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公开(公告)号：CN104007498A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410058489.8
申请日：2014-02-20
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 松下友纪
CPC分类号： G01J3/0205 , G01J3/0264 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B26/001
摘要： 本发明提供一种测定装置。该分光测定装置（1）具备：波长可变干涉滤波器（5），具备固定反射膜、可动反射膜、及使固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸变更的静电致动器；检测器（12），接收入射光；滤波器控制部（22），将固定反射膜与可动反射膜间的间隙尺寸设定为与比测定对象波长区域小的第一波长的光相应的第一尺寸；截止滤波器（11），阻截比测定对象波长区域小的波长的光；以及光量获取部（23），获取在将间隙尺寸设为第一尺寸时由检测器（12）接收的杂散光的光量。
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公开(公告)号：CN103969728A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410043550.1
申请日：2014-01-29
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 佐野朗
CPC分类号： G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B6/29358 , G02B26/0841
摘要： 本发明提供具有高分辨率的光学模块、电子设备以及分光照相机。其中，光学模块（10）具备：固定反射膜（541），可动反射膜（542），具有在俯视观察中通过施加电压可分别独立驱动的多个部分驱动部的第一驱动单元，使固定反射膜（541）与可动反射膜（542）之间的间隙尺寸变化的第二驱动单元，以及向部分驱动部施加第一驱动电压、向上述第二驱动单元施加第二驱动电压的电压控制部（15），电压控制部（15）施加根据改变间隙尺寸时的固定反射膜（541）和可动反射膜（542）的平行度、按每个部分驱动部设定的第一驱动电压。
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公开(公告)号：CN103968947A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410044027.0
申请日：2014-01-30
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 多津田哲男
IPC分类号： G01J3/46
CPC分类号： G01N21/251 , G01J3/0208 , G01J3/0262 , G01J3/0264 , G01J3/0272 , G01J3/0283 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/51 , G01J2003/2826
摘要： 本发明提供测色方法以及测色装置，能够高效地进行测色对象的测色。检测由波长可变干涉滤波器(5)分光后的光的光量并取得分光图像的拍摄部(拍摄元件(32)以及光量取得部(63))，检测对于三个波长依次分光后的光的光量，取得合成图像用的各分光图像，显示控制部(741)使显示部(71)显示基于合成图像用的各分光图像的合成图像，指定位置检测部(742)基于使用者的操作来确定输出测色结果的指定位置，拍摄部利用波长可变干涉滤波器(5)来检测对于多个波长依次分光后的光的光量，从而取得与多个波长分别对应的测色用的各分光图像，测色部(743)使用测色用的各分光图像的光量值来对指定位置进行测色。
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公开(公告)号：CN103576311A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310291831.4
申请日：2013-07-11
申请人： 精工爱普生株式会社
发明人： 广久保望
CPC分类号： B26D3/06 , G01B7/003 , G01J3/26 , G02B26/001 , Y10T83/0304
摘要： 本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块、电子设备以及波长可变干涉滤波器的制造方法，该波长可变干涉滤波器具备相对的固定基板和可动基板，固定基板具有固定反射膜、第一驱动电极以及第一电容检测电极，可动基板具有：与固定反射膜隔着反射膜间间隙配置的可动反射膜、与第一驱动电极隔着驱动电极间间隙配置的第二驱动电极、以及与第一电容检测电极隔着电容检测电极间间隙配置的第二电容检测电极。电容检测电极是该电极间的静电电容检测用电极。通过驱动电极使反射膜间间隙的间隙量变更。反射膜间间隙、驱动电极间间隙和电容检测电极间间隙是相互不同的间隙量。
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公开(公告)号：CN103487931A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310229267.3
申请日：2013-06-08
申请人： VTT技术研究中心
CPC分类号： G01J3/26 , G01J3/0286 , G02B5/284 , G02B26/001
摘要： 本发明涉及微机械可调法布里-珀罗干涉仪装置及其生产方法。其中，通过微机械（MEMS）技术生产可控法布里-珀罗干涉仪。现有技术干涉仪的温度漂移造成不准确性并且需要复杂封装。根据本发明，该干涉仪装置在同一基板上具有电可调干涉仪和参考干涉仪两者。使用该参考干涉仪测量温度漂移，并且该信息用于补偿利用可调干涉仪进行的测量。因此，可提高测量的准确性和稳定性，并且减轻了对于封装的需求。
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公开(公告)号：CN103116208A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201210359300.X
申请日：2012-09-24
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/31 , G02B26/001
摘要： 本发明公开了一种滤光器装置、光模块以及电子设备，该滤光器装置具备：波长可变干涉滤波器，具有固定基板、可动基板、固定反射膜以及可动反射膜；以及框体，在内部收容波长可变干涉滤波器。框体具备：底部基板；盖板，与该底部基板接合，在与该底部基板之间形成内部空间；以及盖板侧玻璃基板，闭塞设在盖板上的光通过孔。而且，盖板侧玻璃基板的基板端缘位于光通过孔的外周边缘之外，从光通过孔的外周边缘到基板端缘的区域与盖板接合。
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公开(公告)号：CN102645741A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210034461.1
申请日：2012-02-15
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
摘要： 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器即标准具包括固定基板和与固定基板相对的可动基板。固定基板包括通过接合膜与可动基板接合的第一接合面和形成有第一电极的一部分的第一电极面。可动基板包括通过接合膜与第一接合面接合的第二接合面和形成有第二电极的一部分的第二电极面。在固定基板与可动基板通过接合膜接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触。
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公开(公告)号：CN102608689A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
申请人： 精工爱普生株式会社
CPC分类号： G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
摘要： 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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公开(公告)号：CN102539342A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110430288.2
申请日：2011-12-20
CPC分类号： G01N21/35 , G01J3/0227 , G01J3/0297 , G01J3/26 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01N21/552
摘要： 本发明涉及一种用于测量光学传感器光谱的方法和设备，其中光束(2)照射到与要测量的介质接触的光学传感器(3)上，其中光学传感器(3)发射由于要测量的介质而改变的测量束(4)，并且测量束(4)被馈送到热探测器(8)，该热探测器(8)发出与光谱相对应的输出信号；其中测量信号(4)的强度在照射到热探测器(8)上之前被调制。为了提供成本有效的不受震动影响的具有长使用期的测量设备，通过调整包含在测量束(4)的光谱中的波长而发生测量束(4)的强度调制。
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