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公开(公告)号:CN117497470A
公开(公告)日:2024-02-02
申请号:CN202311252351.7
申请日:2023-09-26
Applicant: 温州大学
IPC: H01L21/68 , H01L21/324 , H01L21/268
Abstract: 本发明属于激光加工技术领域,具体涉及一种利用激光对半导体退火的设备,包括机架、激光光源、晶圆载台、驱动部和光线整形部件;机架上设有动力部和移动平台,动力部用于驱使移动平台沿机架直线运动;移动平台上设有反射镜;晶圆载台上设有收拢机构,收拢机构包括环形套、电磁铁和多根固定在晶圆载台侧壁上的支杆,电磁铁位于环形套的下方;多根支杆沿晶圆载台的周向均匀分布;晶圆载台上设有一端与环形套连接的弹性件;支杆上转动连接有伸缩杆,伸缩杆的下端铰接在环形套上。在本方案中收拢机构的设置能保证晶圆最终都位于晶圆载台的中心位置,不会出现偏差,这样确保了后续激光光源扫描的有效性,能有效避免激光扫描至晶圆边缘导致产品破片。
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公开(公告)号:CN115011787A
公开(公告)日:2022-09-06
申请号:CN202210690003.7
申请日:2022-06-17
IPC: C21D10/00
Abstract: 本发明公开一种激光喷丸系统,包括激光喷丸装置、定位夹紧装置,所述定位夹紧装置包括圆形底座301、夹紧结构3、辅助支撑结构4,所述夹紧结构3包括轴承内圈外表面夹紧部、轴承内圈内表面夹紧部,所述底座301上均布开设有至少三个滑槽,至少三个所述滑槽于圆心处连通,所述滑槽内设置有轴承内圈内表面夹紧部,任意两个所述滑槽之间的底座上设置有所述辅助支撑结构4;所述轴承内圈外表面夹紧部位于所述滑槽内,且在靠近所述底座301的圆心处与轴承内圈内表面夹紧部相对设置。通过定位夹紧装置夹紧轴承内圈,含有定位夹紧装置的激光喷丸系统能够对轴承内圈的内侧进行全部支撑,减小激光喷丸过程轴承内圈的圆度误差。
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公开(公告)号:CN114011804B
公开(公告)日:2022-08-19
申请号:CN202111282482.0
申请日:2021-11-01
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明属于激光清洗机领域,尤其是一种用于管道内外壁清洗的激光清洗机,针对现有的激光清洗机在对管道进行清洗时,不便于同时对内外壁进行清洗,清洗效率低,同时清洗时产生的烟、气、粉尘不易处理的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部固定安装有支撑板,支撑板的一侧转动安装有转动座,转动座的一侧开设有插槽,插槽内插接有管道,转动座的另一侧开设有通孔,通孔内转动安装有进气管的一端,进气管的另一端固定连通有处理箱,处理箱内设有滤网和活性炭包,所述处理箱上连接有抽气机构,本发明可以对管道的内外壁同时进行清洗,提高清洗效率,同时对清洗时产生的灰尘或烟气进行处理,避免污染工作环境。
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公开(公告)号:CN114011804A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN202111282482.0
申请日:2021-11-01
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明属于激光清洗机领域,尤其是一种用于管道内外壁清洗的激光清洗机,针对现有的激光清洗机在对管道进行清洗时,不便于同时对内外壁进行清洗,清洗效率低,同时清洗时产生的烟、气、粉尘不易处理的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部固定安装有支撑板,支撑板的一侧转动安装有转动座,转动座的一侧开设有插槽,插槽内插接有管道,转动座的另一侧开设有通孔,通孔内转动安装有进气管的一端,进气管的另一端固定连通有处理箱,处理箱内设有滤网和活性炭包,所述处理箱上连接有抽气机构,本发明可以对管道的内外壁同时进行清洗,提高清洗效率,同时对清洗时产生的灰尘或烟气进行处理,避免污染工作环境。
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公开(公告)号:CN109269949B
公开(公告)日:2021-05-07
申请号:CN201811197154.9
申请日:2018-10-15
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种适用航空滑油磨损颗粒信息快速检测系统,包括激光诱导击穿机构、激光照射机构、石英管道、泵、流体槽、光谱采集分析机构及成像处理机构。石英管道、泵及流体槽形成连通回路,且回路中循环流动有颗粒试样;激光诱导击穿机构输出高能激光脉冲经扩束聚焦至石英管道中与颗粒试样作用产生等离子体;光谱采集装置采集等离子体光谱,经光谱分析仪得到颗粒试样中各金属元素成分及含量;激光照射机构输出连续可见激光经扩束照射石英管道中颗粒试样,接收屏上形成散斑图像和金属颗粒阴影图像经CCD成像装置处理,获取金属颗粒的运动速度信息及颗粒实际尺寸。本发明实施例,快速实现对大小磨损颗粒的成分及其含量的变化检测。
