磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法及其制备的靶材

    公开(公告)号:CN113186503A

    公开(公告)日:2021-07-30

    申请号:CN202110611250.9

    申请日:2021-06-02

    发明人: 周昭宇 周志宏

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本发明涉及磁控溅射靶材制备技术领域,特别涉及一种磁控溅射旋转靶材的冷绑定制备方法,以及通过该方法制备的旋转靶材。该冷绑定制备方法将多个弹性簧片分别装在背管外壁的多个卡槽内,弹性簧片凸出于卡槽外,再将靶管套装到装有弹性簧片的背管上,该状态下所述弹性簧片同时弹性抵紧靶管内壁和背管外壁以使靶管稳固地装到背管上。该冷绑定制备方法制成的靶材利用导电导热性良好的弹性簧片通过物理连接的方式将旋转靶材的背管和靶管安装在一起,弹性簧片与两者的接触面积大,旋转靶材整体具有良好的导电传热性能,并且,绑定时无需加热避免灼伤风险。

    一种紫外光固化的通用型金属油墨及其制备方法

    公开(公告)号:CN107011722B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201710412326.9

    申请日:2017-06-02

    摘要: 本发明公开了一种紫外光固化的通用型金属油墨,包含以下质量百分含量的成分:单体5‑8%、光敏树脂40‑50%、光引发剂3‑8%、粉体11‑26%。本发明所述紫外光固化金属油墨用于通用型金属油墨,不仅具有高光泽、优良的流平性、高遮盖率、抗摩擦性、抗刮性、抗多种化学品等性能,而且还具备UV快速固化、无VOC排放、不含挥发性有机溶剂、无刺激、无臭味、可耐各种溶剂擦洗、附着力好、不断层等特点,可广泛使用于阳极氧化铝材、不锈钢、白铜、铁板等金属基材。同时,本发明还公开了一种紫外光固化的通用型金属油墨的制备方法。

    一种紫外光固化的塑料油墨及其制备方法

    公开(公告)号:CN107227069A

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201710530038.3

    申请日:2017-06-29

    摘要: 本发明公开了一种紫外光固化的塑料油墨,包含以下质量百分含量的成分:单体10‑15%、光敏树脂30‑50%、光引发剂3‑8%、粉体30‑44%;所述单体为乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯的混合物,所述光引发剂为二苯甲酮和异丙基硫杂蒽酮的混合物。本发明所述紫外光固化的塑料油墨,具有快速固化、附着力佳、不断层特点;底材适应性强,与印刷中常用的塑料如PP、PE、PVC、PMMA、PC、PS、PET、ABS等塑胶有着良好的附着力,连续印刷无漏空、叠印、套印等多种方式,特别适合在化妆品行业的塑料基材上,附着力极佳。同时,本发明还公开一种所述紫外光固化的塑料油墨的制备方法。

    一种紫外光固化的通用型金属油墨及其制备方法

    公开(公告)号:CN107011722A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710412326.9

    申请日:2017-06-02

    摘要: 本发明公开了一种紫外光固化的通用型金属油墨,包含以下质量百分含量的成分:单体5‑8%、光敏树脂40‑50%、光引发剂3‑8%、粉体11‑26%。本发明所述紫外光固化金属油墨用于通用型金属油墨,不仅具有高光泽、优良的流平性、高遮盖率、抗摩擦性、抗刮性、抗多种化学品等性能,而且还具备UV快速固化、无VOC排放、不含挥发性有机溶剂、无刺激、无臭味、可耐各种溶剂擦洗、附着力好、不断层等特点,可广泛使用于阳极氧化铝材、不锈钢、白铜、铁板等金属基材。同时,本发明还公开了一种紫外光固化的通用型金属油墨的制备方法。

    一种氧化锌锡靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN118561591B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202411045970.3

    申请日:2024-08-01

    摘要: 本发明属于半导体材料技术领域,本发明具体公开了一种氧化锌锡靶材及其制备方法,本发明首先将氧化锌、氧化锡、锌粉、锡粉混合均匀,在混合粉体中加入锌粉和锡粉,能够起到活化作用,有效的提高混合粉体的活性,提高整体的稳定性,促进晶粒更加细化,提高粉体的致密性;本发明分别将氧化锌晶须、石墨烯通过溶液的形式引入到混合粉体中,十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、羧甲基纤维素以及硫酸和磷酸能够更进一步提高体系的活性,提高混合粉体的可塑性,有效的抑制晶粒长大,促进形成更加致密和尺寸均匀的结构,降低孔隙率,提高载流子的迁移率,提升导电速度和效率,有效的提高靶材的导电性能。

