一种光学强度调制元件、结构设计方法及光学整形系统

    公开(公告)号:CN113050290A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202110273446.1

    申请日:2021-03-12

    IPC分类号: G02B27/09

    摘要: 本发明公开了一种光学强度调制元件、结构设计方法及光学整形系统,属于光学显微成像领域,元件包括:不透光掩膜板和透光单元;不透光掩膜板中刻蚀有多个同心环空心结构,透光单元包括多个与同心环空心结构一一对应的同心透光环,每一同心透光环填充在对应同心环空心结构中;多个同心透光环对线光源的强度分布进行调制以得到分段线光源,分段线光源经过多级干涉叠加后汇聚成低旁瓣类贝塞尔光束。这种元件能够降低类贝塞尔光束的旁瓣效应,并能通过调节多个同心透光环的内径和外径,以在光片厚度和瑞利距离满足需求的前提下得到最小旁瓣比例的类贝塞尔光束,提升样本轴向分辨率的同时,减少由于旁瓣效应在样本非焦平面上引起的光漂白与光毒性。

    套刻误差测量装置及其测量方法和优化方法

    公开(公告)号:CN112198763A

    公开(公告)日:2021-01-08

    申请号:CN202011056590.1

    申请日:2020-09-29

    IPC分类号: G03F7/20 G01N21/956 G01B11/00

    摘要: 本发明属于光刻相关技术领域,其公开了一种套刻误差测量装置及其测量方法和优化方法,该装置包括:照明系统;设于照明系统光路上的起偏臂,起偏臂沿光路依次包括起偏器、第一相位延迟器、第二相位延迟器以及第一透镜组;与起偏臂沿待测套刻样件表面的法线对称设置的检偏臂,检偏臂沿光路依次包括第二透镜组、第三相位延迟器、第四相位延迟器以及检偏器;设于检偏臂光路上的探测系统,探测系统将检偏臂解调的光束会聚并将光束发送至数据处理系统,数据处理系统将光束转化为穆勒矩阵,并根据穆勒矩阵获得套刻误差。本申请待测套刻样件的套刻标记周期不受限制、测量速度快、测量结果不受运动器件的干扰,测量准确度高,鲁棒性好,适用范围广。

    一种快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法

    公开(公告)号:CN112179851A

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN202011044645.7

    申请日:2020-09-29

    IPC分类号: G01N21/21 G06F17/12

    摘要: 本发明属于精密光学仪器的系统参数校准相关技术领域,其公开了一种快照式穆勒矩阵椭偏仪器件的方位角误差校准方法,所述方法首先建立包含器件方位角误差的系统模型,然后对模型进行合理约减,通过标准样品获得足够的线性无关的方程组以求解器件方位角误差,并将求解结果拟合为不随波长变动的定值作为最终校准结果,此外,将校准结果代入至系统模型中可以进一步校准待测样品穆勒矩阵。本发明公开的方法能够准确地校准快照式穆勒矩阵椭偏仪各个器件的方位角误差,能够同时适用于透射式与反射式测量配置;同时,所述方法校准出方位角误差后,可以代入至包含方位角误差的系统模型,能够有效提升穆勒矩阵的测量精度。

    一种套刻标记及测量配置的分步优化方法

    公开(公告)号:CN111458984A

    公开(公告)日:2020-07-28

    申请号:CN202010176579.2

    申请日:2020-03-13

    IPC分类号: G03F7/20 H01L21/66 H01L23/544

    摘要: 本发明属于光刻领域,并具体公开了一种套刻标记及测量配置的分步优化方法,包括如下步骤:S1确定待优化变量和多个优化目标,所述待优化变量包括套刻标记形貌参数和测量配置参数;S2根据一个优化目标,结合预设的套刻标记基本参数,对所确定的待优化变量进行优化,并设置终止条件,得到多组优化结果;S3设置另一个优化目标的阈值,并根据该优化目标的阈值对优化结果进行筛选,保留满足条件的优化结果;S4重复S3,直至所有优化目标都已使用,得到最终优化结果,完成套刻标记及测量配置的分步优化。本发明能提供准确度高、重复性测量精度好、鲁棒性好的套刻标记与对应的测量配置,能够满足套刻误差的测量需求。

    一种用于模式复用中的可选择模式激发的能量转换器件

    公开(公告)号:CN107436462B

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201611206847.0

    申请日:2016-12-23

    发明人: 徐竞 刘嘉玲 王鹏

    IPC分类号: G02B6/293

    摘要: 本发明公开了一种用于模式复用中可选择模式激发的能量转换器件,包括:一个多模波导端和一个单模波导端;多模波导端与一个多模光波导对接,它是由N个单元波导排列形成的复合波导;单模波导端与M个单模光波导对接,它是由N个单元波导中的若干单元波导排列形成的M个复合波导组,各组单元波导数总和等于N。本发明具有紧凑的外形和完善的功能,而且生产起来也十分方便。它能实现光在经能量转换器件在单模光波导和多模光波导低损耗传输过程中模式的复用与解复用。同时,由于各组合的单元波导之间的数量、排列方式或者间距有差异,所以能进行模式选择,包括选择传播常数相近的同一模式组内某个特定的模式。