公开(公告)号：CN117976525A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202211302210.7

申请日：2022-10-24

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 谢斌平

IPC分类号： H01L21/205

摘要： 本公开提供了用于处理包含SiC表面的基板的装置、方法以及真空处理系统，用于处理包含SiC表面的基板的装置，包括：处理容器，处理容器包括：第一壳体；第二壳体，与第一壳体相配合，以形成容纳空间；承载结构，设置在容纳空间内，用于承载包含SiC表面的基板，以将容纳空间分隔成第一空间和第二空间，其中，第一壳体用于在加热情况下在第一空间内产生Si气氛。

公开(公告)号：CN117677018A

公开(公告)日：2024-03-08

申请号：CN202211039788.8

申请日：2022-08-26

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 鹿建 ,  叶雨城 ,  乔乾 ,  赵子淳 ,  阙兆晖

IPC分类号： H05H1/46 ,  G01N21/95 ,  G01N21/956 ,  G01N21/01 ,  H01L21/66

摘要： 本公开提供了一种光源，包括：发生腔，用于容纳工作气体；射频激励装置，与发生腔耦合，用于向发生腔产生射频使工作气体形成等离子体；以及激光发生装置，用于向发生腔发射激光以驱动等离子体发光。

公开(公告)号：CN117641691A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202310771658.1

申请日：2023-06-28

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 熊润祥 ,  王艳会 ,  谢斌平

IPC分类号： H05H1/46 ,  H01P3/12 ,  H01S1/02 ,  H01J37/32

摘要： 本公开提供了一种微波传导装置、微波源、离子发生装置以及真空处理系统。微波传导装置包括：微波传输器，包括：谐振腔；天线，设置在谐振腔内，且与微波源电连接；其中，谐振腔用于与天线耦合，对微波源产生的微波进行传输，微波馈入结构，设置在微波传输器上，用于馈入微波。

公开(公告)号：CN109739175B

公开(公告)日：2024-01-26

申请号：CN201910135250.9

申请日：2019-02-22

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 范鹏 ,  谢鹏 ,  周波 ,  谢斌平

IPC分类号： G05B19/05

摘要： 本发明提供了一种PLC继电器快速分配电路，用于解决现有技术中手工进行PLC继电器连接成本高、效率低下、错误率高和固定线路板兼容性差的技术问题，包括：多个继电器、PLC接口、第一模块、第二模块、供电接口和输出接口；第一模块用于选择继电器输出类型；第二模块用于在电压输出时分配继电器地址；实施本发明的技术方案，在电路中预先设置主体电路以及多个继电器，利于电路规模化生产，提高生产效率；通过使用短路帽短路针脚的方式选择继电器输出模式，降低继电器分配的时间成本和人力成本，减少人为失误造成的故障；设置多个继电器和输出接口，并可自由分配和切换继电器地址，电路输出模式多样，提高电路兼容性，利于电路规模化生产。

公开(公告)号：CN116815304A

公开(公告)日：2023-09-29

申请号：CN202210245472.8

申请日：2022-03-14

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 谢斌平 ,  杨贺鸣 ,  陈飞

IPC分类号： C30B23/02 ,  C23C14/56 ,  C23C14/24

摘要： 本公开提供了一种真空冷屏，包括：主体，包括一个或多个用于冷却的导热表面；以及一个或多个阻挡器，阻挡器设置在导热表面上，阻挡器包括：一个或多个阻挡板，用于阻挡热辐射和束流。

公开(公告)号：CN116631846A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310396278.4

申请日：2023-04-14

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 谢斌平 ,  杨贺鸣 ,  张凯

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01J37/32 ,  H01J37/18

摘要： 本公开提供了一种半导体材料表面钝化方法及真空系统，半导体材料表面钝化方法包括：在真空环境中，对半导体材料表面施加原子氢，以对半导体材料表面进行还原；对被还原的半导体材料表面进行氧化。真空处理系统包括：真空腔，用于容纳样品，样品具有半导体材料表面；氢源，用于向半导体材料表面发射原子氢，以对半导体材料表面进行还原；氧源，用于对被氧化还原的半导体材料表面进行氧化。

公开(公告)号：CN116397206A

公开(公告)日：2023-07-07

申请号：CN202210706197.5

申请日：2022-06-21

申请人： 费勉仪器科技(南京)有限公司 ,  费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 赵嘉峰 ,  葛九文 ,  谢斌平 ,  张朱锋 ,  郭维

IPC分类号： C23C14/50

摘要： 本公开提供了一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统，可拆卸连接装置包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。

公开(公告)号：CN116321651A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202211404189.1

申请日：2022-11-10

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 王艳会 ,  叶雨城 ,  赵子淳 ,  鹿建 ,  谢斌平

IPC分类号： H05H1/24 ,  G01N21/73

摘要： 本公开提供了一种真空射频等离子装置及真空系统，真空射频等离子装置包括：射频源，用于产生射频；离子发生腔，与射频源耦合，用于在射频的激励下产生等离子；以及能量耦合器，将射频源产生的射频耦合到离子发生腔，用于产生等离子。

公开(公告)号：CN116200700A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202111452184.1

申请日：2021-12-01

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 谢斌平 ,  陈飞 ,  王天邻 ,  王冰雷

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/24 ,  C23C14/50

摘要： 本公开提供了一种真空处理装置，其特征在于，包括：样品停放装置，包括：第一对准机构；掩膜停放装置，包括：与第一对准机构相配合的第二对准机构，用于使样品停放装置与掩膜停放装置对准；以及驱动装置，包括：驱动轴，与样品停放装置连接，用于驱动样品停放装置旋转。

公开(公告)号：CN116161389A

公开(公告)日：2023-05-26

申请号：CN202211318184.7

申请日：2022-10-26

申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司

发明人： 谢斌平 ,  王天邻 ,  陈飞 ,  陈志刚 ,  范鹏

IPC分类号： B65G35/00 ,  B25J11/00 ,  B25J18/00

摘要： 本公开提供了一种真空处理系统，包括：真空中转腔；至少一个真空处理腔，与所述真空中转腔连通；传样臂机构，设置在所述真空中转腔内；真空驱动机构，与所述传样臂机构连接，用于驱动所述传样臂机构，所述真空驱动机构包括：真空腔道，与所述真空中转腔连通；至少一个主轴，设置在所述真空腔道内并且能够绕轴向旋转；以及至少一个磁传动装置，与所述至少一个主轴连接并且能够旋转以带动所述至少一个主轴旋转。