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公开(公告)号:CN106772970A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201611256622.6
申请日:2016-12-30
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
CPC分类号: G02B17/0804 , G02B15/00
摘要: 本发明提供一种小型化长焦距大口径连续变焦光学结构,包括全反射式无焦光学系统、透射式连续变焦光学系统和焦平面,所述全反射式无焦光学系统包括主反射镜、次反射镜,所述次反射镜的焦点与主反射镜的焦点重合,所述主反射镜用来接受目标物体反射出来的光能量,所述次反射镜安装在主反射镜的反射光路上;所述透射式连续变焦光学系统安装在次反射镜的出射光路上,所述焦平面位于焦面上。本发明通过使用前置无焦光学系统将入射光束进行口径压缩,在经过后续连续变焦透射系统组件提供连续变焦功能,将两个系统组合,使前置无焦光学系统对后续连续变焦透射系统组件的焦距进行放大,实现整个系统的长焦距大口径的功能需求。
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公开(公告)号:CN105467573A
公开(公告)日:2016-04-06
申请号:CN201511000423.4
申请日:2015-12-28
申请人: 同济大学
CPC分类号: G02B21/04 , G02B17/0804
摘要: 本发明涉及一种双通道多波段显微成像光学镜头,包括前端两镜组件、切换机构和后端透镜组件,所述前端两镜组件与后端透镜组件垂直设置,所述切换机构设置于前端两镜组件和后端透镜组件之间,所述前端两镜组件单独形成第一光学通道或与切换机构组合形成第一光学通道,所述前端两镜组件、切换机构和后端透镜组件形成第二光学通道,通过所述切换机构的移动实现第一光学通道或第二光学通道单独工作或两路光学通道同时工作的切换。与现有技术相比,本发明形成的两路光学通道共用同一前端两镜系统,使用切换机构实现不同倍率光路通道的切换,也可实现两通道的独立或共同工作,具有结构紧凑、装调简单、使用范围广、可批量化生产等优点。
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公开(公告)号:CN102207600B
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201110126344.3
申请日:2005-10-01
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC分类号: G03F7/7015 , G02B7/00 , G02B7/008 , G02B7/021 , G02B7/028 , G02B7/22 , G02B17/08 , G02B17/0804 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70808 , G03F7/70825 , G03F7/70833 , G03F7/70883
摘要: 一种光学投影单元,包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块。第一光学元件模块包括第一外壳单元和至少第一光学元件,第一光学元件容纳在所述第一外壳单元内并具有限定第一光轴的光学用途第一区域。至少一个第二光学元件模块位于所述第一光学元件模块附近,并包括至少一个第二光学元件,所述第二光学元件限定光学投影单元的第二光轴。第一外壳单元具有中央第一外壳轴线以及围绕着所述第一外壳轴线沿着圆周方向延伸的外壁。第一光轴相对于所述第一外壳轴线横向偏置和/或倾斜。另外,第一外壳轴线与第二光轴基本上共线。
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公开(公告)号:CN104834079A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201510202148.8
申请日:2015-04-24
申请人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC分类号: G02B17/08
CPC分类号: G02B17/0804
摘要: 本发明涉及一种长焦距大口径大F数望远成像系统,长焦距大口径大F数望远成像系统包括主反射镜、次反射镜、用于编码的相位掩膜板、校正透镜组A、校正透镜组B、面阵CMOS图像传感器以及解码处理单元;次反射镜设置在经主反射镜反射后所形成的反射光所在光路上;次反射镜、相位掩膜板、校正透镜组A、校正透镜组B以及面阵CMOS图像传感器依次设置在同一光路上;解码处理单元与面阵CMOS图像传感器相连;本发明提供了一种长焦距大口径大F数望远成像系统,将波前编码技术引入到长焦距大口径大F数望远镜成像系统的设计当中,利用编码技术人为地产生可控的MTF的降低,从而使后续MTFC技术的效果更加稳定可靠。
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公开(公告)号:CN101243360A
公开(公告)日:2008-08-13
申请号:CN200680029692.6
申请日:2006-05-26
申请人: 卡尔蔡司SMT股份公司
IPC分类号: G03F7/20
CPC分类号: G02B17/0892 , B82Y10/00 , G02B17/0804 , G02B17/0812 , G03F7/70225 , G03F7/70325 , G03F7/70341 , G03F7/70958
摘要: 一种适合于微光刻投影曝光机的投影物镜,其用于将该投影物镜的物平面(OP)中提供的图案成像到该投影物镜的像平面(IP)上,其具有多个光学元件,其对于该投影物镜的工作波长处的辐射是透明的。至少一个光学元件(LOE1,LOE2)是由在工作波长处折射率n≥1.6的高折射率材料制成的高折射率光学元件。
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公开(公告)号:CN101061409A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200580039437.5
