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公开(公告)号：CN101952914A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200980105663.7
申请日：2009-02-18
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 本发明提供了一种永久磁体的制造方法，该方法适合于大批量、低成本地制造具有有效提高或恢复矫顽力等磁性能，并且具有耐蚀性和耐候性的永久磁体。将铁-硼-稀土类的烧结磁体和含Dy、Tb中的至少一种的金属蒸发材料设置在处理室内，进行加热蒸发，在金属蒸发材料蒸发过程中向设置了烧结磁体的处理室内导入惰性气体，控制惰性气体的分压从而调节蒸发的金属原子向烧结磁体表面的供给量，使金属原子附着，在形成由附着的金属原子构成的薄膜之前，使金属原子扩散到烧结磁体的晶界和/或晶界相中。接下来，向设置烧结磁体的处理室内导入冷却气体，在冷却处理室的过程中向处理室内导入反应气体，由反应膜覆盖烧结磁体表面，并成为固定状态。
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公开(公告)号：CN101842862A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200880114024.2
申请日：2008-10-28
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01F7/02 , B22F3/003 , B22F3/1007 , B22F2003/1046 , F27B5/04 , F27B5/06 , F27D5/0006 , H01F41/0293 , Y10T428/12028
Abstract: 本发明提供一种永久磁铁的制造方法，在将含有Dy和Tb中的至少一种的金属蒸发材料v和烧结磁铁S放置到处理箱内，将该处理箱设置到真空室内之后，在真空气氛下将该处理箱加热到规定的温度，使金属蒸发材料蒸发附着到烧结磁铁上，使该附着的Dy、Tb金属原子扩散到该烧结磁铁的晶界和/或晶界相中，得到高性能磁铁的情况下，即使邻近设置烧结磁铁和金属蒸发材料，也不会破坏退磁曲线的矩形性，能够实现高生产率。在金属蒸发材料蒸发期间，向设置了烧结磁铁的处理室(70)内导入惰性气体。
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公开(公告)号：CN101660127A
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200910170392.5
申请日：2006-03-14
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/16 , C23C14/243 , C23C14/541 , H01F1/0571 , H01F10/126 , H01F41/0293 , H01F41/20
Abstract: 本发明涉及成膜方法和成膜装置以及永磁铁和永磁铁的制造方法，提供一种真空处理装置，具有：处理室，其可真空排气；加热手段，其加热所述处理室内；保持手段，其在所述处理室内分别保持散块体金属蒸发材料和被处理物；在所述处理室的减压状态下使所述加热手段动作，将处理室加热到至少使金属蒸发材料蒸发的温度在处理室内形成金属蒸汽气氛，所述蒸汽气氛中的金属原子附着到被加热的被处理物表面。所述金属蒸发材料至少包含Dy、Tb中的一种，所述被处理物为具有规定形状的铁-硼-稀土系烧结磁铁，可控制该烧结磁铁的加热温度使所述烧结磁铁表面附着的金属原子扩散到其晶界中。保持所述烧结磁铁及金属蒸发材料的保持部件由不与Dy或Tb反应的材料构成。
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公开(公告)号：CN101506919A
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200780031287.2
申请日：2007-08-22
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C22C38/005 , C22C38/06 , C22C38/12 , C22C38/14 , H01F1/0577 , H01F41/0293
Abstract: 提供一种永磁铁的制造方法，其不会使Nd－Fe－B系的烧结磁铁表面恶化，可通过使Dy高效扩散到晶界相中，有效提高磁化及顽磁力，不需要后续工序。在处理室20内把Nd－Fe－B系的烧结磁铁S和Dy隔一定距离配置。接着，在减压下把处理室20加热，使烧结磁铁升温到规定温度的同时使Dy蒸发，把蒸发的Dy原子提供到烧结磁铁表面并使之附着。此时，通过控制Dy原子对烧结磁铁的供给量，在烧结磁铁表面上形成Dy层之前，使Dy均匀地扩散到烧结磁铁的晶界相之中。
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