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公开(公告)号：CN115446462B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202211063446.X
申请日：2022-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23K26/352
Abstract: 本发明提供一种基于飞秒激光的光学元件表面微结构两步加工方法，属于工程光学技术领域。为解决现有技术中缺少光学元件表面微小结构的加工方法，而采用飞秒激光对光学元件表面进行微结构加工，往往存在粗糙度较大的问题。本发明方法包括如下步骤：根据微结构加工需求绘制加工轨迹图像，将待加工光学元件装夹在加工平台上并对其进行准确定位；调整激光光路为红外飞秒激光，将所述加工轨迹图像导入加工系统，设置加工参数对光学元件进行飞秒激光加工，得到初始微结构；将加工平台移动到振镜系统下，调整激光光路为紫外飞秒激光，设置加工参数，对初始微结构进行柔性抛光，得到最终微结构。通过本发明方法得到的光学元件表面微结构具有较高的质量。
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公开(公告)号：CN118917183A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410950857.3
申请日：2024-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明一种基于磨削比的半球谐振子表面质量在位预测方法，涉及超精密加工技术领域，为解决现有的半球谐振子表面质量离线测量方法存在检测效率低、测量结果受人为主观因素影响的问题。包括：步骤一、将待加工工件装夹在超精密加工机床上；步骤二、梯度确定多组磨削参数并开展磨削实验，求解磨削比；步骤三、构建磨削比与磨削参数模型，根据磨削参数和磨削比数据对模型进行多元回归，并对模型进行求解；步骤四、对步骤二磨削实验得到的工件表面质量进行检测，根据磨削比对工件表面质量的影响关系，确定任意磨削比下的工件表面质量；步骤五、基于磨削比与磨削参数模型对待分析加工参数下的磨削比进行计算，进一步预测半球谐振子的表面质量。
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公开(公告)号：CN117718801A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311845823.X
申请日：2023-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于白光干涉仪和机床测头的半球谐振子离子束修调对刀装置与方法，属于超精密修调加工技术领域。为了解决传统的离子束定位方法无法实现离子束精确去除半球谐振子既定位置处纳克级别的质量，对离子束相对于半球谐振子的定位精度较低的问题。在半球谐振子超精密修调过程中，利用白光干涉仪和机床测头可以实现离子束修调位置与理论计算质量不平衡位置精确对应；在一定程度上避免了人为主观因素对于超精密修调半球谐振子的影响，同时可以降低人力成本，实现半球谐振子质量一致性；可实现传统离子束无法实现的半球形结构的对刀过程。
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公开(公告)号：CN117387515A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311333942.7
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24 , G06F30/10 , G06F18/10 , G06F17/10 , G06F119/02
Abstract: 本发明提供一种小直径球头砂轮高速旋转下径向轮廓精度在位测量方法及系统，属于超精密加工技术领域，为解决现有在位检测方法建模分析难度大、对测试环境及测试人员要求严苛，测试精度有限的问题。包括：S1、搭建激光位移传感器数据采样系统，确定采集起始位置，在球头砂轮转动状态下，对其径向与激光位移传感器的相对距离数据进行采集；S2、对采样数据中的低频干扰信号进行滤波降噪处理；S3、基于不同配准角下球头砂轮与激光位移传感器的相对距离之差，构建球头砂轮圆周轮廓变化规律模型，采用特殊点代入的方式对球头砂轮径向轮廓精度进行求解。通过本发明方法可实现对砂轮轮廓精度的在位测量，建模方法简单、容易操作，且可达到较高的测量精度。
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公开(公告)号：CN117260400A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311327633.9
申请日：2023-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明一种小直径球头砂轮磨削熔石英回转体零件的干磨削加工方法，涉及超精密加工技术领域，为解决现有磨削方法产生的表面损伤和亚表面损伤，限制了零件磨削加工精度的进一步提高的问题。本发明采用陶瓷基CBN砂轮，运行数控加工程序，砂轮沿着砂轮运动轨迹进行磨削加工，过程中砂轮与工件之间不添加任何磨削液；当砂轮总磨削深度达到预设进给总量，停止砂轮主轴与工件主轴的运转，操作机床使球头砂轮远离工件，完成对工件的超精密磨削。本发明采用耐高温的陶瓷基CBN砂轮进行熔石英回转体零件的干磨削，使砂轮与工件表面的温度升高，提高了熔石英材料的脆塑转变临界磨削深度，获得了光滑无裂纹的表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117140387A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311095818.1
