半导体装置制造用片
    41.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114586141A

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN202180006002.X

    申请日:2021-03-26

    Abstract: 本发明为一种半导体装置制造用片,其具备基材、粘着剂层、中间层及膜状粘合剂,所述半导体装置制造用片通过在所述基材上依次层叠所述粘着剂层、所述中间层及所述膜状粘合剂而构成,所述中间层含有重均分子量为100000以下的非硅类树脂作为主要成分。

    半导体装置制造用片
    46.
    实用新型

    公开(公告)号:CN214956807U

    公开(公告)日:2021-11-30

    申请号:CN202120618194.7

    申请日:2021-03-26

    Abstract: 本实用新型提供一种半导体装置制造用片,其具备基材,并通过在基材上依次层叠粘着剂层、中间层、膜状粘合剂及剥离膜而构成,剥离膜的厚度为60μm以上,在剥离膜中自层叠有膜状粘合剂的一侧的面形成有切口部,切口部的切口深度大于25μm。

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