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公开(公告)号：CN106827270B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201710121316.X
申请日：2017-03-02
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及断线检测装置，旨在提供一种多线锯机械式断线检测装置。该种多线锯机械式断线检测装置包括左侧机构和右侧机构，左侧机构和右侧机构分别安装在多线锯主辊一侧的两端，并保证系在左侧机构和右侧机构上的用于断线检测的检测线与主辊轴平行，能利用检测线对多线锯的线网断线进行检测。本发明的多线锯机械式断线检测装置结构简单、检测速度快、准确率高，不会减损切割线的寿命，商业前景看好。
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公开(公告)号：CN109623629B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201811548732.9
申请日：2018-12-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及硬脆材料加工领域，具体涉及一种用于硬质材料自动化抛光生产线。包括抛光机组件；抛光机组件包括多台抛光机，彼此有一定间距且“一”字排列，每台抛光机上放置多个陶瓷盘，每两台抛光机之间通过一个机械手相连；在第一台抛光机之前和最后一台抛光机之后各增设一个机械手，用于上料和下料；抛光液组件包括冷水机及抛光液桶，冷水机连接两道管路，其中一管路与抛光盘的水道相连，另一管路连接抛光液桶，抛光液桶还通过磁力泵连接中心轮组件。本发明结构紧凑，简单实用。保证了抛光布与硅片外圆表面在相对运动时始终处于相切状态，从而使硅片参考面各部位的抛光程度均匀一致，不会出现不规则划伤，能够有效地提高硅片外圆表面的抛光质量。
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公开(公告)号：CN109623629A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811548732.9
申请日：2018-12-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及硬脆材料加工领域，具体涉及一种用于硬质材料自动化抛光生产线。包括抛光机组件；抛光机组件包括多台抛光机，彼此有一定间距且“一”字排列，每台抛光机上放置多个陶瓷盘，每两台抛光机之间通过一个机械手相连；在第一台抛光机之前和最后一台抛光机之后各增设一个机械手，用于上料和下料；抛光液组件包括冷水机及抛光液桶，冷水机连接两道管路，其中一管路与抛光盘的水道相连，另一管路连接抛光液桶，抛光液桶还通过磁力泵连接中心轮组件。本发明结构紧凑，简单实用。保证了抛光布与硅片外圆表面在相对运动时始终处于相切状态，从而使硅片参考面各部位的抛光程度均匀一致，不会出现不规则划伤，能够有效地提高硅片外圆表面的抛光质量。
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公开(公告)号：CN110328703B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201910499370.7
申请日：2019-06-11
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及带锯截断切片领域，具体涉及一种带锯截断机切断薄片的支撑装置和支撑方法。支撑装置包括主体、气缸、夹紧装置与动作轴；主体后端开有开口，开口内沿竖向设有后支撑板，主体内沿横向设有多个平行的通路，各个通路内设有动作轴；动作轴前端伸出主体并连接橡胶吸盘，后端与后支撑板相连，中部设有夹紧装置；主体前端与气缸相连，气缸伸缩轴与后支撑板相连。本发明还提供了一种利用上述装置的支撑方法。本发明在切割薄片时，既能够对切割薄片做有效的支撑，同时，又不对薄片加力，避免薄片的崩边和破损。
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公开(公告)号：CN110328606A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910569110.2
申请日：2019-06-27
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 一种全自动一体式单片单面研磨减薄设备。本发明涉及硬脆性材料的研磨抛光技术领域，特别涉及一种全自动单片单面研磨抛光装置。包括SIC陶瓷载盘，贴蜡模块包括加热机构和贴片机构，贴片机构包括密闭腔体，腔体内部设有支撑平台，顶部设有通过贴片加压气缸驱动的压板，腔体底部与真空泵相连；研磨抛光模块包括旋转工作台，旋转工作台上铺设抛光布；旋转工作台上方设有抛头，抛头连接抛头悬臂并通过抛头加压气缸驱动，抛头悬臂与抛头主轴相连，贴蜡模块中央有个旋转机械手。贴蜡模块和研磨抛光模块间设有直线传输机械手。本发明装置可以实现硬脆性材料研磨抛光后的片片一致性，提升硬脆性材料表面平坦度。保证硬脆性材料不研磨抛光的那侧表面不受损伤。大大降低人工成本，缩小设备占地面积。
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公开(公告)号：CN109500730A
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201811546582.8
