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公开(公告)号：CN215340528U
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202121811188.X
申请日：2021-08-04
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请涉及一种显微镜安装结构，包括具有安装腔的安装壳体、设置在安装腔内的单筒显微镜、光源、反射镜以及分束器，安装腔的内壁上设置有供光线进入安装腔的通孔；单筒显微镜一端设为获取图像的获取端，另一端设为形成放大图像的成像端，并且成像端用于与相机模块相连接；进入安装腔内的光线依次经过反射镜以及分束器，其中经过反射镜后光线从竖直状态转变为水平状态，经过分束器后光线分成两束，其中一束经过单筒显微镜，另外一束经过光源。本申请具有使得安装壳体的厚度能够变薄的效果。
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公开(公告)号：CN215046919U
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202023304724.5
申请日：2020-12-31
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： B65G49/06
摘要： 本实用新型实施例公开了一种玻璃输送装置，包括平台主体、第一气浮平台、第二气浮平台、导轨、夹紧机构及驱动机构，当玻璃悬浮在第一平台表面的上方时，驱动机构驱动夹紧机构朝向第一平台表面运动，使得夹持部靠近第一平台表面；并在夹持部夹紧对应侧的玻璃边缘后，驱动夹紧机构沿着导轨朝向第二平台表面运动，当玻璃到达第二平台表面上时，夹持部继续夹持玻璃，玻璃在第二气浮平台输出的气浮力作用下水平悬浮在第二平台表面的上方，驱动机构驱动夹紧机构沿着运输方向在第二平台表面的上方来回移动，以通过拍摄装置获取玻璃表面不同区域的图像。本实用新型能实现玻璃高速、高精度和高稳定性的运动，提高AOI检测的准确性、成功率和检测速度。
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公开(公告)号：CN214795082U
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202023237975.6
申请日：2020-12-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本实用新型实施例公开了一种基于真空内部移动升降的补偿位移装置，真空装置包括外壳，外壳设有真空腔，基于真空内部移动升降的补偿位移装置包括：托板，设于真空腔内；导杆，导杆的一端穿设外壳进入真空腔，并与托板固定连接；波纹管，波纹管的变形方向为上下方向；连接板，连接板的一端与导杆远离托板的一端固定连接，另一端与波纹管的顶部连接；驱动机构，用于驱动连接板上下移动，以驱动导杆上下移动，带动托板在真空腔内上下移动。通过托板、导杆、波纹管、连接板和驱动机构之间的配合，将真空环境中需要实现的升降运动引申到大气环境中，有效的解决了真空腔体中四维平台Z轴的速度和位移受限制的问题，结构简单，成本较低。
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公开(公告)号：CN207577683U
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201720777725.0
申请日：2017-06-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K10/00 , B23K26/346
摘要： 一种半导体芯片封装分解剥离装置，该装置包括载物台、处理器、模式选择开关、激光器和等离子发生器，模式选择开关包括三个可选择模式，即激光模式、等离子模式和混合模式，模式选择开关将所选择的模式信息发送至处理器，处理器根据所选择的模式信息，发送相应的控制信号至激光器或/和等离子发生器。由于通过激光器发出激光束可快速烧结消除分解半导体芯片封装，使用等离子发生器输出的等离子气体也可熔化和气化半导体芯片封装，使得封装被分解剥离得更彻底，分解剥离效率高，分解剥离的效果好，减小了分解剥离过程对芯片绑定线路的氧化与损伤，不留残余。
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公开(公告)号：CN207289182U
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201720777769.3
申请日：2017-06-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： B23K26/32 , B23K26/064 , B23K26/03 , B23K26/14 , G02F1/13
摘要： 一种显示屏缺陷修复装置，支架和用于放置待修复显示屏的载物台，还包括：CCD图像采集器、激光器和修补针。由于通过CCD图像采集器可观察待修复显示屏的图像信息，将缺陷先进行分类，再根据异常像素点的不同的类型和程度，选择激光器或修补针对缺陷进行针对性的修复，使得缺陷修复的目的性强，修复效果较好。
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公开(公告)号：CN207002842U