申请日:2005-10-01
申请人: 卡尔蔡思SMT股份公司
CPC分类号: G03F7/7015 , G02B7/00 , G02B7/008 , G02B7/021 , G02B7/028 , G02B7/22 , G02B17/08 , G02B17/0804 , G02B17/0812 , G02B17/0892 , G03F7/70808 , G03F7/70825 , G03F7/70833 , G03F7/70883
摘要: 一种光学投影单元,包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块。第一光学元件模块包括第一外壳单元和至少第一光学元件,第一光学元件容纳在所述第一外壳单元内并具有限定第一光轴的光学用途第一区域。至少一个第二光学元件模块位于所述第一光学元件模块附近,并包括至少一个第二光学元件,所述第二光学元件限定光学投影单元的第二光轴。第一外壳单元具有中央第一外壳轴线以及围绕着所述第一外壳轴线沿着圆周方向延伸的外壁。第一光轴相对于所述第一外壳轴线横向偏置和/或倾斜。另外,第一外壳轴线与第二光轴基本上共线。
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公开(公告)号:CN1965259A
公开(公告)日:2007-05-16
申请号:CN200580018858.X
申请日:2005-04-07
申请人: 卡尔蔡司SMT股份公司
发明人: A·埃普勒
CPC分类号: G02B17/0804 , G02B17/0808 , G02B17/0812 , G02B17/0816 , G02B17/0836 , G02B17/0844 , G02B17/0848 , G02B17/086 , G02B17/0892 , G03F7/70058 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341
摘要: 一种反射折射投影物镜,用于将布置在投影物镜的物面内的离轴有效物场成像至布置在所述投影物镜的像面内的离轴有效像场上,其包括:光轴;有效物场,完全位于所述光轴外部,沿第一方向具有长度A并沿与所述第一方向垂直的第二方向具有宽度B,使得包围所述有效物场的尺寸最小的圆形区域根据(I)定义所述有效物场的半径REOF;圆形设计物场,以所述光轴为中心,具有设计物场半径RDOF,其中所述投影物镜在径向坐标小于RDOF的区域内基本上得到图像像差校正,且其中所述投影物镜在径向坐标大于RDOF的区域没有得到完全校正。下述条件:RDOF=γREOF且1≤γ<1.4得以满足。采用紧凑设计可实现非常高的像侧数值孔径NA>1。优选使用弓形有效物场。
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公开(公告)号:CN108761751A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810564388.6
申请日:2018-06-04
申请人: 凯迈(洛阳)测控有限公司
CPC分类号: G02B17/0804 , G02B17/004
摘要: 本发明涉及前视红外成像系统领域,具体的涉及一种多视场中波红外光学系统及其视场切换方法。包括由物方至像方方向依次同轴分布在光轴上的第一弯月形正透镜、次反射镜、第一双凹负透镜、第一双凸正透镜、第一弯月形负透镜、第二弯月形负透镜、第二双凹负透镜、第二双凸正透镜、主反射镜、第二弯月形正透镜以及成像面。本发明结构简单,视场切换时间短,控制在1s以内,成像质量高,视场切换过程中光轴一致性可达到1个像素,与现有的单视场和连续变焦红外光学系统相比,更加简捷实用。
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公开(公告)号:CN105393472A
公开(公告)日:2016-03-09
申请号:CN201480039887.3
申请日:2014-04-28
申请人: 波音公司
发明人: S·K·维尔肯
CPC分类号: G02B27/108 , G02B3/00 , G02B17/0804 , G02B23/04 , G02B23/06 , H04B10/11
摘要: 方法包括使用由光源发射的光生成原光束。方法包括利用望远镜的透镜使用光的部分生成二级光束。透镜包括放置在透镜的第一表面上的一个或多个折射元件,和二级光束通过使用一个或多个折射元件使光的部分转向而生成。
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公开(公告)号:CN1965259B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200580018858.X
申请日:2005-04-07
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
发明人: A·埃普勒
CPC分类号: G02B17/0804 , G02B17/0808 , G02B17/0812 , G02B17/0816 , G02B17/0836 , G02B17/0844 , G02B17/0848 , G02B17/086 , G02B17/0892 , G03F7/70058 , G03F7/70225 , G03F7/70275 , G03F7/70341
摘要: 一种反射折射投影物镜,用于将布置在投影物镜的物面内的离轴有效物场成像至布置在所述投影物镜的像面内的离轴有效像场上,其包括:光轴;有效物场,完全位于所述光轴外部,沿第一方向具有长度A并沿与所述第一方向垂直的第二方向具有宽度B,使得包围所述有效物场的尺寸最小的圆形区域根据(I)定义所述有效物场的半径REOF;圆形设计物场,以所述光轴为中心,具有设计物场半径RDOF,其中所述投影物镜在径向坐标小于RDOF的区域内基本上得到图像像差校正,且其中所述投影物镜在径向坐标大于RDOF的区域没有得到完全校正。下述条件:RDOF=γREOF且1≤γ<1.4得以满足。采用紧凑设计可实现非常高的像侧数值孔径NA>1。优选使用弓形有效物场。
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