一种薄壁球壳类微小构件全表面微坑结构的加工装置

    公开(公告)号:CN113695646A

    公开(公告)日:2021-11-26

    申请号:CN202111063285.X

    申请日:2021-09-10

    Abstract: 本发明公开了一种薄壁球壳类微小构件全表面微坑结构的加工装置,涉及微小构件表面加工装置的技术领域,解决了在微空间尺度约束下,薄壁球壳类微小构件特殊的结构特征、材质非均匀、表面非对称、细微表面缺陷及加工过程中流体力学不稳定性等问题,本发明中,基座采用花岗岩材料,可以很好的吸收振动,采用高精度的直线单元和旋转单元作为该装置的主要运动部件,将工件装夹系统、高分辨率CCD监测系统、零点定位系统及调头二次装夹快换系统集中安装到基座上,结构设计紧凑,可有效解决薄壁球壳类微小构件的装夹、调头、对刀及微坑结构的捕捉识别等技术难题,工件的回转运动采用空气静压工件轴,且铣削轴倾斜放置,可达到较高的加工速度及加工精度。

    大口径KDP晶体元件表面激光损伤的微铣削修复工艺方法

    公开(公告)号:CN108705692B

    公开(公告)日:2020-06-30

    申请号:CN201810520541.5

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 大口径KDP晶体元件表面激光损伤的微铣削修复工艺方法,属于光学材料与光学元件修复加工技术领域。为了解决软脆KDP晶体元件表面激光损伤点修复时修复轮廓单一、修复表面质量差、效率低等问题。根据修复轮廓的控制方程建立修复点的几何模型;选取加工刀具;创建粗加工修复工序;创建精加工修复工序;将由刀路轨迹计算获得的刀路源文件转换为通用的数控加工NC代码,将NC代码转换为修复机床控制器可识别的加工程序文件;利用粗、精加工NC代码在KDP晶体修复机床上进行精密微铣削修复实验,实现不同激光修复轮廓的高效、高质量加工。能延缓晶体元件表面激光损伤点的增长行为,提高晶体元件抗激光损伤能力并延缓其使用寿命。

    一种考虑光增强效应的光学晶体表面微缺陷修复方法

    公开(公告)号:CN108687977B

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201810517278.4

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 一种考虑光增强效应的光学晶体表面微缺陷修复方法,涉及一种光学晶体表面微缺陷修复方法。本发明为了解决目前还未实现光学晶体表面微缺陷精密微铣削修复工艺定型的问题。本发明首先采用显微镜对光学晶体表面缺陷点形貌和尺寸进行检测,获得表面待修复缺陷点的横向尺寸和纵向尺寸;通过对比待修复缺陷点的横向尺寸与数控轨迹加工可修复临界尺寸的大小决定微缺陷修复方式;然后基于电磁场理论,建立修复结构诱导光增强的仿真模型,对比分析不同形状和尺寸的修复结构所引起光增强大小,选取光增强最小的修复形状和尺寸规划出最优修复结构;根据已规划的最优修复结构,微铣削加工出相应的修复结构。本发明适用于光学晶体表面微缺陷修复。

    一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法

    公开(公告)号:CN109396507A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201811273949.3

    申请日:2018-10-30

    Abstract: 本发明涉及一种应用于折叠波导慢波结构的微铣削制备工艺方法,利用夹具对弥散无氧铜样件进行装夹;采用铣刀去除材料表面的氧化皮;将超精密微铣削用的微铣刀安装在主轴的刀具夹紧机构中,通过在位检测装置实时检测刀具安装状态并根据需求进行调整;采用CCD对刀系统对工件进行Z向对刀,并在工件上设置一个专门的对刀点,避免换刀之后由于存在对刀点偏差;划分加工阶段并规划微铣刀的走刀轨迹,实现大深宽比、薄壁复杂慢波结构的整体加工;最后利用辅助工艺去除残留毛刺。本发明实现了一种多周期、大深宽比、薄壁复杂慢波结构件的超精密微铣削加工,加工后的尺寸精度优于±2μm,表面粗糙度Ra优于60nm。

    大口径精密光学晶体表面微缺陷修复用自动对刀工艺方法

    公开(公告)号:CN108705689A

    公开(公告)日:2018-10-26

    申请号:CN201810520556.1

    申请日:2018-05-25

    Abstract: 大口径精密光学晶体表面微缺陷修复用自动对刀工艺方法,属于精密光学加工领域。本发明是为了解决大口径KDP晶体元件表面微缺陷修复时人工对刀效率低、重复精度差等问题。根据捕捉的刀具及其倒影的轮廓信息,确定每帧图像中刀具与倒影的像素距离;对显微镜采集到的图像尺寸比例进行标定,确定刀具距晶体对刀表面的视觉距离;计算“投影法”对刀过程中视觉差引起的刀具与倒影间距离误差,估算刀具与晶体对刀表面的实际距离;确定最终对刀阶段的时机以保证对刀精准性。根据刀具与晶体的相对位置设计刀具在不同位置处的进给速度、步长参数,建立对刀程序实现刀具从零点到对刀完成的全自动化过程,节省晶体修复时间。

