一种气浮轴承及气浮高速高光电主轴

    公开(公告)号:CN104551028A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201510063186.X

    申请日:2015-02-06

    发明人: 陈文生

    IPC分类号: B23B19/02 F16C32/06

    CPC分类号: B23Q1/70 F16C32/0614

    摘要: 一种气浮轴承及气浮高速高光电主轴,涉及机械加工的电主轴。一种气浮轴承,在轴承主体前后两端的内壁分别制有前端内环形连通槽和后端内环形连通槽,前端内环形连通槽的位置与前端径向喷嘴的内端对应并从内端将前端径向喷嘴连通起来,后端内环形连通槽的位置与后端径向喷嘴的内端对应并从内端将后端径向喷嘴连通起来,以增大径向负重;在轴承主体外壁上之前端环形连通槽与后端环形连通槽间制有起排热冷却的水路环槽。气浮高速高光电主轴,包括轴体、前气浮轴承、后气浮轴承、定子、转子、推力轴承、顶杆、水路/气路组件及气缸组件。本发明电主轴的转速超过80,000rpm,从而满足了高光电主轴的铣削转速要求,进而保证了加工产品的表面光亮度及平面度。

    气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统

    公开(公告)号:CN103062283B

    公开(公告)日:2014-10-29

    申请号:CN201210571692.6

    申请日:2012-12-19

    IPC分类号: F16F15/027 F16C32/06

    摘要: 气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域,隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑,上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦,音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统,对上、下安装板的相对位置进行精确控制;本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性,可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能,从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。

    一种主动式气浮支承装置

    公开(公告)号:CN103836070A

    公开(公告)日:2014-06-04

    申请号:CN201410100961.X

    申请日:2014-03-18

    IPC分类号: F16C32/06

    摘要: 本发明公开了一种主动式气浮支承装置,包括气浮支承本体、气膜主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元,其中支承本体检测装置测量气浮支承的状态,驱动控制系统根据检测信号生成控制信号,驱动控制气膜主动调节装置产生主动作用,动态调节气浮支承表面的气膜形态,由此动态调整气浮支承装置的气膜间隙压强分布,从而提高气浮支承的动刚度特性。通过本发明,能够显著提高气浮支承的动刚度特性,并达到稳定气浮支承的目的;此外,按照本发明的主动式气浮支承装置还具备结构紧凑、便于操控和高精度的特点,因而尤其适用于对支承动刚度要求高的超精密加工或高速主轴等场合。

    空气静力轴承心轴
    44.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101589242B

    公开(公告)日:2011-12-21

    申请号:CN200780040479.X

    申请日:2007-10-30

    IPC分类号: F16C32/06 F16C35/10

    摘要: 一种空气静力轴承心轴,其包括一个轴颈处于空气静力轴承(204)内的轴(2),所述轴承包括至少一个供应口(241),用于供应气体从而在所述轴和所述轴承之间产生轴颈气膜,其中所述心轴以这样的方式布置,使得在使用中绕所述轴承产生不均匀的压力分布以产生减振作用,从而控制所述轴(2)在所述轴承(204)中的偏摆。一种空气静力轴承心轴配置,其包括一个空气静力轴承心轴以及一个主动控制系统(1001),所述主动控制系统用于在使用中控制到所述轴颈气膜的气体供应和从所述轴颈气膜的气体排出中的至少一个,从而可控制地改变绕所述轴承(104)的压力分布。

    静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台

    公开(公告)号:CN102135137A

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201010293517.6

    申请日:2010-09-21

    IPC分类号: F16C32/06

    CPC分类号: F16C32/0614 F16C29/025

    摘要: 提供高精度的静压轴承装置以及具备静压轴承装置的工作台,通过构成节流孔、通气槽等,使得加压气体在通气路径的全体区域维持层流状态,从而防止振动的发生。在静压轴承装置中,为了使加压气体在通气路径的全体区域能够维持层流状态而设计了节流孔(14)、通气槽以及排气槽(12)的形状等结构,通气槽宽度方向的截面形状形成为朝向离开滑动面(10a)的方向突出的曲线,另外,通气槽包括:环状槽(11b),其围绕节流孔(14)形成为环状;多个分配槽(11a),它们以节流孔(14)为中心朝向环状槽(11b)以放射状延伸设置并将环状槽(11b)与节流孔(14)连通,且形成为相对于移动体(10)的移动方向中心线对称。

