-
公开(公告)号：CN104625765B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410739115.2
申请日：2014-12-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q1/38
Abstract: 本发明提供了一种高精度微小型空气静压转台。本发明解决了目前常用的高精度微小型空气静压转台组成零件较多，不易实现特别高的精度要求和动平衡，并且整体系统的体积较大，特别是高度尺寸较大的问题；解决了由通常所采用的降低转台整体高度的方式所造成的低稳定性以及低承受倾覆力矩的能力的问题；解决了转台加工生产过程中需加工多个轴套与轴的工作面所造成生产成本问题。它包括：转台机座、锥形气浮轴套、主轴系统和转台电机。本发明在转台生产过程中所需加工的轴套与轴工作面仅为相应的两个锥面，相比于以往的高精度空气静压转台有所减少，降低了生产成本。具有装配简单、精度保持性好等优点，可用于多种加工形式的精密和超精密加工设备上。
-
公开(公告)号：CN103235385A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310155942.2
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G02B7/00
Abstract: 一种大口径光学元件的横向在线洁净拆装装置，它涉及一种大口径光学元件的横向洁净拆装装置。本发明为了解决大口径光学聚焦与频率转换系统维护光学元件时间长，装置运行效率低的问题。本发明包括5自由度位姿调整台、洁净拆装转运箱和连接手轮；5自由度位姿调整台的竖向位置调整单元、横向位置调整单元、纵向位置调整单元和2自由度姿态调整单元由上至下依次连接，横向位置调整单元通过横向手轮转动横向平动螺杆，驱动横向工作台平移；纵向位置调整单元通过纵向手轮转动纵向平动螺杆，驱动纵向工作台平移；洁净拆装转运箱与2自由度姿态调整单元连接，连接手轮安装在连接轴的外端。本发明用于大口径光学元件的横向在线洁净拆装中。
-
公开(公告)号：CN103230901A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310156290.4
申请日：2013-04-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种保持激光传输光学系统中洁净度的冲扫装置和方法，它涉及一种物理光学技术领域的洁净度保持装置和方法。本发明解决了激光传输光学系统中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。阶梯式布置的上节流板和下节流板上设置有相互连通的进气口和冲扫气口，下节流板设在透镜系统的正下方，排气口设在排气罩的顶面上，排气罩系统设在光学系统上端，上节流板设在光学系统内，下节流板设在光学系统下端。洁净气体由上节流板和下节流板按照特定进气流量进入光学系统内部，气体经过透镜系统时对透镜表面及附近空间实现冲扫效果，使污染物随冲扫气体经排气罩系统排出光学系统内部。本发明用于保持激光传输光学系统中洁净度。
-
公开(公告)号：CN102703875A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210230054.8
申请日：2012-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 一种掠角磁控溅射沉积工艺装备。属于微纳米加工制造技术领域。为了实现磁控溅射沉积过程中沉积粒子沉积角度与沉积基体的运动形式两个工艺参数可独立控制并且自由组合这一目的。步进电机的输出轴与传动蜗杆传动连接，传动蜗杆与传动蜗轮啮合，传动蜗轮与基体托盘连接，基体平面调整传动轴与传动蜗轮同轴设置，分度盘固定套装在基体平面调整传动轴上，基体平面调整传动轴及基体平面调整架通过法兰连接，基体平面调整架上装有约束机构调整架，基体平面调整壳体固定于真空室的外侧面，平行板约束沉积机构安装在约束机构调整架上，沉积约束挡板与沉积约束平行板平行设置并位于沉积约束平行板的后面。本发明用于基体磁控溅射沉积。
-
公开(公告)号：CN116000015B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202211389400.7
申请日：2022-11-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B08B5/02
Abstract: 本发明提供了一种激光光束聚焦机构的清洁装置及清洁方法，涉及大型激光装置技术领域。其中的激光光束聚焦机构的清洁装置，所述激光光束聚焦机构包括多组透镜组件，所述清洁装置包括层流风单元及风刀单元，所述层流风单元的层流送风与所述风刀单元的风刀气帘形成环绕各所述各透镜组件的循环流场。由于层流风单元与风刀单元形成循环耦合流场，循环耦合流场对透镜组件进行防护并清除各透镜组件表面的污染物，污染物颗粒易随循环流场有规律的运动，使防护和清扫效果更彻底、无死角，能够全方位地对各透镜组件的光学元件进行吹扫，提高光学元件的洁净度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117750752A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410089999.5