申请日：2018-12-18
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明属于半导体加工设备技术领域，特别涉及一种用于精密双面研磨机的动压轴承支撑结构。包括齿轮箱；齿轮箱固设在底板上，齿轮箱旁侧还设有驱动电机，驱动电机上连接有主皮带轮；主轴的底部通过旋转轴承设于齿轮箱内，底端连接蜗轮蜗杆机构，中部外设有支撑套，顶部连接托盘；托盘与支撑套间设有动压轴承座，动压轴承装设在动压轴承座上；从动皮带轮通过键连接安装在蜗杆的尾端，从动皮带轮与主动皮带轮通过皮带连接；支撑套与动压轴承座上开有相互连通的进出油孔，形成进出油路。本发明相比于以往的交叉滚子轴承，这种动压轴承与动压轴承座之间的油膜厚度均匀，稳定性好，承载能力大，且运行平稳，加工精度高。
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公开(公告)号：CN110370153A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201910499126.0
申请日：2019-06-10
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B24B29/02 , B24B41/06 , B24B41/00 , H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明属于半导体电子元器件平面加工领域，特别涉及一种用于抛光设备的上定盘晶片剥离装置。包括水汽连接板；水汽连接板上方设有若干气缸；气缸伸缩杆与气缸安装块相连；气缸安装块块内设有水汽接头和剥离喷头；水汽接头一端与水汽管路相连，另一端与剥离喷头相连；水汽安装板下方设有接液环，接液环设有竖向通孔，通孔内设有塞套，塞套底部与多通接头相连；分液块通过管路与多通接头相连；上定盘上设有若干竖向通孔；剥离塞套固设于通孔内，剥离塞套通过管路与分液块相连。本发明能解决晶片吸附在抛光盘上取片难的问题，能规避晶片由于吸附导致的剥离碎片和掉落碎片及划伤的情况，并且不会由于吸真空和破真空过程中，晶片表面留吸附痕迹。
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公开(公告)号：CN110370153B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201910499126.0
申请日：2019-06-10
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B24B29/02 , B24B41/06 , B24B41/00 , H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明属于半导体电子元器件平面加工领域，特别涉及一种用于抛光设备的上定盘晶片剥离装置。包括水汽连接板；水汽连接板上方设有若干气缸；气缸伸缩杆与气缸安装块相连；气缸安装块块内设有水汽接头和剥离喷头；水汽接头一端与水汽管路相连，另一端与剥离喷头相连；水汽安装板下方设有接液环，接液环设有竖向通孔，通孔内设有塞套，塞套底部与多通接头相连；分液块通过管路与多通接头相连；上定盘上设有若干竖向通孔；剥离塞套固设于通孔内，剥离塞套通过管路与分液块相连。本发明能解决晶片吸附在抛光盘上取片难的问题，能规避晶片由于吸附导致的剥离碎片和掉落碎片及划伤的情况，并且不会由于吸真空和破真空过程中，晶片表面留吸附痕迹。
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公开(公告)号：CN110328703A
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201910499370.7
申请日：2019-06-11
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
摘要： 本发明涉及带锯截断切片领域，具体涉及一种带锯截断机切断薄片的支撑装置和支撑方法。支撑装置包括主体、气缸、夹紧装置与动作轴；主体后端开有开口，开口内沿竖向设有后支撑板，主体内沿横向设有多个平行的通路，各个通路内设有动作轴；动作轴前端伸出主体并连接橡胶吸盘，后端与后支撑板相连，中部设有夹紧装置；主体前端与气缸相连，气缸伸缩轴与后支撑板相连。本发明还提供了一种利用上述装置的支撑方法。本发明在切割薄片时，既能够对切割薄片做有效的支撑，同时，又不对薄片加力，避免薄片的崩边和破损。
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公开(公告)号：CN109514419A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811573065.X
申请日：2018-12-21
申请人： 浙江晶盛机电股份有限公司
IPC分类号： B24B37/005 , B24B37/34
摘要： 本发明涉及研磨/抛光机的结构领域，具体涉及一种精密双面研磨机上定盘调心机构。包括上定盘、气缸与十字铰链；十字铰链通过上盘支撑杆设于上定盘上端面，十字铰链中心通过调心内圈销轴固设有轴承座；轴承座内装设有轴承，连接轴装设于轴承内；连接轴顶端通过称重传感器连接上盘固定杆，称重传感器可采用常见市售产品。上盘固定杆顶部连接气缸的活塞杆。本发明装置可以承受轴向载荷、径向载荷和轴向与径向同时存在的联合负载，从而实现上定盘的调心能力和受力均匀，保证了上定盘与下定盘工作面柔性连接，从而使两工作面完全贴合，进而保证加工工件的平面度与平行度要求。
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