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公开(公告)号：CN101281378B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200810111724.8
申请日：2008-05-15
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 一种纳米光刻对准系统，其特征在于：对准光源发出的光线经透镜A、分光镜A反射、显微物镜后照射在掩模和硅片上，掩模和硅片上的衍射光栅标记在对准光源作用下产生衍射光束干涉条纹，掩模上的对准标记图像经显微物镜、分光镜A、分光镜B、透镜B到达反射镜A，经反射镜A反射回来的光线经透镜B、分光镜B到达CCD进行成像；硅片上的对准标记图像经掩模、显微物镜、分光镜A和分光镜B透射后到达补偿光路，从补偿光路反射回的光线，经分光镜B到达CCD进行成像；CCD同时对掩模和硅片上的光栅对准标记成像；基于CCD采集的干涉条纹图像，采用傅立叶变换方法编码相对空间相位差异，实现双焦点高精度对准。该系统具有对准标记采集视场大、对准精度高等特点。
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公开(公告)号：CN101050940B
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200710099495.8
申请日：2007-05-23
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 高精度双频激光干涉仪信号细分系统，包括测量信号预处理电路、参考信号预处理电路、数字鉴相电路、周期为T1的时钟信号发生电路、时钟前沿重合检测电路、周期为T2的时钟信号发生电路、计数器、计数器及运算处理电路。采用两路周期分别为T1和T2的时钟驱动两个计数器在数字鉴相电路3输出以及时钟前沿重合检测电路的协同控制下进行计数，使得实际的计数频率达到从而得到了更高的细分精度。
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公开(公告)号：CN100541113C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200710099496.2
申请日：2007-05-23
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 亚纳米级双频激光干涉仪信号细分系统，包括测量信号和参考信号预处理电路、数字鉴相电路、主时钟信号发生电路、移相器组、计数电路、计数器组及运算处理电路，测量和参考信号预处理电路分别完成测量信号与参考信号的光电检测、放大、滤波与整形后，输出为两路方波数字信号后，送入数字鉴相电路进行鉴相，数字鉴相电路输出信号的上升沿驱动主时钟发生电路产生时钟信号，并驱动计数电路计数，移相器组对主时钟发生电路产生的时钟信号进行精确移相，并驱动计数器组计数；数字鉴相电路输出信号的下降沿作为计数电路和计数器组的停止控制信号；结果送入运算处理电路计算处理后得出最终细分结果。本发明使双频激光干涉仪的测量精度达到亚纳米级，具有高精度、高可靠性的特点。
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公开(公告)号：CN1857860A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200610012110.5
申请日：2006-06-06
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 具有光电瞄准定位的刀具预调系统，包括X向和Z向移动系统、照明系统、成像系统、视频采集系统及计算机处理系统及被测刀具，照明系统、成像系统及图像采集系统置于X向和Z向移动系统上，可在X、Z两个自由度坐标系内运动，并且其位置可以唯一确定，照明系统发出的光照明被测刀具，被测刀具经成像系统成像后由视频采集系统进行图像采集，采集后的图像数据送入计算机处理系统进行图像的边界分割，对被测刀具的边缘进行曲线拟合，捕捉边缘曲线特征点，并最终计算出特征点与坐标系的偏差和，实现被测刀具的预调。本发明大大提高了刀具预调的准确性、稳定性、可靠性，从而也大大提高了检测精度、加工精度，缩短了刀具预调时间，提高了生产工作效率，具有结构简单、易操作、成本低等优点。
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公开(公告)号：CN1851557A
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN200610012094.X
申请日：2006-06-02
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种二维扫描精密激光曝光系统，由圆刻机工作台、被刻码盘、激光器、掩模、摆动扫描系统、精密激光步进台、掩模抬起机构及计算机控制系统组成，激光器作为光源，光束整形后投射到摆动扫描系统上，计算机控制系统经过控制摆动扫描系统和精密激光步进台的运动完成二维扫描照明掩模，将掩模上的图形复制被刻码盘上完成一个区域的光刻，圆刻机工作台带动码盘旋转选择被光刻的区域，掩模抬起机构在码盘旋转时将掩模抬起，曝光时落下。本发明具有定位准确、操作简便、安装调整方便等优点，大大提高了码盘刻制精度，保证了码盘刻制质量，提高了生产效率。
