密封装置及密封方法
    41.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100514707C

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200680001328.9

    申请日:2006-06-12

    Inventor: 根岸敏夫

    CPC classification number: H01L51/5246 H01L51/56

    Abstract: 本发明提供一种使用紫外线固化树脂进行密封时,可在短时间使树脂固化以抑制热对密封对象部分造成影响的密封装置及密封方法。本发明的密封装置包括:可导入氮气的对准贴合室(3);和具有UV照射灯(30)的UV照射室(4)。在对准贴合室(3)内,将密封用玻璃基板(7)和基板(9)载置于搬送机构(15)上,使用紫外线固化型密封用树脂(7a)进行加压贴合。然后,利用搬送机构(15)将有机电致发光面板(40)从对准贴合室(3)搬出,使之移动至UV照射室(4)进行密封用树脂(7a)的固化。

    有机蒸镀材料用蒸镀装置、有机薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN101356296A

    公开(公告)日:2009-01-28

    申请号:CN200780001375.8

    申请日:2007-05-11

    Inventor: 根岸敏夫

    CPC classification number: C23C14/12 C23C14/246 C23C14/56 H01L51/0002 H01L51/56

    Abstract: 本发明提供一种不会发生有机蒸镀材料的组成变化、分解、变质的蒸镀装置。在输送装置(30a、30b)上载置一张基板量的有机蒸镀材料,将其搬入到预先加热的蒸镀容器(12)内。由于有机蒸镀材料按每个基板而少量地被加热,放出有机材料蒸汽而用尽,所以,缩短了被加热的时间,不会发生基于水分的分解与变质。即使混合有不同的有机化合物,混合组成也不会变化,因此,可以预先将混合有母材和发色剂的有机蒸镀材料贮留在贮留槽(34a、34b)中,然后配置到输送装置(30a、30b)。

    成膜装置、薄膜的制造装置及成膜方法

    公开(公告)号:CN101068949A

    公开(公告)日:2007-11-07

    申请号:CN200680001338.2

    申请日:2006-06-08

    Inventor: 根岸敏夫

    CPC classification number: H01L21/67161 C23C14/12 H01L21/67751

    Abstract: 在短时间内实现多个膜的层叠。本发明的成膜装置(5R、5G、5B)具有移动室(45)和转台(51),在转台(51)的窗部(52)上搭载有载置基板(9)的载置板(61)。使转台(51)旋转而移动窗部(52)时,载置板(61)在搭载基板(9)情况下与窗部(52)一起移动。使转台(51)旋转既定角度,从搬入场所(56a)输送新的基板(9),将成膜处理后的基板(9)输送至其他成膜场所(57),使空的载置板(61)从搬出场所(56b)暂时返回至搬入场所(56a),因此可缩短将基板(9)搬送至各场所(56a、56b、57)的时间或载置板(61)返回的时间。

    有机EL元件以及有机EL元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1898994A

    公开(公告)日:2007-01-17

    申请号:CN200580001295.3

    申请日:2005-05-11

    Inventor: 根岸敏夫

    CPC classification number: H01L51/0003 H01L51/5088

    Abstract: 提供一种发光效率高的有机EL元件。本发明的有机EL元件(1)具有在透明电极膜(12)上由氧化钛构成的无机材料膜(14),由于无机材料膜(14)对水那样的溶剂的亲和性比透明电极膜(12)高,因此,当将空穴输送物质那样的第1有机材料溶解在溶剂中而成的第1有机材料涂布在无机材料膜(14)的表面上时,第1有机材料能够在无机材料膜(14)的表面散开,形成厚度均匀的第1有机层(21)。由于第1有机层(21)的表面平坦,因而在将第2有机材料涂布在第1有机层(21)上时,可形成厚度均匀的第2有机层(22)。如上所述,本发明的有机EL元件(1),其构成有机膜(20)的第1~第3有机层(21~23)的厚度均匀,因此,在使具有发光物质的有机层(22)发光时,可使其发光量均匀,发光效率高。

    溅射装置
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1528946A

    公开(公告)日:2004-09-15

    申请号:CN200410007812.5

    申请日:2000-01-11

    Abstract: 本发明提供具有高耐久性、光催化功能的氧化钛薄膜。在屏障薄膜12表面上以点状使氧化钛薄膜31存在,在其间形成亲水性薄膜41,进而构成功能性薄膜3。在其表面上因混杂着氧化钛薄膜露出的部分和亲水性薄膜露出的部分,所以可获得两种薄膜的功能。在紫外线照射环境下具有自清洗效果和超亲水性,即使暗处,也有某种程度的亲水性。用加氧气的溅射气体使氧化钛靶子进行溅射,因能补充形成氧化钛薄膜中的缺损氧,故能形成有光催化功能的氧化钛薄膜31。

    功能性薄膜、功能性基板、及氧化钛薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN1165366C

    公开(公告)日:2004-09-08

    申请号:CN00101041.7

    申请日:2000-01-11

    Abstract: 本发明提供具有高耐久性、光催化功能的氧化钛薄膜。在屏障薄膜12表面上以点状使氧化钛薄膜31存在,在其间形成亲水性薄膜41,进而构成功能性薄膜3。在其表面上因混杂着氧化钛薄膜露出的部分和亲水性薄膜露出的部分,所以可获得两种薄膜的功能。在紫外线照射环境下具有自清洗效果和超亲水性,即使暗处,也有某种程度的亲水性。用加氧气的溅射气体使氧化钛靶子进行溅射,因能补充形成氧化钛薄膜中的缺损氧,故能形成有光催化功能的氧化钛薄膜31。

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