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种定量、全范围测量半球谐振子表面形貌装夹装置及使用方法，属于超精密制造技术领域。为了解决现有半球谐振子装夹装置并不适用于表面质量检测，不能够配合检测进行翻转并暴露全部外表面，影响质量评测的问题。包括用于固定半球谐振子的工件固定模块、用于调整半球谐振子周向角的周向旋转模块、用于使半球谐振子水平方向旋转的平面调节模块和用于调整半球谐振子径向角的径向旋转模块。可实现半球谐振子外球面定量、全范围的表面形貌测量，能够使半球谐振子按照特定角度下的旋转或翻转，使外球面全部暴露在测量视野内，在操作便捷且使用方便的前提下进行精确的角度调整，可完美配合半球谐振子的表面质量测量。
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公开(公告)号：CN117128909A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311112730.6
申请日：2023-08-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B21/04
Abstract: 本发明一种熔石英半球谐振子形位误差检测方法，涉及超精密制造技术领域，为解决现有的技术中缺少高效、准确的熔石英半球谐振子形位误差检测方法的问题。包括如下步骤：S1、根据待测熔石英半球谐振子的结构尺寸对其进行分层处理；S2、将待测熔石英半球谐振子装夹在计量级三坐标机的测量位置，根据对待测熔石英半球谐振子的分层处理结果逐层对其各结构信息进行测量；S3、对待测熔石英半球谐振子各结构测量结果进行分析，计算待测熔石英半球谐振子的形位误差。本发明方法可以准确检测熔石英半球谐振子各特征要素的形位误差，方便快捷，检测效率高；实现了半球谐振子形位误差科学表征。
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公开(公告)号：CN113953905B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202111273795.X
申请日：2021-10-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B24B5/36 , B24B27/02 , B24B41/04 , B24B41/02 , B24B41/06 , B24B47/20 , B24B49/12 , B24B55/02 , G06T7/00 , G06V10/44 , G06T7/62 , G06T17/00
Abstract: 本发明公开了一种基于球头砂轮的变磨削深度和磨削转角的复杂薄壁零件磨削加工工艺方法，涉及复杂薄壁零件磨削加工工艺的技术领域，解决了小型复杂薄壁零件超精密磨削加工过程中，磨削质量与效率难以兼顾、磨削过程易产生干涉的问题，本发明采用小尺寸球头砂轮，能够对工件表面上曲率半径为2～2.5mm处的面型位置进行有效磨削，具有较强的适用性，在不同加工轨迹阶段分别设定C轴转台角度为‑8度、+8度、‑80度，能够防止球头砂轮与工件发生干涉，提高工件在加工过程中的安全性，设定的C轴转台角度，能够使球头砂轮不同位置与工件表面相接触，球头砂轮磨损更加均匀，能够更好地保持球头砂轮的球度，减小因球头砂轮磨损造成的加工误差，保证了磨削的高精度。
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公开(公告)号：CN113909543B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202111332296.3
申请日：2021-11-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23C3/12
Abstract: 本发明提供一种阵列结构加工件工艺毛刺的去除方法，毛坯件经去除材料加工制得所述阵列结构加工件，所述阵列结构加工件包括多个呈阵列布置的子阵列加工件，多个所述子阵列加工件顶面留有所述工艺毛刺，阵列结构加工件工艺毛刺的去除方法包括以下步骤：第一去毛刺工艺，包括沿第一方向对多个所述子阵列加工件的顶面进行平面加工；空走刀去毛刺工艺，包括环绕多个所述子阵列加工件的侧壁进行空走刀加工；第二去毛刺工艺，包括沿所述第一方向的逆向对多个所述子阵列加工件的顶面进行平面加工。本发明去除工艺毛刺加工效率高。
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公开(公告)号：CN113752098B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202111150181.2
申请日：2021-09-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于水浴加热辅助的小球头磁流变抛光方法，它属于研抛加工技术领域，具体涉及一种小球头磁流变抛光方法。本发明的目的是要解决现有小球头磁流变抛光技术加工工件时存在抛光效率较低的问题。方法：一、配置磁流变液；二、将磁流变液倒入搅拌器中；三、装卡被加工工件；四、调整抛光工具头的球心位置；五、编写加工轨迹程序，并导入机床控制软件中，调整将抛光头加工轨迹；六、调整抛光头位置；七、组装磁流变液循环回路；八、将硅胶软管放入恒温水浴锅中；九、设定恒温水浴锅的温度；十、调整恒温水浴锅的设定温度；十一、放置磁流变液挡板，开启抛光工具头主轴和工件主轴；十二、对被加工工件进行抛光。本发明主要用于小球头磁流变抛光。
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