申请日：2024-01-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H05K13/04
Abstract: 一种气浮贴片机吸头，涉及半导体加工及微电子元器件制造技术领域。气浮轴承为圆筒结构，止推板为环形板固定在气浮轴承底端，回转电机转动安装在气浮轴承顶端，气动Z轴转动安装在气浮轴承底端，气动Z轴与回转电机连接传动，气动Z轴底端设置方槽并伸出止推板，回转电机与气动Z轴中心贯穿设置进气气道，方形气缸滑动插装在方槽内并留有气浮间隙，方形气缸侧壁加工节流微孔，吸头与方形气缸底端连接为一体，吸头两侧通过预紧弹簧与气动Z轴底端两侧连接，吸头底面中心设置吸气孔，侧方加工真空气道且外端安装真空接头。通过回转电机、气动Z轴和方形气缸的巧妙设置，能够同时满足吸头快速、高精度的径向回转运动和轴向位移运动。
-
公开(公告)号：CN116972044A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202311102087.9
申请日：2023-08-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种表面节流型无摩擦平衡气缸及工作方法，它包含前端盖、缸体、活塞杆、活塞和后端盖；所述活塞的外表面上开有两个圆周凹槽，与前端盖相邻的圆周凹槽为供气槽，与后端盖相邻的圆周凹槽为卸气槽，卸气槽内开有与缸体内腔相通的卸气孔，活塞的与后端盖相邻的端面上沿轴向布置有供气通道，卸气孔与供气通道不相通，供气槽上开有与供气通道相通的供气孔，所述活塞的外表面设置有三段圆周凸台，以使气体进入到活塞与缸体之间的间隙中进行表面节流形成压力气膜。本发明占用空间小、加工装配简单、精度高、不易坏，能可靠的适用于超精密机床垂直轴平稳的垂直运动。
-
公开(公告)号：CN116099823A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211389389.4
申请日：2022-11-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B08B5/02
Abstract: 本发明提供了一种维持激光系统洁净度的装置及方法，涉及激光聚焦技术领域。本发明所述的维持激光系统洁净度的装置，包括沿气流流动方向依次设置的稳压箱、整流板、回流板和回流腔，所述稳压箱的侧面设置进风口以使所述气流进入所述稳压箱，所述整流板适于对所述气流导向及整流以使所述气流进入激光系统内，所述回流板适于对所述气流导向以使所述气流进入所述回流腔，所述回流腔的侧面设置出风口以使所述气流排出。本发明所述的技术方案，通过设置稳压箱、整流板、回流板和回流腔，保证气流的单向及稳定性，以及采用侧面进风及侧面出风，形成平行气流对激光系统内部冲扫，有效降低了激光系统内的污染，从而提高了激光系统内光学元件的使用寿命。
-
公开(公告)号：CN116014534A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211389425.7
申请日：2022-11-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种激光真空隔窗组件的安装机构，涉及大型激光装置技术领域。具体包括真空隔离框体、锁紧组件，所述锁紧组件与所述真空隔离框体相连接，所述锁紧组件用于连接真空隔窗组件，所述锁紧组件适于将所述真空隔窗组件压紧在所述真空隔离框体上或带动所述真空隔窗组件脱离所述真空隔离框体。由于本发明激光真空隔窗组件的安装机构中锁紧组件能够将真空隔窗组件压紧在真空隔离框体上或带动真空隔窗组件脱离真空隔离框体，通过操作锁紧组件即可完成真空隔窗组件的拆装，操作过程简单、效率高。
-
公开(公告)号：CN116000015A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211389400.7
申请日：2022-11-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B08B5/02
Abstract: 本发明提供了一种激光光束聚焦机构的清洁装置及清洁方法，涉及大型激光装置技术领域。其中的激光光束聚焦机构的清洁装置，所述激光光束聚焦机构包括多组透镜组件，所述清洁装置包括层流风单元及风刀单元，所述层流风单元的层流送风与所述风刀单元的风刀气帘形成环绕各所述各透镜组件的循环流场。由于层流风单元与风刀单元形成循环耦合流场，循环耦合流场对透镜组件进行防护并清除各透镜组件表面的污染物，污染物颗粒易随循环流场有规律的运动，使防护和清扫效果更彻底、无死角，能够全方位地对各透镜组件的光学元件进行吹扫，提高光学元件的洁净度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
75
records
(took 0.018 seconds)
