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公开(公告)号：CN210142639U
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201921108927.1
申请日：2019-07-16
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，特别涉及一种抽真空加压无气泡贴合半导体晶片和陶瓷盘的装置。包括由上罩壳和下罩壳组成的密闭腔体；下罩壳与固定板固连，下罩壳还与外接的真空泵相连；上罩壳与摆臂相连，摆臂通过设于固定板上的铰链与真空室气缸连接，上罩壳上设有真空传感器；下罩壳内中心设有晶片支撑架，晶片支撑架顶面上设有晶片支撑板，晶片支撑架底部中央设有轴承座；轴承装设于轴承座内，轴承座与晶片支撑架顶面间还设有一弹簧；气缸与上罩壳顶部相连，气缸活塞杆穿过罩壳与压板相连。本实用新型获得的半导体晶片拥有更好的合格率，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN209981169U
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201920932521.9
申请日：2019-06-20
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： H01L21/463
摘要： 本实用新型是关于淬硬性材料研磨设备领域，具体涉及一种淬硬性材料研磨机抛头的防落锁装置。包括止动垫块,升降伸缩气缸固设于止动垫块上端面上；两块防落锁垫块固定于止动垫块下端面上；止动垫块下方设有横置的伸缩气缸，伸缩杆穿过防落锁垫块与浮动接头连接；防落锁支撑螺杆沿竖向设于防落锁垫块外侧的止动垫块下端面上，防落锁支撑螺杆底部设有防落锁安装座，内沿横向设有伸缩气缸防落锁轴；浮动接头与伸缩气缸防落锁轴通过T6垫片连接。本实用新型在抛头抬升固定时做了机械上的硬限位；也可以保证抛头需要抬升固定时，即使气泵停止工作，伸缩气缸下端口不进气，抛头也不会迅速掉落，砸坏陶瓷盘或伤及工作人员。
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公开(公告)号：CN209839091U
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201920113154.X
申请日：2019-01-23
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： F16H37/06 , F16H57/039
摘要： 本实用新型属于半导体电子元器件平面加工设备技术领域，特别涉及一种用于精密双面研磨机的蜗轮蜗杆传动机构。包括减速箱；减速箱设于底板上，蜗轮蜗杆机构设于减速箱内；主驱动系统有三组；均包括驱动电机，驱动电机均布于减速箱四周的底板上,驱动电机上连有主皮带轮；三个从动皮带轮交错设于减速箱内，主皮带轮与从动皮带轮通过皮带连接，每个从动皮带轮均通过键连接蜗杆的尾端；轴系传动系统包括三根同心的主轴和三组传动轴承；三根主轴均沿竖向设置且下部通过轴承固设于减速箱内，顶端通过螺钉分别装配有下盘、拨轮与太阳轮，底部的输入端分别与三个蜗轮相连。本实用新型结构紧凑、占用空间小，传动精度高，运行平稳。
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公开(公告)号：CN209408213U
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201822158377.6
申请日：2018-12-21
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B24B37/005 , B24B37/34
摘要： 本实用新型涉及研磨/抛光机的结构领域，具体涉及一种精密双面研磨机上定盘调心机构。包括上定盘、气缸与十字铰链；十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，称重传感器可采用常见市售产品。上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。本实用新型装置可以承受轴向载荷、径向载荷和轴向与径向同时存在的联合负载，从而实现上定盘的调心能力和受力均匀，保证了上定盘与下定盘工作面柔性连接，从而使两工作面完全贴合，进而保证加工工件的平面度与平行度要求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN209007337U
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201821552224.3
申请日：2018-09-21
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及晶棒外圆滚磨领域，旨在提供一种外置式的晶棒自动夹持机构。该机构包括包括机械手组件、机械手安装座、自动复位装置与驱动组件。机械手安装座前侧设有机械手安装框架，机械手组件设于机械手安装框架前侧，驱动组件设于机械手安装框架内，用于驱动机械手组件，自动复位装置设于机械手安装框架顶端，用于实现机械手组件的自动复位。本产品实现了在设备外部自动夹持晶棒的功能，使用本实用新型能够实现晶棒的自动上、下料及自动对中。有效的减少了人工操作，同时保证了装夹精度，从而可有效控制加工余量，减少晶棒损耗，提高加工效率。通过各类机械传动结构相连并与电机驱动，结构稳定，动作简单，夹持快速可靠。