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公开(公告)号：CN1800411A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510011101.X
申请日：2005-01-04
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 热循环控制聚合酶链式反应生物检测系统，由热循环加热制冷组件(1)、光学系统(2)、光电倍增管(3)、运动台(4)、步进电机(5)、热循环温度控制器(6)、荧光检测控制器(7)、步进电机驱动器(8)和PC机(9)组成，本发明采用荧光实时检测方式来分析PCR模板的扩增，采用热电半导体制冷技术实现PCR过程，通过高灵敏度的光电系统对荧光信号进行检测，实现了在同一管内同时进行扩增和检测的功能，并采用微机作为上位机进行热循环工艺控制，以及采用光强实时检测的PCR生物检测系统，具有安全、清洁、温度变化快速，温度工艺控制灵活性好；荧光检测灵敏度高，动态范围大；数据处理自动化、不用制备专用芯片等特点。
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公开(公告)号：CN103983573A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410217312.8
申请日：2014-05-22
申请人： 中国科学院光电技术研究所
IPC分类号： G01N21/00
摘要： 本发明是用于生物芯片扫描仪的二维扫描方法，包括：扫描台上的生物芯片在扫描区域外移动，Y向电机在Y轴向上做间歇步进，生物芯片向Y轴向步进至第1扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台在X轴向移动至扫描区域内，对生物芯片的第1扫描行扫描并越过一边界时，启动Y向电机与X向电机同时运动；Y向电机沿Y轴向移动，生物芯片沿曲线移动至一边界上的第2扫描行起点，Y向电机停止；X向电机带动扫描台到第二扫描边界，由第2扫描行的起点沿X轴负向移动至扫描区域内，对生物芯片第2扫描行扫描并越过第一扫描边界时，启动Y向电机沿Y轴向移动，当Y向电机移到第3扫描行时停止生物芯片在Y轴向移动；循环对第n扫描行扫描至终点。
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公开(公告)号：CN102298272B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201110236547.8
申请日：2011-08-17
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 一种光刻机中的片夹上片自动轴向定位锁紧装置，安装在一底座上，该底座的四个角上各设有一弯板，底座的上方开设有四个沉孔；底座的两侧中间设有转轴，转轴的上部套设有转盘；转盘上水平向地设有叉杆，通过铰链与转盘连接，两个叉杆的另一端之间安装有一拉簧；第一连杆和第二连杆的一端通过铰链与转盘连接，另一端安装有压紧块，压紧块的端部各设有顶柱；上支板设置于压紧块上方；片夹置于上支板的上方，顶柱穿过上支板进入片夹的定位孔内；导锥在两个叉杆之间平行移动使两个叉杆张开或闭合，两个叉杆带动转盘做正或反转动，转盘带动第一连杆和第二连杆对压紧块拉或推；压紧块压在各自对应的压簧上，实现顶柱对片夹在轴向上的定位锁紧与放开。
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公开(公告)号：CN102565983A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110369197.2
申请日：2011-11-18
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明是一种动镜轴向微调装置，所述装置包括：第一组柔性铰链、第二组柔性铰链、第三组柔性铰链、动镜框、外圆柱面、第一安装槽、第二安装槽和第三安装槽，采用第一组柔性铰链、第二组柔性铰链和第三组柔性铰链结构相同且相互独立的柔性铰链作为动镜框的支撑架；在动镜框的外圆柱面上等间距开有第一安装槽、第二安装槽、第三安装槽，并将第一组柔性铰链、第二组柔性铰链、第三组柔性铰链嵌入固定在第一安装槽、第二安装槽、第三安装槽内，利用杠杆原理，通过柔性铰链进行内摩擦传递，对动镜进行Z方向上的倾斜调整，用以校正装配误差。为改善成像质量，本发明需要对物镜中镜片进行Z方向上的倾斜调整，以校正装配误差，提高成像质量。
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公开(公告)号：CN102540386A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210026273.4
申请日：2012-02-07
申请人： 中国科学院光电技术研究所
摘要： 本发明提供一种动镜弹性支撑装置，该装置包括：镜片框(1)、第一弹性支架(2K)、第二至第十五弹性支架(3K-16K)、镜片(200)、压圈(300)；镜片框(1)开有一圆孔(500)，并在底座(400)上设计有三个台阶作为对镜片(200)的三个刚性支撑点，分别为第一刚性支撑点(A)、第二刚性支撑点(B)、第三刚性支撑点(C)，每两个刚性支点之间均匀的安放五个弹性支架；以对镜片的重力进行卸载，释缓镜片内部的重力变形，以保证镜片的平面性，提高成像质量。
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