    一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118184311B

    公开(公告)日:2024-08-13

    申请号:CN202410605416.X

    申请日:2024-05-16

    摘要: 本发明提供了一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用,包括以下步骤:(1)Ga2O3、ZnO、In2O3、氧化镧、氧化铈、氧化钕按原子比In:Ga:Zn:La:Ce:Nd=1:1:1:0.02:0.03:0.05混合,得到混合粉体;(2)将混合粉体、分散剂、粘结剂、消泡剂和去离子水加入球磨机中,球磨、喷雾干燥,得到造粒粉;(3)将造粒粉采用模压‑等静压成型方式,得到IGZO靶材素坯;(4)将IGZO靶材素坯进行烧结;(5)将炉内的温度降至900‑950℃后,随炉冷却,停止通入氧气,最后室温出炉,得到IGZO靶材。本发明制得的IGZO靶材透光率高,电学性能好,具有极高的市场价值。

    一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN118184311A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410605416.X

    申请日:2024-05-16

    摘要: 本发明提供了一种IGZO靶材的烧结制备方法及其应用,包括以下步骤:(1)Ga2O3、ZnO、In2O3、氧化镧、氧化铈、氧化钕按原子比In:Ga:Zn:La:Ce:Nd=1:1:1:0.02:0.03:0.05混合,得到混合粉体;(2)将混合粉体、分散剂、粘结剂、消泡剂和去离子水加入球磨机中,球磨、喷雾干燥,得到造粒粉;(3)将造粒粉采用模压‑等静压成型方式,得到IGZO靶材素坯;(4)将IGZO靶材素坯进行烧结;(5)将炉内的温度降至900‑950℃后,随炉冷却,停止通入氧气,最后室温出炉,得到IGZO靶材。本发明制得的IGZO靶材透光率高,电学性能好,具有极高的市场价值。

    一种具有高透明性的ITO靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN117902880A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202410309499.8

    申请日:2024-03-19

    摘要: 本发明涉及ITO靶材技术领域,具体公开了一种具有高透明性的ITO靶材,所述ITO靶材为氧化铟:氧化锡按照重量比99:1配比制成。本发明ITO靶材采用氧化铟、氧化锡配制制成,通过改性液超声改性浸润处理,改性液中的柠檬酸钠溶液、硅烷偶联剂、硝酸钇溶液和改性羟基磷灰石相互调配,共同优化靶材基体,同时采用的羟基磷灰石经过纳米硅溶胶、硬脂酸和硝酸镧溶液、纳米二氧化钛等原料共同球磨改进,从而得到的改性羟基磷灰石配合得到的改性液改进的靶材能够实现产品的透光性能、导电性的协调改进。

    一种用于太阳能电池行业的FTO靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN117125974A

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202311394278.7

    申请日:2023-10-26

    摘要: 本发明公开了一种用于太阳能电池行业的FTO靶材的制备方法,包括以下步骤:S1、以氧化锡粉(SnO2)和氟化锡粉(SnF4)为原料,制备复合粉体;S2、以S1中复合粉体进行成型烧结,得到FTO靶材。本发明FTO靶材制备以氧化锡粉(SnO2)和氟化锡粉(SnF4)为原料经过S1中制备复合粉体具体步骤、以及S2中具体制备靶材的步骤形成的FTO靶材具有导电性和透光性相互协调改进,通过氧化锡粉中加入的石墨烯调节剂协调配合步骤c中二次煅烧后还浸入改性处理,通过二者协调改进,共同协效,产品的导电性和透光性的性能协调性进一步的改进。

    一种电控变色玻璃用靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN114807876B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202210445945.9

    申请日:2022-04-26

    摘要: 本发明公开了一种电控变色玻璃用靶材,包括以下重量份的原料:90‑100份钨、1‑2份Mo、1‑1.5份Nb、0.5‑1.5份Ti、0.2‑0.8份Ta和稀土变性剂0.1‑0.3份。本发明靶材采用钨粉、Mo、Nb、Ti、Ta原料制成,经过配比制备的变色玻璃,变色均匀性好,变色时间快,通过加入的稀土变性剂,采用稀土镧、硅粉和B粉配合而成,稀土镧具有优异的活性能,提高原料的反应程度,而硅粉在反应中可提高产品原料的流动度,从而促进产品的反应效果,同时经过He离子辐照处理,然后预热改性处理,能够细化晶粒,从而提高稀土变性剂的原料在靶材中的均匀性。