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公开(公告)号:CN108074984A
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201711128763.4
申请日:2017-11-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/08 , H01L29/36 , H01L21/336
Abstract: 提供了一种半导体器件,该半导体器件能够通过在源极/漏极区域中形成含碳的半导体图案来改善短沟道效应。该半导体器件包括:第一栅电极和第二栅电极,在鳍型图案上彼此间隔开;凹陷,形成在第一栅电极与第二栅电极之间的鳍型图案中;以及半导体图案,包括沿凹陷的轮廓形成的下半导体膜和在下半导体膜上的上半导体膜,其中下半导体膜包括顺序地形成在鳍型图案上的下外延层和上外延层,并且上外延层的碳浓度大于下外延层的碳浓度。
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公开(公告)号:CN104347425A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201410378435.X
申请日:2014-08-01
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L21/28 , H01L27/11
CPC classification number: H01L29/785 , H01L21/823431 , H01L27/0886 , H01L27/1211 , H01L29/0847 , H01L29/66545 , H01L29/66795 , H01L29/6681
Abstract: 本发明公开了一种半导体器件及其制造方法,所述半导体器件可包括:并列形成在衬底上的第一鳍部和第二鳍部;第一抬升式掺杂区,其形成在第一鳍部上,并具有第一掺杂浓度的杂质;第二抬升式掺杂区,其形成在第二鳍部上;以及第一桥,其将第一抬升式掺杂区和第二抬升式掺杂区彼此连接。本发明还公开了制造这种半导体器件的方法。
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公开(公告)号:CN104103687A
公开(公告)日:2014-10-15
申请号:CN201410136127.6
申请日:2014-04-04
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/06 , H01L21/336
Abstract: 本发明提供了半导体器件以及制造该半导体器件的方法。该半导体器件包括:鳍,在基板上;栅电极,在基板上交叉鳍;源/漏极,形成在栅电极的两侧的至少一个上,并包括第一膜和第二膜;以及应力膜,布置在基板上的隔离膜与源/漏极之间,并形成在鳍的侧表面上。
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公开(公告)号:CN102956503A
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201210282278.3
申请日:2012-08-09
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/336
CPC classification number: H01L29/165 , H01L21/26506 , H01L21/26586 , H01L21/26593 , H01L21/30604 , H01L21/30608 , H01L21/324 , H01L21/76237 , H01L29/0847 , H01L29/1037 , H01L29/6653 , H01L29/66545 , H01L29/6659 , H01L29/66621 , H01L29/66636 , H01L29/7834 , H01L29/7835 , H01L29/7848
Abstract: 公开了一种半导体装置和制造该半导体装置的方法。一种制造半导体装置的晶体管的方法,该方法包括:在半导体衬底上形成栅极图案;在栅极图案的侧壁上形成间隔体;对半导体衬底进行湿式蚀刻以在该半导体衬底中形成第一凹陷,其中,第一凹陷与间隔体相邻;以及对第一凹陷进行湿式蚀刻以在半导体衬底中形成第二凹陷。
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