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公开(公告)号:CN112317764A
公开(公告)日:2021-02-05
申请号:CN202011103653.4
申请日:2020-10-15
Applicant: 温州大学
Abstract: 本发明涉及增材制造技术领域,公开了一种激光增材制造装备,包括机架,机架上从上至下依次设置有第一形状轨道、激光熔覆座和第二形状轨道,激光熔覆座上安装有激光熔覆机构,第一形状轨道和第二形状轨道的形状不同,激光熔覆座上安装有用于切换连接在第一形状轨道和第二形状轨道的切换连接机构。本发明通过科学地设置切换连接机构,可将不同轨道进行开拓性的整合,实现绝大部分零部件无死角地进行激光熔覆,从而解决现有技术中存在激光增材制造装备灵活性差的问题,使得整个装备更加灵活,而且也使得装备适应性变广,工作效率显著提升。
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公开(公告)号:CN111266221B
公开(公告)日:2020-11-27
申请号:CN202010295466.4
申请日:2020-04-15
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院
Abstract: 本发明公开了一种钢管用自动喷涂机,包括工作台,工作台顶部的两端分别设有输送机构和管内喷涂机构,所述输送机构包括固定于工作台顶部的第一滑轨,第一滑轨的上方设有承载板,承载板的底部设有与第一滑轨相配合的滑块,工作台的顶部还设有第一螺纹杆和第一电机,承载板的底部与第一螺纹杆螺纹连接,第一螺纹杆与第一电机的输出端连接,输送机构的上方设有夹持旋转机构,管内喷涂机构的上方设有管外喷涂机构,夹持旋转机构上夹持有钢管,且夹持旋转机构与管内喷涂机构连接。本发明通过整体结构的设置,可以自动对钢管的内外壁进行均匀的喷涂,能够提高钢管的防锈能力,同时,大量的节省了工作量,降低生产成本,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN111266221A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN202010295466.4
申请日:2020-04-15
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院
Abstract: 本发明公开了一种钢管用自动喷涂机,包括工作台,工作台顶部的两端分别设有输送机构和管内喷涂机构,所述输送机构包括固定于工作台顶部的第一滑轨,第一滑轨的上方设有承载板,承载板的底部设有与第一滑轨相配合的滑块,工作台的顶部还设有第一螺纹杆和第一电机,承载板的底部与第一螺纹杆螺纹连接,第一螺纹杆与第一电机的输出端连接,输送机构的上方设有夹持旋转机构,管内喷涂机构的上方设有管外喷涂机构,夹持旋转机构上夹持有钢管,且夹持旋转机构与管内喷涂机构连接。本发明通过整体结构的设置,可以自动对钢管的内外壁进行均匀的喷涂,能够提高钢管的防锈能力,同时,大量的节省了工作量,降低生产成本,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN108500448A
公开(公告)日:2018-09-07
申请号:CN201810422188.7
申请日:2018-05-04
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院
Abstract: 本发明涉及阀体壳体激光焊接组装中心,其包括总机架、设置在总机架上且用于存储并输出铝带的铝壳体裁剪成型机、设置在总机架上且与铝壳体裁剪成型机输出端工序连接且用于将铝带加工成上壳体件与下壳体件并与阀体总成组对焊接的铝壳体流水线、设置在总机架上且输入端与铝壳体流水线输出端工序连接且用于焊后的阀体总成从铝壳体流水线取出的铝壳体输出装置;本发明设计合理、结构紧凑且使用方便。
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公开(公告)号:CN108097956A
公开(公告)日:2018-06-01
申请号:CN201810114873.3
申请日:2018-02-05
Applicant: 温州大学激光与光电智能制造研究院
Abstract: 一种大型复杂梯度功能构件激光直接制造粉末配比动态送粉装置及加工设备,属于激光直接制造领域。送粉装置包括可控比例送粉装置、多组分粉末预混装置以及双螺杆分量精混装置。可控比例送粉装置包括相互匹配的输粉器和送粉控制器,送粉控制器被构造来接受由输粉器输出的粉末并以可控量的方式释放接受至输粉器的粉末。多组分粉末预混装置被构造来接受并预混合由送粉控制器输出的粉末,且输出预混粉末料;双螺杆分量精混装置被构造来接受并精混预混粉末料。本发明提出的送粉装置能够根据实现根据需要调整和输送粉末原料,以便使多组分原料能够被更好地应用于激光直接制造。
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