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公开(公告)号：CN206416348U
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201720007000.3
申请日：2017-01-04
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B28D7/00
摘要： 本实用新型涉及金刚线切片机储线辅助设备，旨在提供一种用于金刚线切片机的多线锯绝缘储线装置。该种用于金刚线切片机的多线锯绝缘储线装置包括储线轮、箱体、电机、绝缘联轴器、轴承座大绝缘片、轴承座小绝缘片、螺钉绝缘片、螺钉绝缘套、支撑板、旋转主轴、轴承座、轴承、内外隔套、轴承端盖、轴承座绝缘环、防尘板、螺钉，通过在传动轴和箱体之间安装绝缘片和绝缘环的方式将储线轮和箱体绝缘。本实用新型结构精巧简单，运转可靠，实现了储线轮和箱体的电信号完全隔绝，实现了在储线轮工作过程中电信号的不衰减，进而使电气式的储线轮断线检测机构可以准确检测到金刚线的断线情况，提高生产的良品率和生产效率。
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公开(公告)号：CN206277528U
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201621213129.1
申请日：2016-11-10
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及硅切片加工，旨在提供一种多线锯滑轮横移装置。该种多线锯滑轮横移装置包括直线模组、联轴器、电机、滑块、线偏安装块A、线偏安装块B、线偏检测绝缘安装板、线偏检测杆安装块A、线偏检测杆安装块B、线偏检测杆、旋转轴组件、配重块安装板、配重块、导轮安装板、导线轮组件。本实用新型在工作状态时，能及时有效地检测到金刚线所在的位置是否偏离正确的排线位置，并及时的根据金刚线偏离的位置进行调整，同时配重块调整更加方便简单。
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公开(公告)号：CN211467027U
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201921505948.7
申请日：2019-09-11
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，尤其涉及一种用于硅棒切割设备的自动上下料装置。包括机架，机架设于切片机本体上方，切片机本体前侧设有第二定位块和感应片；机架上端面设有导轨座组件，切片机本体旁侧的机架内设有上下料平台；水平移动组件包括竖向的水平安装座，水平安装座背侧与导轨座组件相连，竖直升降单元包括连接座，连接座背侧与水平移动组件相连，连接座前侧设有第一定位块与激光传感器。本实用新型实现了设备的自动化，取代人工上下料，节约人工成本的同时提高了生产效率和安全性。
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公开(公告)号：CN210081357U
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201920556407.0
申请日：2019-04-23
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及一种减薄机，特别是涉及一种用于硬脆性材料减薄机的边缘导轮装置。包括安装座、旋转臂和气缸；气缸设于安装座下方，气缸为竖向移动气缸，气缸连杆穿出安装座；安装座上端面滑动设有滑动块，滑动块上端面上设有悬臂安装块；横置的旋转臂中部与气缸连杆相连，一侧端部与悬臂安装块相连，另一侧端部连接竖向的导向转轴；导向转轴下部通过轴承与轴承座相连，轴承座装设于导向轮内，导向轮上方的导向转轴上设有压盖。本实用新型该结构稳定可靠，适应能力强，可自动化程度高，适合于硬脆性材料减薄设备的连续运行，尤其是自动化产线。
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公开(公告)号：CN209533886U
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201821417156.X
申请日：2018-08-31
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本实用新型涉及硬脆材料的切割技术，旨在提供一种金刚线切片机用储线轮及储线结构。金刚线切片机用储线轮包括用于绕线的储线轮本体；该储线轮本体的外形呈圆柱体，其两端不设置高于径向表面的凸缘；在储线轮本体的中轴线上设置用于装入轴的贯通孔，或者在储线轮本体的两侧端面上分别设置用于装入轴的沉孔，沉孔与中轴线是重合的；储线轮的内部中空，其半剖面呈台阶对称。储线轮上金刚线分层排布，不需要设置两侧的凸缘(或挡板)，金刚线纺锤外形就可以自行稳定，不会滑落，减少金刚线上的相互磨损。可以使用直径较大的储线轮，储存较大线量；储线轮两端通过压紧安装，装拆简单，可以方便拆换。储线轮内部中空，壁厚小，能减轻重量。
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