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201720777767.4
申请日：2017-06-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： C23C16/48
摘要： 一种激光金属镀膜装置,包括激光器、显微镜、反应腔体、运动气缸、运动连杆、控制器、上位机和位置传感器。由于本申请的激光金属镀膜装置通过控制器接收上位机的镀膜指令，根据镀膜指令开启流量截流阀，驱动运动气缸使得运动连杆往复水平移动，带动反应腔体移动至显微镜下方接收激光镀膜；在移动的过程中控制器通过位置传感器实时获取驱动连杆的位置信息，根据位置信息，改变气体流量阀开启的大小，调节输入的气体流量，控制驱动连杆移动速度，从而对待镀物体的镀膜操作进行闭环控制，减小反应腔体与显微镜的中心偏差，使得镀膜密度、精度更好。
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公开(公告)号：CN207002840U
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201720777548.6
申请日：2017-06-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： C23C16/48
摘要： 一种激光诱导气相沉积系统的光气分离装置，包括：激光器、聚焦物镜、反应腔体和平衡调节阀。由于该装置将保护气体入/出口、工作气体入口和负压抽取口分别设置于反应腔体的上、中、底部，并利用平衡调节阀对反应腔体匀压控制，使得反应腔体内气路分布均匀，提升工作气体稳定性和负压抽取的均匀性，提高沉积后的表面质量和均匀度；又由于该装置在反应腔体的腔体口设置了阻气镜片，在靠近腔体口的反应腔体两侧分别设置了保护气体入口和保护气体出口，保护气体将对阻气镜片下表面起到了保护作用，使得工作气体不会接触到阻气镜片下表面，避免在阻气镜片下表面形成阻档激光束进入反应腔体的金属膜，不仅可防止工作气体逃逸还保证阻气镜片的透光性。
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公开(公告)号：CN217639372U
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN202221058196.6
申请日：2022-05-05
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
摘要： 本申请公开了一种探测针翻转承载平台，属于半导体领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座安装有用于观察探针的放大观察件，机座位于翻转板背离放大观察件的一侧安装有传感器组，传感器组用于与探针接触，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构。本申请具有提高探针的检测效率的效果。
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公开(公告)号：CN207300270U
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201720777525.5
申请日：2017-06-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： G01D11/00
摘要： 一种大尺寸光源同步照明的检测机台，该检测台机包括：载物平台、显微镜、光源模块和导电轨，载物平台用于放置待检测物件，其上方设置了可水平移动的显微镜，其下方设置了沿导电轨水平移动的光源模块，光源模块的发光孔与显微镜的观察孔对齐。由于本申请的载物平台为透光材料，并利用同步线连接显微镜与光源模块，使得本申请的显微镜水平移动时，光源模块保持同步水平移动，实现了显微镜移动时的光源同步，减小了光源位置与显微镜观察孔的垂直入射角，使得显微镜的光通量增大，提升了光照度和显微镜的解析度。
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公开(公告)号：CN207002841U
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201720777766.X
申请日：2017-06-29
申请人： 深圳市森美协尔科技有限公司
IPC分类号： C23C16/48
摘要： 一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，包括：第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜。由于本申请采用了两个不同类型激光器，即第一激光器用于对产品进行表面微镀膜，第二激光器用于对产品缺陷进行修复，使得激光诱导气相沉积系统满足不同能量和类型激光束的需求，又由于本申请采用了透镜将激光器射出的激光束按预设的比例进行反射和透射，并利用能量传感器根据射入的反射激光束能量大小和预设的比例，计算出透射激光束的能量大小，使得可实时监控照射在待镀物件表面的透射激光束能量大小，控制每次镀膜时所用激光的能量大小，提高镀膜工艺水平和镀膜效率。
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