一种晶圆光致发光检测装置与方法

    公开(公告)号:CN118209563A

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202311783440.4

    申请日:2023-12-22

    IPC分类号: G01N21/95 G01N21/01

    摘要: 本发明公开了一种晶圆光致发光检测装置和方法,包括:移动载台,用于承载待测样品;依次设置的光源模块、光纤光路、管镜和物镜,还包括光谱仪和自动对焦模块;还包括相机模块、分光模块和色散补偿透镜。本发明提供的晶圆光致发光检测装置,将光谱共焦法对焦应用于晶圆的光致发光光谱检测中,使得对焦过程和光致发光光谱检测过程中可以共用光路和光谱仪模块,简化了系统结构,并能实现准确的自动对焦;通过分光镜和管镜的设置,可以同时实现晶圆的自动对焦、拍照3D测量和光致发光光谱检测。

    一种成像式视角测量仪的校准系统及方法

    公开(公告)号:CN117629246A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311538561.2

    申请日:2023-11-15

    IPC分类号: G01C25/00 G01C3/02

    摘要: 本发明提供了一种成像式视角测量仪的校准系统及方法,属于光源照明领域及显示检测领域,系统包括均匀面光源、坷垃照明系统、光谱仪和成像式视角测量仪,均匀面光源经过坷垃照明系统获取第一区域,第一区域具有视场均匀的平行光;光谱仪在零度视场角下通过坷垃照明系统获取均匀面光源的第一三刺激值;成像式视角测量仪在第一区域内获取均匀面光源不同视场角下的第二三刺激值;利用第一三刺激值和第二三刺激值获得校正矩阵,利用校正矩阵对成像式视角测量仪的测量结果进行校正,得到校正之后的三刺激值,根据校正之后的三刺激值获得亮色度值。本发明可以提高成像式视角测量仪的校准精度。

    一种基于显微检测机台的多镜头联合标定方法和装置

    公开(公告)号:CN113592956B

    公开(公告)日:2023-12-19

    申请号:CN202110871335.0

    申请日:2021-07-30

    摘要: 本发明公开了一种基于显微检测机台的多镜头联合标定方法,包括:由基准镜头对标定物拍照得到第一标定物图像;由标定镜头对标定物拍照得到第二标定物图像,根据两者图像在其对应的图像坐标系中的位置信息分别得到第一偏移坐标和第二偏移坐标;第二偏移坐标与第一偏移坐标的差值小于第一预设阈值时,输出标定镜头在世界坐标系中的标定坐标;根据基准坐标和标定坐标计算得到标定镜头相对于基准镜头在世界坐标系中的补偿值。其可以解决联合标定时难以实现标定物的多个特征被每个镜头同时获取,无法进行准确标定的问题。(56)对比文件吴涛.显示器件测试技术与设备最新进展.微纳电子与智能制造.2020,(第02期),全文.张刘;支帅.双目测量系统目标相对位置误差分析.红外与激光工程.2014,(第S1期),全文.

    微显示器贴合方法及设备
    55.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114822284B

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN202210239486.9

    申请日:2022-03-11

    IPC分类号: G09F9/33

    摘要: 本发明提供一种微显示器贴合方法及设备。该方法包括:将微显示屏移动到距离立方体三色合光棱镜的待贴合表面第一预设距离的位置;对所述微显示屏的位置和/或姿态进行矫正;将所述微显示屏移动到距离所述待贴合表面第二预设距离的位置,并进行点胶操作,所述第二预设距离小于第一预设距离;将所述微显示屏固化在所述待贴合表面上。通过本发明,在对微显示屏进行校正时,微显示屏与对应的待贴合表面相距第一预设距离,即两者不接触,避免了由于摩擦导致微显示屏损坏的情况发生。

    一种显示屏位置偏差测量方法及系统

    公开(公告)号:CN115144164B

    公开(公告)日:2023-02-28

    申请号:CN202211059868.X

    申请日:2022-08-31

    IPC分类号: G01M11/02 G01B11/00 G01B11/26

    摘要: 本发明公开了一种显示屏位置偏差测量方法及系统,属于成像产品位置检测技术领域,包括调整待测产品与光学测量设备的中心位置,获取待测产品在光学测量设备成像区域内的视野边界,获得其在第一方向上的角度偏差,分别获取成像点位在光学测量设备成像区域内第二方向和第三方向上的像面角度偏差并据此获得待测产品显示屏在第二方向和第三方向上的角度偏差。本申请通过光学测量设备的成像区域获取显示屏在第一方向上的角度偏差,并利用对焦镜头调整对焦,获得该显示屏在第二方向和第三方向上的角度偏差,整个测试方法相对简单,无需配合较多检测设备,仅通过在二维屏幕上的感知,即可获得显示屏在三维角度内的偏转位移。

    一种基于视差法的多层缺陷定位检测方法

    公开(公告)号:CN115471479A

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202211139297.0

    申请日:2022-09-19

    IPC分类号: G06T7/00

    摘要: 本发明涉及一种基于视差法的多层缺陷定位检测方法,其包括以下步骤:调整两个成像通道的焦距,使两个成像通道对焦于透明或者半透明的待测产品的同一平面,其中,每个成像通道至少包括一个镜头和一个图像传感器,至少一个成像通道的图像传感器的感光面的中心偏离对应镜头的光轴;利用所述两个成像通道同时对位于对焦平面上的待测产品的同一目标区域进行成像,获取对应的两个目标图像;对所述两个目标图像进行数据分析,进行缺陷检测,并对缺陷进行分层定位。当缺陷位于该对焦平面上时,两个成像通道拍摄出来的缺陷的位置相同,当缺陷不位于对焦平面上时,两个成像通道拍摄出来的缺陷的位置不同,可以判断出缺陷相对于对焦平面所在的层次。