反射表面反射的电磁辐射聚焦到衬底的目标部分上。由第一反射表面反射并由第二反射表面聚焦的电磁辐射不被折射元件折射,因此能够使得所述反射折射式光学系统在宽的光谱范围内工作。
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公开(公告)号:CN102119352A
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200980131210.1
申请日:2009-06-10
申请人: 汉密尔顿-索恩公司
发明人: T·G·肯尼 , D·H·杜格拉斯-哈米尔顿
IPC分类号: G02B21/00
CPC分类号: G02B21/04 , G02B21/0012
摘要: 提供一种与显微镜一起使用的物镜组件。物镜具有使得图像束经由物镜朝着显微镜的目镜发射的光学轴线。反射镜相对于物镜的光学轴线以一角度定位。激光组件定位在反射镜的第一侧上,以便将激光束朝着所述反射镜引导,使得激光能量被反射镜反射,并在大致与光学轴线对准的方向上经过物镜。包括光源的指示器组件定位成光线在反射镜的另一侧入射,以便在与激光束的方向相反的方向上反射光束,从而提供通过物镜发射的激光束的位置的光学表现。
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公开(公告)号:CN101909509A
公开(公告)日:2010-12-08
申请号:CN200880123865.X
申请日:2008-11-12
申请人: 康奈尔大学
CPC分类号: A61B5/0071 , A61B1/00096 , A61B1/00165 , A61B1/00172 , A61B1/00188 , A61B1/043 , A61B1/0638 , A61B1/07 , A61B5/0062 , A61B5/0086 , G02B13/146 , G02B21/04 , G02B23/243 , G02B26/103
摘要: 本发明的实施例包括一种耦合到荧光发射内窥镜装置的远端的光学系统和光学系统模块、基于光学波导的荧光发射内窥镜系统和用于远程控制、多放大率成像目标或用荧光发射内窥镜装置从目标收集荧光发射的方法。一种典型系统包括布置在内窥镜装置的远端中的物镜。该透镜适于透射可见目标照明和荧光发射诱导目标照明以及来自目标的荧光发射和可见光。该系统因此可以用单一透镜系统同时提供低放大率、大视野成像和高放大率、高分辨率多光子成像。
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公开(公告)号:CN109061863A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201811057061.6
申请日:2018-09-11
申请人: 深圳立仪科技有限公司
发明人: 刘杰波
IPC分类号: G02B21/04
CPC分类号: G02B21/04
摘要: 本发明公开一种侧向照射光谱共焦镜头,包括:壳体、光纤固定部、光纤、轴向透镜组、径向透镜以及反射镜,所述壳体沿轴向设有第一孔,所述光纤固定部安装固定在该第一孔内,所述光纤设于所述光纤固定部上,所述轴向透镜组安装固定在所述第一孔内壁并位于光纤固定部下方,所述反射镜设于所述轴向透镜组下方,所述壳体的壳体壁底端沿径向设有第二孔,所述第一孔与第二孔相通,所述径向透镜安装固定在所述第二孔内,所述第一孔相对于壳体为同心孔或者偏心孔。本发明与传统的结构相比,在外径尺寸没有显著增加的情况下大幅度提高了数值孔径,或者在同等通光孔径下体积大幅度缩小。
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公开(公告)号:CN107949804A
公开(公告)日:2018-04-20
申请号:CN201680051324.5
申请日:2016-09-02
申请人: 3M创新有限公司
CPC分类号: G02B27/0172 , B29C45/14 , B29C55/04 , B29D11/00644 , B29D11/0073 , B29D11/00865 , B29K2069/00 , B29K2995/003 , B29K2995/0034 , B29L2009/00 , B29L2011/00 , G02B1/041 , G02B5/005 , G02B5/04 , G02B5/0891 , G02B5/3041 , G02B5/305 , G02B5/3058 , G02B5/3066 , G02B5/3075 , G02B5/3083 , G02B5/3091 , G02B13/0055 , G02B17/0856 , G02B17/0896 , G02B21/04 , G02B21/28 , G02B23/2407 , G02B27/0068 , G02B27/0093 , G02B27/0176 , G02B27/0905 , G02B27/0983 , G02B27/144 , G02B27/145 , G02B27/148 , G02B27/22 , G02B27/2228 , G02B27/2235 , G02B27/283 , G02B27/286 , G02B2027/011 , G02B2027/013 , G02B2027/0134 , G02B2027/0138 , G02B2027/0154 , G02C7/02 , G02C7/081 , G03B21/00 , G03B21/28 , G06F3/013
摘要: 本发明描述了包括至少第一透镜、部分反射器以及反射偏振器的光学系统。所述光学系统具有光轴,使得沿所述光轴传播的光线穿过所述第一透镜、部分反射器以及反射偏振器而基本上不被折射。所述光学系统的至少一个主表面关于所述光轴不旋转对称。所述光学系统的主表面可具有由第一公式定义的第一部分以及由不同的公式定义的与第一部分相邻的第二部分。所述第一透镜可具有适于邻近观察者的眼睛放置并基本上与观察者的面部相适应的仿形边缘。
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公开(公告)号:CN104765137B
公开(公告)日:2017-09-08
申请号:CN201510203492.9
申请日:2015-04-24
申请人: 合肥京东方光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
CPC分类号: G02B21/248 , G02B6/0008 , G02B21/04 , G02B21/084 , G02B21/26
摘要: 本发明提供了一种显微镜头,所述显微镜头具有目镜端和物镜端,其中,所述目镜端的中心轴线和所述物镜端的中心轴线相交,并且所述显微镜头还包括设置在所述目镜端和所述物镜端之间的反光镜,以使入射光线和/或出射光线在所述目镜端和所述物镜端之间经由所述反光镜的反射而入射和/或出射。同时,本发明还提供了一种包括上述显微镜头的显微镜系统。通过本发明提供的显微镜头和显微镜系统,能够改善对被观察对象(例如玻璃基板)上的缺陷的观察和识别,从而提高良率的准确性。
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公开(公告)号:CN103869458B
公开(公告)日:2017-08-08
申请号:CN201410118016.2
申请日:2010-08-19
申请人: 卡尔蔡司医疗技术股份公司
摘要: 本发明涉及一种用于手术显微镜的镜筒,此镜筒具有成像光路,此成像光路导引通过中间构件并通过围绕着中间构件上的旋转轴线可摆转的目镜构件,其特征在于,为了遮盖穿透目镜构件(7)的成像光路(37、39),设置有相对于目镜构件(7)可活动的外壳盖板(79)。
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