    具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台

    公开(公告)号:CN105759389B

    公开(公告)日:2018-01-30

    申请号:CN201610231486.9

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 具有平衡装置的大负载单端驱动移动平台,涉及一种大负载单端驱动移动平台。解决了现有单侧驱动易造成机构偏载,上升和下降过程中机构形变不同,影响设备的运行精度或安装过程中误差过大,会导致元件卡死在两侧导轨之间,造成设备损坏的问题。本发明的两个气缸结构的浮动接头的下端固定在承载框体的下边框的上表面,且浮动接头的上端与低摩擦力气缸杆螺纹连接,低摩擦力气缸杆在低摩擦力气缸体内做活塞运动,低摩擦力气缸体顶端穿过龙门横板与双耳环座固定链接,双耳环结构安装在龙门肋板上,双耳环结构(11)与双耳环座(12)之间通过气缸铰链轴铰接,实现相对旋转。本发明适用于作为单端驱动形成装置使用。

    大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置

    公开(公告)号:CN105834636B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201610231493.9

    申请日:2016-04-14

    Abstract: 大口径曲面光学元件表面微缺陷修复用快速装夹随行夹具装置,涉及一种随行夹具。解决了现有光学元件随行夹具装置存在夹持不稳定、易划伤光学元件且夹持过程耗时的问题。本发明的夹具框体为矩形框架,夹具框体的底边框的下表面设有两个定位球头,且两个定位球头以夹具框体竖直方向的中线为对称轴对称设置,夹具框体的前侧设置有两个前挡板,且固定在夹具框体的底边框上,夹具框体的左右两个边框上分别设置有一个侧面顶柱,两个侧面顶柱均固定在夹具框体的后侧,夹具框的左右两个边框上的外侧分别设有一个球窝件,夹具框体的上边框上固定有上顶柱,底部定位夹持件的一端夹持在夹具框体下边框上。本发明适用于作为随行夹具使用。

    具有砂轮修整和磨削加工的两工位加工装置

    公开(公告)号:CN106965090A

    公开(公告)日:2017-07-21

    申请号:CN201710186958.8

    申请日:2017-03-24

    CPC classification number: B24B53/065 B24B27/00 B24B49/12

    Abstract: 具有砂轮修整和磨削加工的两工位加工装置,属于超精密加工技术领域。解决了对小尺寸球头砂轮在安装后存在偏心量和加工过程中细磨粒球头砂轮磨损导致加工质量和面型精度变差的问题。本发明工作台的上表面等间隔开有T型槽,所述T型槽用于通过T型槽螺钉将两个CCD监测装置、电火花修正装置和工件主轴夹持件固定在工作台上;工件主轴过渡板通过定位块定位于工作台上,并通过T型槽螺钉紧固,工件主轴夹持件连接于工件主轴过渡板上,工件主轴安装于工件主轴夹持件的夹持孔内,并通过旋紧螺钉进行夹紧紧固;所述工件主轴的轴心方向与T型槽方向平行;工作台的四周设有工作台防护罩,所述工作台防护罩的内侧设有工件主轴装置防护罩,工件主轴与电火花修整装置之间设有上边缘高度可上下调节的防护风琴罩。本发明适用于砂轮修整和磨削加工使用。

    一种小口径非球面永磁式磁流变抛光加工机床

    公开(公告)号:CN103072047B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201210571678.6

    申请日:2012-12-26

    Abstract: 一种小口径非球面永磁式磁流变抛光加工机床,属于研抛加工技术领域。本发明为了解决利用现有的抛光加工设备在加工工件时无法接触到待加工小口径非球曲面的各个位置,因而不能满足加工零件的形状和尺度精度要求的问题。工作台安装在XY精密移动平台的X轴直线单元上,工作台的边缘与盖板之间设有风琴防护罩,工件主轴通过工件主轴支架安装在工作台上;Z轴直线单元安装在龙门架上,转台通过直角连接架安装在Z轴直线单元上,转台内的转动轴的轴端通过二维精密微调位移台与抛光头主轴支架连接,抛光头主轴支架具有一定倾角使安装在抛光头主轴支架上的抛光头主轴与水平面的夹角为40度至45度。适用于高精度小口径非球面零件的超精密抛光加工。

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