    增压流道槽自润滑动静压气浮轴承支承的涡轮增压器

    公开(公告)号:CN101550864B

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN200910071999.8

    申请日:2009-05-11

    申请人: 马惠秋

    发明人: 马惠秋

    IPC分类号: F02B37/00 F02C6/12 F01D25/16

    摘要: 增压流道槽自润滑动静压气浮轴承支承的涡轮增压器,它涉及一种静压气浮轴承支承的涡轮增压器。本发明解决了现有的气浮轴承存在的转子轴颈易出现轴向振动、承载力低、轴颈表面易发生碰摩或磨损造成轴承的故障的问题。本发明的推力盘套装在两个气浮轴承体的推力面之间的转子轴颈上,每个气浮轴承体的推力面上开有以推力面的中心为放射起点的多个第一增压流道槽,每个气浮轴承体的圆形内腔表面上开有两排第二增压流道槽,每排第二增压流道槽的多个第二增压流道槽沿气浮轴承体的圆形内腔的圆周方向均匀排布。本发明提高了动静部件短时间接触面耐磨性能,克服了转子轴颈的轴向振动,降低了气浮轴承的故障率,提高涡轮增压器的承载能力。

    带有空气静力学轴承的流体压缩机,带有空气静力学轴承的压缩机的控制系统,和带有空气静力学轴承的压缩机的控制方法

    公开(公告)号:CN101321956A

    公开(公告)日:2008-12-10

    申请号:CN200680045004.5

    申请日:2006-10-11

    发明人: M·F·伊特卡

    IPC分类号: F04D29/04 F04D15/00 F16C32/06

    摘要: 本发明涉及具有空气静力学轴承的流体压缩机,涉及具有空气静力学轴承的流体压缩机的控制系统,以及涉及用于控制压缩机的方法,其中空气静力学轴承由压缩流体蓄积器(5)供给,在压缩机(100)运行期间压缩流体蓄积器(5)充填且在各起动时压缩流体蓄积器(5)排出以防止轴承的损坏。这些目的通过包括加压室(C)和至少一个流体加压设备(1、2、18)的流体压缩机(100)实现,加压室(C)和加压设备(1、2、18)位于壳体(4)内,加压室(C)具有非加压入口(10)和加压出口(20),加压设备(1、2、18)将由非加压入口(10)收集的流体压缩且将其通过加压出口(20)排出,加压设备(1、2、18)具有至少一个空气静力学轴承(3),空气静力学轴承(3)包括浮置加压区域(33),压缩机包括流体地可连接到加压出口(20)且连接到浮置加压区域(33)的压缩流体蓄积器(5),压缩流体蓄积器(5)位于压缩机(100)的壳体(4)内。进一步描述了用于控制压缩机(100)的系统和各控制方法。

    流体静力轴承
    48.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1071866C

    公开(公告)日:2001-09-26

    申请号:CN96122432.0

    申请日:1996-08-17

    IPC分类号: F16C32/06

    摘要: 一气体静力轴承包括一具有一些作为气体入口的第一通孔的轴承基座,一形成于轴承表面和推力轴之间的轴承间隙和一自控节流阀用于和轴承基座相对表面形成节流间隙,自控节流阀可以根据作用于轴承表面的压力变化自动调节供给到轴承表面气体的流速。自控节流阀具有一节流盘和一环形片簧。节流盘在其中心具有一第二通孔。一O形环支撑节流盘并起封闭流体作用。第二通孔适用于向节流间隙供给气体。环形片簧和柱形元件底部的节流盘一体成形。气体以分散流动形式通过第二通孔供入到节流间隙。这样,恢复力根据节流盘的倾斜角度起作用。

    流体静力轴承
    49.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1157377A

    公开(公告)日:1997-08-20

    申请号:CN96122432.0

    申请日:1996-08-17

    IPC分类号: F16C32/06

    摘要: 一气体静力轴承包括一具有一些作为气体入口的第一通孔的轴承基座,一形成于轴承表面和推力轴之间的轴承间隙和一自控节流阀用于和轴承基座相对表面形成节流间隙,自控节流阀可以根据作用于轴承表面的压力变化自动调节供给到轴承表面气体的流速。自控节流阀具有一节流盘和一环形片簧。节流盘在其中心具有一第二通孔。一O形型环支撑节流盘并起封闭流体作用。第二通孔适用于向节流间隙供给气体。环形片簧和柱形元件底部的节流盘一体成型。气体以分散流动形式通过第二通孔供入到节流间隙。这样,恢复力根据节流盘的倾斜角度起作用。